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公開番号2025121422
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-20
出願番号2024016739
出願日2024-02-07
発明の名称ブレード着脱具
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20250813BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数の切削ブレードを交換する作業の簡素化を図ること。
【解決手段】ブレード着脱具(100)は、切削ブレード(26)を交換する交換ユニット(36)を備えた切削装置(10)に用いられる。交換ユニットは、複数の切削ブレードを配置する複数のブレード収容部(56)を含む。ブレード着脱具は、複数のブレード把持部(101)を含む。ブレード把持部は、円環状基台を収容する基台収容部(116)と円環状基台の側面の一部を支持する側面支持部(117)とを有する基台収容プレート(103)と、円環状基台の側面を側面支持部に向かって押す押し部(126)を有する摺動プレート(104)と、摺動プレートを側面支持部に向かって付勢する付勢部(107)と、摺動プレートを付勢部の付勢方向の反対方向に移動させるハンドル(108)とにより構成される。ブレード着脱具は、複数の切削ブレードを複数のブレード収容部に対して一括で着脱する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを保持するチャックテーブルと、切削ブレードをスピンドルの先端に装着し該チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削機構と、該切削ブレードを交換する交換ユニットと、を備える切削装置に用いるブレード着脱具であって、
該切削ブレードは、円環状基台と、該円環状基台の外周縁にリング状に配置する砥石とを備え、
該交換ユニットは、面状に複数の該切削ブレードを配置する複数のブレード収容部を備え、
複数の該切削ブレードの該円環状基台を把持する複数のブレード把持部を備え、
該ブレード把持部は、該円環状基台を収容する基台収容部と側面の一部を支持する側面支持部とを有する基台収容プレートと、該基台収容プレートに収容された該円環状基台の側面を該側面支持部に向かって押す押し部を有する摺動プレートと、該摺動プレートを該側面支持部に向かって付勢する付勢部と、該摺動プレートを該付勢部の付勢方向の反対方向に移動させるためのハンドルとにより構成され、
該切削ブレードを該ブレード収容部に対して一括で着脱するブレード着脱具。
続きを表示（約 110 文字）【請求項２】
該ブレード把持部に把持された該切削ブレードの該砥石を保護する蓋を備え、
該蓋は、該円環状基台の開口を挿入させる円柱と、該円環状基台を支持する支持部とを備える、請求項１記載のブレード着脱具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置の交換ユニットに切削ブレードを着脱する際に用いるブレード着脱具に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、回転するスピンドルに装着されてウェーハを切削する切削ブレードと、切削ブレードを交換する交換ユニットとを備えた切削装置を開示している。かかる切削装置では、交換ユニットに複数の新品の切削ブレードを装着しておき、切削ブレードが消耗した際に、交換ユニットにてスピンドルに装着する切削ブレードの交換が実施される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－０７９０９８号公報
特開２０２０－１８５６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述のように交換ユニットを利用する場合、作業者によって、交換ユニットへ複数の切削ブレードを装着する作業だけでなく、交換ユニットに回収された使用済みの複数の切削ブレードを取り外す作業が行われる。このため、交換ユニットに対して複数の切削ブレードを着脱する作業が面倒で大きな負担になる、という問題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、交換ユニットに複数の切削ブレードを交換する作業の簡素化を図ることができるブレード着脱具を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様のブレード着脱具は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、切削ブレードをスピンドルの先端に装着し該チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削機構と、該切削ブレードを交換する交換ユニットと、を備える切削装置に用いるブレード着脱具であって、該切削ブレードは、円環状基台と、該円環状基台の外周縁にリング状に配置する砥石とを備え、該交換ユニットは、面状に複数の該切削ブレードを配置する複数のブレード収容部を備え、複数の該切削ブレードの該円環状基台を把持する複数のブレード把持部を備え、該ブレード把持部は、該円環状基台を収容する基台収容部と側面の一部を支持する側面支持部とを有する基台収容プレートと、該基台収容プレートに収容された該円環状基台の側面を該側面支持部に向かって押す押し部を有する摺動プレートと、該摺動プレートを該側面支持部に向かって付勢する付勢部と、該摺動プレートを該付勢部の付勢方向の反対方向に移動させるためのハンドルとにより構成され、該切削ブレードを該ブレード収容部に対して一括で着脱する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、複数のブレード把持部によって複数の切削ブレードを把持でき、ハンドルの操作を介して把持した複数の切削ブレードを複数のブレード収容部に装着することができる。また、複数のブレード収容部に装着された切削ブレードを、ハンドルの操作を介して複数のブレード把持部で把持して取り外すことができる。このように、複数のブレード収容部に複数の切削ブレードを一括で着脱でき、かかる着脱の作業時間を短縮して作業の簡素化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施の形態に係る切削装置の概略斜視図である。
ブレード収容機構の部分拡大図である。
ブレード着脱具を切削装置に使用する態様の一例を示す概略斜視図である。
ブレード着脱具で切削ブレードを交換する準備状態の一例を示す概略斜視図である。
図４のブレード着脱具の部分分解図である。
ブレード把持部により切削ブレードを把持する流れの説明用断面図である。
図４の状態から蓋に各プレートを受容させた状態の一例を示す概略斜視図である。
ブレード着脱具で切削ブレードを交換する準備状態の他の一例を示す概略斜視図である。
ブレード着脱具を切削装置に使用する態様の他の一例を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して、実施の形態に係るブレード着脱具及び該ブレード着脱具が用いられる切削装置について説明する。まず、切削装置について説明する。図１は、実施の形態に係る切削装置の概略斜視図である。
【００１０】
図１に示す切削装置１０は、ウェーハＷを切削加工するものである。切削装置１０は、チャックテーブル１１に保持されたウェーハＷを切削加工する切削機構１７を備え、切削機構１７はスピンドルの先端に装着される切削ブレード２６を備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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