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公開番号2024173316
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023091655
出願日2023-06-02
発明の名称保持テーブルの測定方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B23Q 17/24 20060101AFI20241205BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】処理装置の保持テーブルにおいて、保持面の状態を容易かつ正確に測定することが可能な測定方法を提供すること。
【解決手段】対象物に所定の処理を施す処理装置において、対象物を保持する保持テーブルの状態を測定する保持テーブルの測定方法であって、保持テーブルの保持面に対して光源からレーザービームを照射する照射ステップ1001と、保持テーブルの保持面に照射され、保持面で反射されたレーザービームの反射光を受光ユニットで受光する受光ステップ1002と、受光ステップで受光した反射光の受光状態に基づいて、保持面の状態を判定する判定ステップ1003と、を備え、照射ステップ1001では、保持面にライン状のレーザービームが照射されるように、レーザービームを保持面に対して所定の入射角で入射することを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
対象物に所定の処理を施す処理装置において、該対象物を保持する保持テーブルの状態を測定する保持テーブルの測定方法であって、
該保持テーブルの保持面に対して光源からレーザービームを照射する照射ステップと、
該保持テーブルの保持面に照射され、該保持面で反射されたレーザービームの反射光を受光ユニットで受光する受光ステップと、
該受光ステップで受光した反射光の受光状態に基づいて、該保持面の状態を判定する判定ステップと、を備え、
該照射ステップでは、該保持面にライン状のレーザービームが照射されるように、該レーザービームを該保持面に対して所定の入射角で入射することを特徴とする、
保持テーブルの測定方法。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
該入射角は、８５度以上９０度未満に設定されることを特徴とする、請求項１に記載の保持テーブルの測定方法。
【請求項３】
該照射ステップでは、円形状を有する該保持面の半径以上の長さを有する領域に該レーザービームが照射されるように該レーザービームの入射角を設定し、該保持テーブルを回転させながら該レーザービームを該保持面に照射して、該保持面で反射された光を受光することで、該保持面の全面の状態を測定することを特徴とする、請求項１または２に記載の保持テーブルの測定方法。
【請求項４】
該受光ユニットは波面センサであることを特徴とする、請求項３に記載の保持テーブルの測定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持テーブルの測定方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程では、研削装置や研磨装置、切削装置、レーザー加工装置のような処理装置を用いてウエーハを薄化し、ストリートに沿って分割することで個々のデバイスチップを形成している。こうした処理装置は、ウエーハを保持する保持テーブルと、ウエーハに加工を施す加工手段と、保持テーブルに保持されたウエーハと加工手段とを相対的に移動させる移動ユニットとを備えて構成されていることが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００４－１６０４８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、ウエーハを保持する保持テーブルの保持面に凹凸があると、加工結果に悪影響を及ぼすため、保持面の状態が所定の上面精度で形成されることが求められている。この上面精度を測定する方法としては、接触式の測定子を用いる方法が主流であるが、測定子のセッティングに時間や手間がかかるだけでなく、周辺の構造物との衝突リスクがあるという問題があった。この問題を解決するために、レーザー変位計を使用する方法も考えられたが、保持面がポーラス部材のような粗面である場合には光の反射率が低く、正確な測定が困難であるという課題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理装置の保持テーブルにおいて、保持面の状態を容易かつ正確に測定することが可能な測定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の保持テーブルの測定方法は、対象物に所定の処理を施す処理装置において、該対象物を保持する保持テーブルの状態を測定する保持テーブルの測定方法であって、該保持テーブルの保持面に対して光源からレーザービームを照射する照射ステップと、該保持テーブルの保持面に照射され、該保持面で反射されたレーザービームの反射光を受光ユニットで受光する受光ステップと、該受光ステップで受光した反射光の受光状態に基づいて、該保持面の状態を判定する判定ステップと、を備え、該照射ステップでは、該保持面にライン状のレーザービームが照射されるように、該レーザービームを該保持面に対して所定の入射角で入射することを特徴とする。
【０００７】
該入射角は、８５度以上９０度未満に設定されてもよい。
【０００８】
該照射ステップでは、円形状を有する該保持面の半径以上の長さを有する領域に該レーザービームが照射されるように該レーザービームの入射角を設定し、該保持テーブルを回転させながら該レーザービームを該保持面に照射して、該保持面で反射された光を受光することで、該保持面の全面の状態を測定してもよい。
【０００９】
該受光ユニットは波面センサであってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、レーザービームの入射角を大きくすることにより、処理装置の保持テーブルの保持面からの光の反射率を大きくすることができるため、保持面からの反射光に基づいて保持テーブルの保持面の状態を容易かつ正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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