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公開番号2025002723
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-09
出願番号2023103060
出願日2023-06-23
発明の名称フレームガイドユニット及び搬送機構
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241226BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】リングフレームに貼着したテープの擦れや剥がれを防止しながらリングフレームの移動を案内する。
【解決手段】磁性体のリングフレームFの移動をY軸方向に案内するフレームガイドユニット40は、Y軸方向に延在し一対の切り欠き部FNを支持する非磁性体の一対の側板51と、X軸方向に一対の側板51から互いに接近する方向に配設しリングフレームF下面を支持する磁性体の一対の磁性板53と、一対の側板51の各々の外側面に配置される磁石54を備え、一対の切り欠き部FNの間隔に対応した間隔に配置した一対の側板51にリングフレームFを磁石54の磁力で引き寄せる力で一対の側板51の内側面で一対の切り欠き部FNを支持しつつ一対の磁性板53とリングフレームFに対する磁石54の磁界によるZ軸方向の反発力により一対の磁性板53上面に非接触にリングフレームF下面を押し上げて支持する。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
直線状に並行した一対の切り欠き部を外周に対向配置したリングフレームの移動を水平面上のＹ軸方向に案内するフレームガイドユニットであって、
該Ｙ軸方向に延在し該一対の切り欠き部を支持する一対の側板と、該Ｙ軸方向に直交する該水平面上のＸ軸方向に、該一対の側板から互いに接近する方向に配設し該リングフレームの下面を支持する一対の支持板と、該一対の側板の各々の外側面に配置される磁石と、を備え、
該リングフレーム及び該一対の支持板は、磁性体であり、
該一対の側板は、非磁性体であり、
該一対の切り欠き部の間隔に対応した間隔に配置した該一対の側板に該リングフレームを該磁石の磁力によって引き寄せる力で、該一対の側板の内側面で該一対の切り欠き部を支持しつつ、該一対の支持板に対する該磁石の磁界と該リングフレームに対する該磁石の磁界とによる該一対の支持板の上面に直交するＺ軸方向の反発力によって該一対の支持板の上面に非接触に該リングフレームの下面を押し上げ支持するフレームガイドユニット。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
請求項１記載のフレームガイドユニットを用いる搬送機構であって、
該リングフレームを収容するカセットを載置するカセットステージと、
該カセットステージを昇降させる昇降機構と、
該リングフレームを把持するクランプ部と、
該クランプ部をＹ軸方向に移動させる水平移動機構と、を備え、
該クランプ部が該リングフレームの引き出し方向の前方端を把持し、該カセットから該リングフレームを引き出す際に、該クランプ部によって把持した部分と、該一対の側板とによる三点支持するとともに、該一対の側板の内側面に非接触に該リングフレームを支持する、搬送機構。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレームガイドユニット及び搬送機構に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハとリングフレームとにテープを貼着して一体化したフレームセットをチャックテーブルに保持させた状態でウェーハを加工する加工装置が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２）。このような加工装置では、加工装置へのフレームセットの搬入出は、フレームセットを収容するカセットとカセットから取り出されたフレームセットを支持する一対のガイドレールとの間で、水平移動機構を用いて行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００１－００７０５８号公報
特開２０１７－１１２２２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フレームセットの搬入出では、リングフレームのＹ軸方向への移動は一対のガイドレールの内側面によって案内される。その際、リングフレームの下面に貼着したテープがガイドレールに接触すると、テープが擦れてゴミが発生してしまう、テープがリングフレームから剥がれてしまう、などの課題がある。
【０００５】
以上では、ウェーハを加工する加工装置を例に説明したが、上述した課題は、加工装置に限らず、フレームセットを取り扱う装置全般において生じ得る。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、リングフレームに貼着したテープの擦れや剥がれを防止しながらリングフレームの移動を案内するフレームガイドユニットとそのフレームガイドユニットを備えた搬送機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様のフレームガイドユニットは、直線状に並行した一対の切り欠き部を外周に対向配置したリングフレームの移動を水平面上のＹ軸方向に案内するフレームガイドユニットであって、該Ｙ軸方向に延在し該一対の切り欠き部を支持する一対の側板と、該Ｙ軸方向に直交する該水平面上のＸ軸方向に、該一対の側板から互いに接近する方向に配設し該リングフレームの下面を支持する一対の支持板と、該一対の側板の各々の外側面に配置される磁石と、を備え、該リングフレーム及び該一対の支持板は、磁性体であり、該一対の側板は、非磁性体であり、該一対の切り欠き部の間隔に対応した間隔に配置した該一対の側板に該リングフレームを該磁石の磁力によって引き寄せる力で、該一対の側板の内側面で該一対の切り欠き部を支持しつつ、該一対の支持板に対する該磁石の磁界と該リングフレームに対する該磁石の磁界とによる該一対の支持板の上面に直交するＺ軸方向の反発力によって該一対の支持板の上面に非接触に該リングフレームの下面を押し上げ支持する。
【０００８】
本発明の一態様の搬送機構は、上記態様のフレームガイドユニットを用いる搬送機構であって、該リングフレームを収容するカセットを載置するカセットステージと、該カセットステージを昇降させる昇降機構と、該リングフレームを把持するクランプ部と、該クランプ部をＹ軸方向に移動させる水平移動機構と、を備え、該クランプ部が該リングフレームの引き出し方向の前方端を把持し、該カセットから該リングフレームを引き出す際に、該クランプ部によって把持した部分と、該一対の側板とによる三点支持するとともに、該一対の側板の内側面に非接触に該リングフレームを支持する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、リングフレームに貼着したテープの擦れや剥がれを防止しながらリングフレームの移動を案内するフレームガイドユニットとそのフレームガイドユニットを備えた搬送機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１の実施形態に係る加工装置の斜視図である。
第１の実施形態に係るフレームガイドユニットの斜視図である。
第１の実施形態に係るフレームガイドユニットのＸ方向に沿った断面図である。
第１の実施形態に係るフレームガイドユニットを用いたリングフレームの搬送手順の具体例を示した図である。
第２の実施形態に係るフレームガイドユニットの斜視図である。
第２の実施形態に係るフレームガイドユニットのＸ方向に沿った断面図である。
第３の実施形態に係るフレームガイドユニットの斜視図である。
第４の実施形態に係るフレームガイドユニットを用いたリングフレームの搬送手順の具体例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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