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公開番号2024165880
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2023082451
出願日2023-05-18
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類B24B 53/00 20060101AFI20241121BHJP(研削;研磨)
要約【課題】振動センサが異常となる交換時期を判断することが可能となる加工装置を提供する。
【解決手段】研磨パッド43でワークを加工する加工装置1であって、ワークを保持するチャックテーブルと、研磨パッド43の研磨面431でワークを加工する研磨機構4と、研磨機構4を昇降させる昇降機構25と、研磨パッド43の研磨面431をドレッシングするドレス砥石75を備えるドレスユニット70と、ドレス砥石75の上端面に研磨パッド43の研磨面431が接触した際の弾性波を検出する振動センサ80と、ドレス砥石75に流体FLUを噴射するノズルと、流体FLUがドレス砥石75に当たったことにより振動センサ80が検出した出力電圧Vaが、予め設定した閾値Vt以上であったら振動センサ80が正常、閾値Vt未満であったら振動センサ80が異常と判断する制御部601と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
加工具でワークを加工する加工装置であって、
該ワークを保持するチャックテーブルと、該加工具の下面で該ワークを加工する加工機構と、該加工機構を昇降させる昇降機構と、該加工具の下面をドレッシングするドレス砥石を備えるドレスユニットと、該ドレス砥石の上端面に該加工具の下面が接触した際の弾性波を検出する振動センサと、該ドレス砥石に流体を噴射するノズルと、
該流体が該ドレス砥石に当たったことにより該振動センサが検出した値が、予め設定した許容範囲に入っていたら該振動センサが正常、許容範囲外であったら該振動センサが異常と判断する判断部と、を備える加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工具でワークを加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
加工具でワークを加工する加工装置として、特許文献１－３に開示のように、研磨パッドの下面などの研磨面でウェーハなどのワークを研磨する研磨装置が知られている。従来の研磨装置においては、研磨パッドによる研磨レートを維持させるために、複数枚のウェーハを研磨するごとに、回転する研磨パッドの研磨面にドレス砥石を接触させて、研磨面のドレッシングを行う。そして、ドレッシングが行われた後の研磨パッドの量は、特許文献４に開示の研磨装置のように物理的に算出されている。
【０００３】
ドレス砥石を配置したドレッシングユニットには、ドレス砥石を研磨面に接触させたときに発生する弾性波を検出するＡＥ（ＡｃｏｕｓｔｉｃＥｍｉｓｓｉｏｎ）センサなどの振動センサが配置されている。ドレス砥石に研磨面を接触させた際に振動センサから出力される出力信号は、アンプユニットで出力電圧に変換され、その出力電圧の大きさが所定の値以上になった時の研磨面高さで、研磨パッドを水平方向に移動させドレッシングが行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－１９２５４１号公報
特開２０１７－１５４２３８号公報
特開２０１７－１００２５４号公報
特開２０２２－１３５４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の技術においては、ドレス砥石に研磨面を押し付ける強さを一定にするために、振動センサを利用しているものの、この振動センサは、経年劣化により出力電圧が小さくなるという特性がある。このため、振動センサが経年劣化すると、小さくなった出力電圧に対応する大きさ分だけドレス砥石に研磨面を強く押し付けてしまうという異常が発生することとなる。その結果、研磨面を必要以上に大きくドレッシングしてしまい研磨パッドの消耗が大きくなるという問題がある。
【０００６】
従来の技術においては、振動センサの経年劣化に対する対策として、定期的に振動センサが交換されているが、未だ使用可能な状態の振動センサであるにも関わらず交換されていることがあり、不経済である。したがって、ワークを加工する加工装置においては、振動センサが異常となる交換時期を判断するという解決すべき課題がある。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、振動センサが異常となる交換時期を判断することが可能となる加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の加工装置は、加工具でワークを加工する加工装置であって、該ワークを保持するチャックテーブルと、該加工具の下面で該ワークを加工する加工機構と、該加工機構を昇降させる昇降機構と、該加工具の下面をドレッシングするドレス砥石を備えるドレスユニットと、該ドレス砥石の上端面に該加工具の下面が接触した際の弾性波を検出する振動センサと、該ドレス砥石に流体を噴射するノズルと、該流体が該ドレス砥石に当たったことにより該振動センサが検出した値が、予め設定した許容範囲に入っていたら該振動センサが正常、許容範囲外であったら該振動センサが異常と判断する判断部と、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、振動センサが異常となる交換時期を判断することが可能となり、異常の時に交換時期をオペレータに通知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
加工装置の一例を示す斜視図である。
振動センサ判断時の研削機構とドレスユニットとの関係を示す概略断面図である。
ドレッシング時の研削機構とドレスユニットとの関係を示す概略断面図である。
振動センサ判断時の出力電圧と時間との関係を示す図である。
ドレッシング時の出力電圧と時間との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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