特許ウォッチ

公開番号2025004856
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-16
出願番号2023104719
出願日2023-06-27
発明の名称チャックテーブル、チャックテーブルの製造方法及び研削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 41/06 20120101AFI20250108BHJP(研削;研磨)
要約【課題】被加工物の研削の際に、被加工物の中心部分に大きな凹みが形成され難いチャックテーブル、チャックテーブルの製造方法及び研削方法を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するための保持面を有するチャックテーブルであって、該保持面の一部となる表面の中央部に開口した凹部を有する枠体と、該保持面の他の一部となる表面を有し該凹部に取り付けられる板状のポーラス体と、を備え、該ポーラス体の該表面の該中央領域の空隙率が該ポーラス体の該中央領域を除く周縁領域の空隙率よりも大きく、該中央領域の密度が該周縁領域の密度よりも小さく、又は、該中央領域の硬度が該周縁領域の硬度よりも小さいチャックテーブル。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持するための保持面を有するチャックテーブルであって、
該保持面の一部となる表面の中央部に開口した凹部を有する枠体と、
該保持面の他の一部となる表面を有し該凹部に取り付けられる板状のポーラス体と、を備え、
該ポーラス体の該表面の該中央領域の空隙率が該ポーラス体の該中央領域を除く周縁領域の空隙率よりも大きく、該中央領域の密度が該周縁領域の密度よりも小さく、又は、該中央領域の硬度が該周縁領域の硬度よりも小さいチャックテーブル。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
該ポーラス体の該中央領域と該周縁領域とは、同じ材質で構成される請求項１に記載のチャックテーブル。
【請求項３】
被加工物を保持するための保持面を有するチャックテーブルの製造方法であって、
該保持面の一部となる表面の中央部に開口した凹部を有する枠体を準備する枠体準備ステップと、
該保持面の他の一部となる表面を有し該凹部に取り付けられる板状のポーラス体を準備するポーラス体準備ステップと、
該ポーラス体を該凹部に取り付ける取り付けステップと、を含み、
該ポーラス体準備ステップでは、該ポーラス体の該表面の中央領域の空隙率が該ポーラス体の該中央領域を除く周縁領域の空隙率よりも大きい該ポーラス体、該中央領域の密度が該周縁領域の密度よりも小さい該ポーラス体、又は、該中央領域の硬度が該周縁領域の硬度よりも小さい該ポーラス体を準備するチャックテーブルの製造方法。
【請求項４】
該ポーラス体の該中央領域と該周縁領域とは、同じ材質で構成される請求項３に記載のチャックテーブルの製造方法。
【請求項５】
該ポーラス体の該中央領域は、第１粒径の粒子を焼結することにより製造され、該ポーラス体の該周縁領域は、該第１粒径よりも大きい第２粒径の粒子を焼結することにより製造される請求項４に記載のチャックテーブルの製造方法。
【請求項６】
該第１粒径は、該第２粒径の５５％以上６５％以下である請求項５に記載のチャックテーブルの製造方法。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載のチャックテーブルを用いて被加工物を研削する研削方法であって、
保持面用研削ホイールが装着されたスピンドルと該チャックテーブルとを回転させながら、該保持面用研削ホイールと該チャックテーブルとを該保持面に対して交差する所定の方向に沿って相対的に移動させることにより、該保持面用研削ホイールで該保持面を研削して整形する保持面整形ステップと、
該保持面に該被加工物を保持させる保持ステップと、
被加工物用研削ホイールが装着されたスピンドルと該チャックテーブルとを回転させながら、該被加工物用研削ホイールと該チャックテーブルとを該所定の方向に沿って相対的に移動させることにより、該被加工物用研削ホイールで該被加工物を研削する研削ステップと、を含む被加工物の研削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブル、チャックテーブルの製造方法及び研削方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等の複数個のデバイスが表面側に形成されたウェーハ等の被加工物は、研削装置により裏面が研削されて所定の厚みになるように加工される。所定の厚みに加工された被加工物は、その後、ダイシング装置等の分割装置により個々のデバイスに分割され、電子機器等に利用される。
【０００３】
ウェーハを研削する研削装置の例として、特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１には、被加工物が保持されるチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ユニットとを備えた研削装置が開示されている。ここで、チャックテーブルの被加工物を保持する保持面は、保持面の中心を頂点とする円錐の側面に相当する形状を有する。
【０００４】
また、研削ユニットは、回転軸となるスピンドルの先端部に固定されたホイールマウントを備えており、ホイールマウントには、被加工物を研削するための研削砥石を備えた研削ホイールが装着される。この研削ホイールを回転させながら研削砥石の研削加工面をチャックテーブルに保持された被加工物と接触させることにより、被加工物が研削される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－２３７２１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のような円錐の側面に相当する形状のチャックテーブルの保持面に被加工物が保持された際に、保持面の中心領域（円錐の頂点に相当する領域）に配置された被加工物の中心部分が、保持面の形状に倣わず、被加工物の当該中心部分と保持面の中心領域との間に隙間が生じることがある。このような隙間があると、被加工物の中心部分の上面（被研削面）が、他の部分の上面よりも研削ホイール側に向かって突き出た状態になる。
【０００７】
そして、このような状態で研削砥石の研削加工面を被加工物の上面側に接触させると、研削ホイール側に向かって突き出た被加工物の中心部分の研削量が、被加工物の他の部分の研削量に比べて大きくなる。この結果、研削後の被加工物の中心部分の厚みが、他の部分よりも薄くなり、被加工物の中心部分に比較的大きな凹みが形成されてしまうという問題があった。
【０００８】
したがって、本発明の目的は、被加工物の研削の際に、被加工物の中心部分に大きな凹みが形成され難いチャックテーブル、チャックテーブルの製造方法及び研削方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一側面によれば、被加工物を保持するための保持面を有するチャックテーブルであって、該保持面の一部となる表面の中央部に開口した凹部を有する枠体と、該保持面の他の一部となる表面を有し該凹部に取り付けられる板状のポーラス体と、を備え、該ポーラス体の該表面の該中央領域の空隙率が該ポーラス体の該中央領域を除く周縁領域の空隙率よりも大きく、該中央領域の密度が該周縁領域の密度よりも小さく、又は、該中央領域の硬度が該周縁領域の硬度よりも小さいチャックテーブルが提供される。
【００１０】
好ましくは、該ポーラス体の該中央領域と該周縁領域とは、同じ材質で構成される。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許