特許ウォッチ

公開番号2024167514
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-04
出願番号2023083635
出願日2023-05-22
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241127BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】二流体を噴射してチャックテーブル保持面またはウェーハの上面を洗浄する加工装置で、噴霧の飛散を防止する。
【解決手段】ウェーハ(W)を保持するチャックテーブル(30)と、加工具(65、66)でウェーハを加工する加工機構(50、51)と、チャックテーブルと加工具とを収容する加工室(23)と、チャックテーブルを加工室内の加工位置と加工室外の搬送位置とに移動させる水平移動機構(25、27)と、搬送位置に移動したチャックテーブルの保持面(33)に対してウェーハを搬送する搬送機構(40、41)と、搬送位置に移動したチャックテーブルの保持面、または、保持面に保持されたウェーハの上面の上方から下方に向かって二流体を噴射する二流体ノズル(94)と、搬送位置に移動したチャックテーブルの保持面を露出させる開口(37)を有してチャックテーブルを収容し加工室内に連通する洗浄室(22)と、を備える加工装置。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
保持面によってウェーハを保持するチャックテーブルと、
加工具で該ウェーハを加工する加工機構と、
該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室と、
該チャックテーブルを水平方向に該加工室内の加工位置と該加工室外の搬送位置とに移動させる水平移動機構と、
該搬送位置に移動した該チャックテーブルの該保持面に対して該ウェーハを搬送する搬送機構と、
該搬送位置に移動した該チャックテーブルの該保持面、または、該保持面に保持された該ウェーハの上面の上方から下方に向かって二流体を噴射する二流体ノズルと、を備え、
該搬送位置に移動した該チャックテーブルの該保持面を露出させる開口と有し、該チャックテーブルを収容し該加工室内に連通する洗浄室とを備える、加工装置。
続きを表示（約 150 文字）【請求項２】
該水平移動機構は、該チャックテーブルを少なくとも２つ配置するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転させる回転機構とで構成され、
該ターンテーブルは、少なくとも２つの該チャックテーブルの間を仕切る仕切り板と、該仕切り板を流体が通過する通過口とを備える、請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
チャックテーブルに保持されたウェーハを研削砥石で研削する研削装置は、チャックテーブルと研削砥石とを収容可能な加工室内で研削加工を行っている。チャックテーブルを加工室内の加工位置と、加工室外の搬送位置とに移動させ、搬送位置に移動させたチャックテーブルの保持面に対してウェーハを搬送している。
【０００３】
特許文献１や特許文献２に開示のように、搬送位置に移動させウェーハを取り外したチャックテーブルの保持面に向けて、水とエアを混合した二流体を噴射して、保持面に付着した研削屑を除去している。また、搬送位置に移動させ研削加工され保持面に保持されたウェーハの上面に二流体を噴射して、ウェーハの上面を洗浄している。
【０００４】
洗浄の際に噴射される二流体が、チャックテーブルの保持面またはウェーハの上面で反射して、研削装置内に飛散する。飛散した二流体には研削屑などが含まれており、研削装置内を汚す原因となる。その対策として、特許文献２に開示のように、二流体洗浄をしているときに噴出した二流体を気液分離手段において受け止めて収容して、二流体の噴霧の飛散を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１１－２００７８５号公報
特開２０２０－１１９９３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、チャックテーブルの保持面と、ウェーハの上面とで高さが異なり、保持面を洗浄する場合とウェーハの上面を洗浄する場合とで、二流体の反射の状態などが異なるため、特許文献２に開示された従来の対策では、二流体の噴霧が飛散することを十分に抑制することが難しいという問題がある。また、ウェーハの上面の細かな研削屑を除去するために、二流体の噴霧の水滴径を小さくすると、噴霧が飛散しやすくなるという問題がある。
【０００７】
なお、研削装置に限らず、研磨装置などにおいても上記と同様の問題があり、チャックテーブルによって保持したウェーハを加工する加工装置全般に共通した問題が存在する。
【０００８】
したがって、搬送位置に移動したチャックテーブルの保持面または保持面が保持するウェーハに二流体を噴射して保持面またはウェーハの上面を洗浄する機能を備える加工装置は、噴霧の飛散を防止する、という解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様の加工装置は、保持面によってウェーハを保持するチャックテーブルと、加工具で該ウェーハを加工する加工機構と、該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室と、該チャックテーブルを水平方向に該加工室内の加工位置と該加工室外の搬送位置とに移動させる水平移動機構と、該搬送位置に移動した該チャックテーブルの該保持面に対して該ウェーハを搬送する搬送機構と、該搬送位置に移動した該チャックテーブルの該保持面、または、該保持面に保持された該ウェーハの上面の上方から下方に向かって二流体を噴射する二流体ノズルと、を備え、該搬送位置に移動した該チャックテーブルの該保持面を露出させる開口と有し、該チャックテーブルを収容し該加工室内に連通する洗浄室とを備える。
【００１０】
例えば、該水平移動機構は、該チャックテーブルを少なくとも２つ配置するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転させる回転機構とで構成され、該ターンテーブルは、少なくとも２つの該チャックテーブルの間を仕切る仕切り板と、該仕切り板を流体が通過する通過口とを備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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