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公開番号2024171879
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023089151
出願日2023-05-30
発明の名称研磨布
出願人ニッタ・デュポン株式会社
代理人弁理士法人藤本パートナーズ
主分類B24B 37/24 20120101AFI20241205BHJP(研削;研磨)
要約【課題】本発明は、固定治具により十分に圧接して挟持することが可能な研磨布を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨布1は、シリコンウェーハ5のノッチ部6を研磨するために用いられ、不織布と、該不織布に含侵された樹脂と、を含み、第1面3aと、該第1面3aとは反対面となる第2面3bと、を備えた円環板状の研磨布1であって、回転させてノッチ部6に摺接させる外周縁部2と、固定治具7によって第1面3a側及び第2面3b側の両側から挟持される被挟持部31a,31bと、該被挟持部31a,31bよりも外周縁部2側に位置すると共に、固定治具によって挟持されることなく第1面3a側及び第2面3b側が露出する露出部32a,32bと、を備え、被挟持部31a,31bは、露出部32a,32bよりも圧縮変形しやすい。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
シリコンウェーハのノッチ部を研磨するために用いられ、不織布と、該不織布に含侵された樹脂と、を含み、第１面と、該第１面とは反対面となる第２面と、を備えた円環板状の研磨布であって、
回転させて前記ノッチ部に摺接させる外周縁部と、固定治具によって前記第１面側及び前記第２面側の両側から挟持される被挟持部と、該被挟持部よりも前記外周縁部側に位置すると共に、固定治具によって挟持されることなく前記第１面側及び前記第２面側が露出する露出部と、を備え、
前記被挟持部は、前記露出部よりも圧縮変形しやすい、研磨布。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
前記被挟持部には、前記第１面及び前記第２面に、それぞれ複数の穴が形成されている、請求項１に記載の研磨布。
【請求項３】
前記穴の深さが、前記研磨布の厚みに対して、０．１％以上５０％以下である、請求項２に記載の研磨布。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨布に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）、ＬＳＩ（ＬａｒｇｅＳｃａｌｅＩｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）、ＶＬＳＩ（ＶｅｒｙＬａｒｇｅＳｃａｌｅＩｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等の半導体を用いた集積回路の原材料となるシリコンウェーハは、極めて高い平面度及び平行度が要求される板状材料である。そのため、シリコンウェーハは、その製造工程において、回転可能な定盤、又は、表面に研磨パッドを貼付した回転可能な定盤によるラッピング加工機又はポリシング加工機を用いて平面加工が行われている。
【０００３】
単結晶であるシリコンウェーハには、その結晶方位を示すため、オリエンテーションフラット、又は、ノッチ部が必ず形成されている。近年では、製品の収率、歩留まり等を向上させるため、ウェーハ表面積の損失がオリエンテーションフラットよりも少ないノッチ部を形成することが多い。なお、ノッチ部は、シリコンウェーハの外周縁に形成される小さい切り欠きであり、Ｖ字状、Ｕ字状等の形状を有する。
【０００４】
シリコンウェーハの加工では、シリコンウェーハのパターン形成面と同様に、ノッチ部においても、チッピング防止、ダストの巻き込み防止等を目的として鏡面加工が施される。ノッチ部の鏡面加工には、ノッチ部専用の研磨パッドが用いられていて、例えば、不織布と、該不織布に含侵された樹脂と、を備えた円環板状の研磨布が知られている。
【０００５】
このようなノッチ部用の研磨布として、例えば、特許文献１では、厚み方向に樹脂密度の高い外層部、外層部よりも樹脂密度の低い内層部、樹脂密度が高い外層部からなる三層構造の研磨パッドが開示されている。特許文献１の研磨パッドは、このような構成を有することにより、ノッチ部の形状に柔軟に追従して研磨し、ノッチ部の外側を研磨してしまう不具合（オーバーポリッシュ）の発生を抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１０－１５７６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来、円環板状の研磨布は、例えば、円板状の固定治具によって両側から挟持される。そして、研磨時には、固定治具と共に研磨布を回転させ、該研磨布の外周縁部をシリコンウェーハのノッチ部に押し当てることにより、加工が行われる。ところが、研磨布の外層部が樹脂密度の高い硬質層から形成されていると、固定治具により研磨布を十分に圧接して挟持することができない。その結果、研磨時に、研磨布が固定治具との間で滑り、研磨布の回転が不十分となる虞がある。
【０００８】
本発明は、このような現状に鑑み、固定治具により十分に圧接して挟持することが可能な研磨布を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る研磨布は、シリコンウェーハのノッチ部を研磨するために用いられ、不織布と、該不織布に含侵された樹脂と、を含み、第１面と、該第１面とは反対面となる第２面と、を備えた円環板状の研磨布であって、回転させて前記ノッチ部に摺接させる外周縁部と、固定治具によって前記第１面側及び前記第２面側の両側から挟持される被挟持部と、該被挟持部よりも前記外周縁部側に位置すると共に、固定治具によって挟持されることなく前記第１面側及び前記第２面側が露出する露出部と、を備え、前記被挟持部は、前記露出部よりも圧縮変形しやすい。
【００１０】
前記研磨布は、斯かる構成により、固定治具によって前記研磨布を両側から挟持する際、該固定治具を前記第１面側及び前記第２面側からそれぞれ内側に向かって十分に押し込むことができる。その結果、前記研磨布は、固定治具により十分に圧接して挟持することができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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