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公開番号2025029303
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-06
出願番号2023133844
出願日2023-08-21
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 7/04 20060101AFI20250227BHJP(研削;研磨)
要約【課題】円錐の側面に対応する形状の保持面において被加工物を保持するチャックテーブルの保持面の全域を容易に洗浄することが可能な洗浄ユニットを備える研削装置を提供する。
【解決手段】研削装置は、円錐の側面に対応する形状の保持面において被加工物を保持するためのチャックテーブルと、保持面において保持された被加工物を研削するための研削ユニットと、保持面に付着した異物を除去するための洗浄ユニットと、を備える。洗浄ユニットは、洗浄面を有する洗浄砥石と、洗浄面を保持面に押し付けるための押圧機構と、洗浄面の中心から離隔した回転軸の周りに洗浄面を旋回させるための旋回機構と、を含む。研削装置においては、押圧機構によって洗浄面を保持面に押し付けながら旋回機構によって洗浄面を旋回させることによって、保持面のうち洗浄面が押し付けられている領域の傾斜に倣うように洗浄面の傾斜を変化させながら異物を保持面から除去する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を研削するための研削装置であって、
円錐の側面に対応する形状の保持面において該被加工物を保持するためのチャックテーブルと、
該保持面において保持された該被加工物を研削するための研削ユニットと、
該保持面に付着した異物を除去するための洗浄ユニットと、を備え、
該洗浄ユニットは、
洗浄面を有する洗浄砥石と、
該洗浄面を該保持面に押し付けるための押圧機構と、
該洗浄面の中心から離隔した回転軸の周りに該洗浄面を旋回させるための旋回機構と、を含み、
該押圧機構によって該洗浄面を該保持面に押し付けながら該旋回機構によって該洗浄面を旋回させることによって、該保持面のうち該洗浄面が押し付けられている領域の傾斜に倣うように該洗浄面の傾斜を変化させながら該異物を該保持面から除去する研削装置。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
該洗浄ユニットは、該洗浄砥石に反力を作用させるための弾性部材をさらに含み、
該押圧機構によって該洗浄面を該保持面に押し付けながら該旋回機構によって該洗浄面を旋回させる際に該弾性部材を圧縮させることによって該領域の傾斜に倣うように該洗浄面の傾斜が変化する請求項１に記載の研削装置。
【請求項３】
該洗浄ユニットは、該回転軸から見て該洗浄面とは反対側に位置する第２洗浄面を有する第２洗浄砥石をさらに含み、
該第２洗浄面は、該押圧機構によって該洗浄面とともに該保持面に押し付けられ、かつ、該旋回機構によって該洗浄面とともに旋回させられる請求項１又は２に記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を研削する研削装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されているウェーハ等の被加工物を薄化してから複数のデバイスの境界に沿って分割することで製造される。被加工物を薄化する方法としては、研削装置における被加工物の裏面側の研削が挙げられる。
【０００３】
研削装置においては、チャックテーブルの保持面において被加工物が保持された状態で被加工物が研削される。このチャックテーブルは、一般的に、その保持面側に凹部が形成されている枠体と、この凹部において固定されているポーラス板と、を有する。また、枠体にはポーラス板と連通する流路が形成されており、この流路は吸引源及び流体供給源と連通可能である。
【０００４】
被加工物がチャックテーブルの保持面に置かれた状態でポーラス板と連通する吸引源を動作させると、当該流路が負圧になる。これにより、被加工物がチャックテーブルの保持面側に吸引されて保持される。そして、被加工物をチャックテーブルの保持面から搬出する際には、ポーラス板と連通する流体供給源を動作させることによって当該流路が常圧に戻される。
【０００５】
チャックテーブルの保持面において保持された被加工物が研削されると、被加工物の屑（研削屑）が生じ、この研削屑がチャックテーブル側に吸い込まれてポーラス板に異物として留まることがある。そして、このようにポーラス板に留まる異物は、当該流路を常圧に戻す際にポーラス板から吹き出されてチャックテーブルの保持面に付着することがある。
【０００６】
異物を介してチャックテーブルの保持面において保持された被加工物を研削すると、この被加工物の厚みを均一にすることが困難になる。この点を踏まえて、チャックテーブルの保持面に付着した異物を除去するための洗浄ユニット（異物除去工具）が設けられた研削装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
具体的には、この洗浄ユニットは、円形砥石部と、円形砥石部を囲繞する環状ブラシ部と、によって構成される。そして、この研削装置においては、円形砥石部及び環状ブラシ部をチャックテーブルの保持面に押し当てることによって保持面に付着した異物を除去する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２０１５－３００８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
研削装置に設けられるチャックテーブルの保持面は、一般的に、円錐の側面に対応する形状を有する。そのため、上述した洗浄ユニットに含まれる円形砥石部及び環状ブラシ部を保持面の全域に満遍なく押し当てること、すなわち、保持面に付着した異物の全てを除去するように保持面を洗浄することは容易ではない。
【００１０】
この点に鑑み、本発明の目的は、円錐の側面に対応する形状の保持面において被加工物を保持するチャックテーブルを備える研削装置であって、この保持面の全域を容易に洗浄することが可能な洗浄ユニットを備える研削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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