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公開番号2025021767
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2023125715
出願日2023-08-01
発明の名称切削ブレードの装着方法、及び、切削ユニット
出願人株式会社ディスコ
代理人個人
主分類B24B 45/00 20060101AFI20250206BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削ブレードの装着方法、及び、切削ユニットに関し、新規な技術を提案する。
【解決手段】中央に貫通穴が形成された切削ブレードをスピンドルシャフトの先端に装着する切削ブレードの装着方法であって、該スピンドルシャフトの先端にブレードマウントを固定するブレードマウント固定ステップと、該ブレードマウント固定ステップを実施した後に、該切削ブレードを該ブレードマウントに固定する固定ステップと、を備え、該ブレードマウントは、該切削ブレードの該貫通穴に挿入されるボス部と、該ボス部の後端から径方向外側に突出し該切削ブレードに当接する環状当接面を含むフランジ部と、を有し、該ボス部の外周面にはエアーを噴射する噴射口が周方向に複数形成され、該固定ステップでは、該噴射口からエアーを噴射しつつ該切削ブレードの該貫通穴に該ボス部が挿入されることで該切削ブレードを該環状当接面に吸着させる、切削ブレードの装着方法とする。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
中央に貫通穴が形成された切削ブレードをスピンドルシャフトの先端に装着する切削ブレードの装着方法であって、
該スピンドルシャフトの先端にブレードマウントを固定するブレードマウント固定ステップと、
該ブレードマウント固定ステップを実施した後に、該切削ブレードを該ブレードマウントに固定する固定ステップと、を備え、
該ブレードマウントは、該切削ブレードの該貫通穴に挿入されるボス部と、該ボス部の後端から径方向外側に突出し、該切削ブレードに当接する環状当接面を含むフランジ部と、を有し、該ボス部の外周面にはエアーを噴射する噴射口が周方向に複数形成され、
該固定ステップでは、該噴射口からエアーを噴射しつつ該切削ブレードの該貫通穴に該ボス部が挿入されることで該切削ブレードを該環状当接面に吸着させる、
切削ブレードの装着方法。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
該固定ステップを実施した後、該ブレードマウントに固定された該切削ブレードを固定具で該ブレードマウントに固定することで、該ブレードマウントと該固定具とで該切削ブレードを挟持して該スピンドルシャフトの先端に該切削ブレードを装着する装着ステップと、を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の切削ブレードの装着方法。
【請求項３】
該噴射口は、当該噴射口から噴射されるエアーが、該環状当接面に向かうように形成される、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の切削ブレードの装着方法。
【請求項４】
スピンドルとスピンドルの先端に切削ブレードを固定する固定具とを備えた切削ユニットであって、
該切削ブレードは中央に貫通穴を有し、
該切削ユニットは、該切削ブレードの該貫通穴に挿入されるボス部と、該ボス部の後端から径方向外側に突出し、該切削ブレードに当接する環状当接面を含むフランジ部と、を有したブレードマウントと、
該ブレードマウントとともに該切削ブレードを挟持する固定具と、を備え、
該ボス部には該ボス部の外周面からエアーを噴射する噴射口が周方向に複数形成される、切削ユニット。
【請求項５】
該噴射口は、当該噴射口から噴射されるエアーが、該環状当接面に向かうように形成される、ことを特徴とする請求項４に記載の切削ユニット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードの装着方法、及び、切削ユニットに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に開示されるように、高速回転する切削ブレードにて半導体ウェーハなどの被加工物を切削する切削装置が知られている。
【０００３】
切削ブレードは、高速回転するスピンドルにブレードマウントと固定具にて固定されるものであり、ハブタイプの切削ブレードの固定には、ブレードマウントと固定ナットからなる固定具が利用される。また、ワッシャータイプの切削ブレードの固定には、ブレードマウント（後ろフランジ）と、前フランジ及び固定ナットを含む固定具が利用される。
【０００４】
特許文献１では、切削ブレードの装着時における切削ブレードの回転を防止するために、ブレードマウントで切削ブレードを吸引保持した状態で固定ナットを締結する固定方法が提案されている。
【０００５】
特許文献１では、切削ブレードの装着時における切削ブレードの回転による不具合として、接触面と切削ブレードとの摩擦によって、切削ブレードの一部が接触面に溶着したり、接触面に傷が付いたりする可能性があることが記載されている。また、異物や傷によって接触面の平坦性が低下すると、スピンドルに対する切削ブレードの傾きや回転時の切削ブレードの偏心等が大きくなって、加工の精度が低下してしまうことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２０－１９４８７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１のような吸引を伴う構成を採用する場合、ブレードマウントで切削ブレードを吸引保持する際に、切削装置の加工室内のミストも吸引してしまうおそれがある。そして、ミストには微細な塵等が含まれ、吸引のためのエアー流路内にミストが進入すると、錆の原因となることや、各種のセンサを故障させるおそれがあり、改善が切望されていた。
【０００８】
本発明は以上の問題に鑑み、切削ブレードの装着方法、及び、切削ユニットに関し、新規な技術を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１０】
本発明の一態様によれば、中央に貫通穴が形成された切削ブレードをスピンドルシャフトの先端に装着する切削ブレードの装着方法であって、該スピンドルシャフトの先端にブレードマウントを固定するブレードマウント固定ステップと、該ブレードマウント固定ステップを実施した後に、該切削ブレードを該ブレードマウントに固定する固定ステップと、を備え、該ブレードマウントは、該切削ブレードの該貫通穴に挿入されるボス部と、該ボス部の後端から径方向外側に突出し、該切削ブレードに当接する環状当接面を含むフランジ部と、を有し、該ボス部の外周面にはエアーを噴射する噴射口が周方向に複数形成され、該固定ステップでは、該噴射口からエアーを噴射しつつ該切削ブレードの該貫通穴に該ボス部が挿入されることで該切削ブレードを該環状当接面に吸着させる、切削ブレードの装着方法とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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