特許ウォッチ

公開番号2024161298
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-15
出願番号2024156890,2023189976
出願日2024-09-10,2019-09-27
発明の名称アライメント装置及び方法
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類B24B 49/12 20060101AFI20241108BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ワークのアライメントエラーの発生を防止することができるアライメント装置及び方法を提供する。
【解決手段】アライメント方法は、ワーク(W)の所定位置を検出し、所定位置の設計値からのずれに基づいて算出したワークの歪からワークの変形量を算出し、ワークの変形量に基づいてワークの分割予定ライン(CL1)の位置を算出し、分割予定ラインに沿うブレード(32)の刃厚に対応する幅のラインがワークを吸着保持する治具(J1)の治具溝に収まるように、ワークと治具とのアライメントを行う。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ワークの所定位置を検出し、前記所定位置の設計値からのずれに基づいて算出した前記ワークの歪から前記ワークの変形量を算出し、前記ワークの変形量に基づいて前記ワークの分割予定ラインの位置を算出し、前記分割予定ラインに沿うブレードの刃厚に対応する幅のラインが前記ワークを吸着保持する治具の治具溝に収まるように、前記ワークと前記治具とのアライメントを行う制御部を備える、アライメント装置。
続きを表示（約 790 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記ワークの対向する二辺に最も近い少なくとも２本の分割予定ラインに沿う前記ブレードの刃厚に対応する幅のラインがそれぞれ前記治具の治具溝に収まるように、前記ワークと前記治具とのアライメントを行う、請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記ワークに設けられた複数の分割エリアの間に形成されたスリットを含む領域の画像に基づいて、前記ワークの前記分割エリアごとの歪を算出し、前記ワークの前記分割エリアごとの歪に基づいて前記ワークの分割予定ラインの位置を算出し、前記分割予定ラインに沿う前記ブレードの刃厚に対応する幅のラインが前記治具の治具溝に収まるように、前記ワークと前記治具とのアライメントを行う、請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項４】
ワークの所定位置を検出し、
前記所定位置の設計値からのずれに基づいて算出した前記ワークの歪から前記ワークの変形量を算出し、
前記ワークの変形量に基づいて前記ワークの分割予定ラインの位置を算出し、
前記分割予定ラインに沿うブレードの刃厚に対応する幅のラインが前記ワークを吸着保持する治具の治具溝に収まるように、前記ワークと前記治具とのアライメントを行う、アライメント方法。
【請求項５】
前記ワークに設けられた複数の分割エリアの間に形成されたスリットを含む領域の画像に基づいて、前記ワークの前記分割エリアごとの歪を算出し、
前記ワークの前記分割エリアごとの歪に基づいて前記ワークの分割予定ラインの位置を算出し、
前記分割予定ラインに沿う前記ブレードの刃厚に対応する幅のラインが前記治具の治具溝に収まるように、前記ワークと前記治具とのアライメントを行う、請求項４に記載のアライメント方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置及び方法に係り、半導体装置又は電子部品等が形成されたウェーハ等の被加工物（以下、ワークという。）を個々のチップに分割するダイシング装置及び方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置又は電子部品等が形成されたウェーハ等のワークを個々のチップに分割するダイシング装置は、スピンドルによって高速に回転されるブレードと、ワークを吸着保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ及びθ駆動部とを備えている。ダイシング装置では、各駆動部によりブレードとワークとを相対的に移動させながら、ブレードをワークに切り込ませることによりダイシング加工（切削加工）する。
【０００３】
ワークのダイシング加工を行う場合、ワークを治具に吸着固定し、ワークの分割予定ラインと、治具の治具溝との位置合わせ（アライメント）を行う。これにより、ワークを貫通するようにブレードを深く切り込ませることにより、ワークを完全に分割することが可能になる。
【０００４】
治具を用いてワークのダイシング加工を行う場合、ワークの分割予定ラインの位置と治具溝の位置がずれると、ワークの分割予定ラインを検出し加工した結果、ブレードと治具とが干渉して治具の一部が削られてしまう。治具の一部が削られると、ワークを治具に吸着するときにエアがリークし、ワークを治具に安定的に吸着することが困難になる。また、治具の寿命が短くなり、治具の交換の頻度が増加してコストの上昇を招いたり、治具の切削により発生したゴミがクリーンルームの汚染の原因となるという問題がある。
【０００５】
特許文献１及び２には、ワークの分割予定ラインと治具溝との位置合わせを行う際に、ワークを治具から退避させた後に置き直すことが開示されている。具体的には、ワークを治具に載置する前後の画像から治具溝及び分割予定ラインをそれぞれ検出して、治具の治具溝の位置とワークの分割予定ラインの位置との間のずれ量を算出する。次に、ワークを治具から退避させ、ワーク又は治具を移動させてずれ量の補正を行った後に、ワークを治具に置き直す。これにより、分割予定ラインと治具溝とが位置合わせされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１３－０６５６０３号公報
特開２０１６－１４３８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ダイシング加工時にブレードと治具とが干渉する要因としては、以下の（１）及び（２）が考えられる。
（１）ワークを加工部に搬入（ロード）して治具に吸着保持するときの搬入誤差。
（２）ワークの歪に起因する分割予定ラインのずれ。分割予定ラインの部分的なずれが累積して生じる累積ずれ。
【０００８】
特許文献１及び２では、治具の治具溝の位置とワークの分割予定ラインの位置との間のずれ量を算出し、ワークを治具から退避させて置き直すことにより位置合わせを行っている。特許文献１及び２によれば、ワークを治具に載置する前後の画像から（１）の搬入誤差に起因するずれ量を算出し、置き直しによりずれ量の補正を行うことが可能になる。しかしながら、特許文献１及び２では、ワークを治具から退避させて置き直すために手間がかかり、時間のロスにつながる。このため、ダイシング装置のスループットが低下するという問題があった。
【０００９】
さらに、特許文献１及び２では、（２）のワークの歪に起因する分割予定ラインの部分的なずれの累積ずれが考慮されておらず、分割予定ラインの部分的なずれの累積ずれに起因するブレードと治具との干渉を防止することは困難であった。ダイシング加工時にブレードと治具との干渉が発生した場合、干渉が検出されるとエラーが発生し、ダイシング装置が停止することになる。エラーの発生によりダイシング装置が停止すると、スループットがさらに低下するという問題があった。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ダイシング加工時におけるワークのアライメントエラーの発生を防止することができ、かつ、ブレードと治具との干渉を防止することが可能なダイシング装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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