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公開番号2025122373
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-21
出願番号2024017794
出願日2024-02-08
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 41/06 20120101AFI20250814BHJP(研削;研磨)
要約【課題】チャックテーブルの保持面からウェーハを離すための時間を短縮する。
【解決手段】保持面22にエアを供給することによってウェーハ100を保持面22から離脱させる際に、エア調整部483によって保持面22(連通路470)に供給されるエアの流量を絞ることにより、加工水を連通路470に残したまま、エアだけを連通路470を介して保持面22に到達させている。したがって、エアと加工水とをともに保持面22に到達させる構成に比して、第1エア供給バルブ485が開かれてからエアが保持面22に到達するまでの時間を短くすることができる。このため、保持面22からウェーハ100を離脱させるための時間を短くすることができる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
保持面によって板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークに加工水を供給しつつ該板状ワークを加工する加工機構と、を備える加工装置であって、
該チャックテーブルは、該保持面を上面に有するポーラス板と、該保持面を露出させるように該ポーラス板を収容する凹部を有する枠体と、を備え、
該凹部の底部に開口され該保持面に接続されている連通路と、
該連通路に接続されており、該保持面と吸引源とを接続する吸引路と、
該吸引路に配設されており、開閉されることにより該保持面と該吸引源との連通状態を切り換える吸引バルブと、
該連通路に接続されており、該保持面とエア源とを接続するエア供給路と、
該エア供給路に配設されており、開閉されることにより該保持面と該エア源との連通状態を切り換えるエア供給バルブと、
該エア供給バルブが開いているときに、該エア源から該保持面に送られるエアの流量を設定する絞り弁と、を備え、
該絞り弁は、該吸引バルブを閉じるとともに該エア供給バルブを開けることにより該保持面に該エア源を連通させて該保持面にエアを供給する際に、該連通路に加工水を残し、該保持面にエアのみが供給されるように、該保持面に供給されるエアの流量を設定するように構成されている、
加工装置。
続きを表示（約 180 文字）【請求項２】
板状ワークの上面を吸引保持する吸引面を有する搬送パッドと、該搬送パッドを昇降させる昇降機構と、をさらに備え、
該昇降機構は、該エア供給バルブが開かれてから予め設定した時間が経過した後、該保持面上の板状ワークを吸引保持している該搬送パッドを上昇させ、該保持面から板状ワークを離すように構成されている、
請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
板状ワークを研削する研削装置は、特許文献１に開示のように、研削した板状ワークをチャックテーブルから取り外す際に、チャックテーブルから水とエアとの混合流体を噴射している。
【０００３】
チャックテーブルは、ポーラス板と、ポーラス板を収容する凹部を有する枠体と、凹部の底面に開口した吸引孔とを備えている。吸引孔は、チャックテーブルを支持する支持ユニットに配置されている連通路に接続され、連通路は、吸引源に接続されている。そのため、研削加工中には、連通路、吸引孔およびポーラス板が負圧になっている。そして研削加工が終了したら、連通路、吸引孔、ポーラス板に混合流体を供給して、保持面から、この混合流体を噴出させることによって、板状ワークを保持面から離している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－１８４２６９号公報
特開２０２０－１４５２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した構成では、連通路、吸引孔およびポーラス板に混合流体を充満させて、保持面から混合流体を噴出させている。このため、保持面から板状ワークを離すまでに時間がかかる。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、板状ワークを研削する研削装置のような加工装置に関して、チャックテーブルの保持面から板状ワークを離すための時間を短縮することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の加工装置（本加工装置）は、保持面によって板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークに加工水を供給しつつ該板状ワークを加工する加工機構と、を備える加工装置であって、該チャックテーブルは、該保持面を上面に有するポーラス板と、該保持面を露出させるように該ポーラス板を収容する凹部を有する枠体と、を備え、該凹部の底部に開口され該保持面に接続されている連通路と、該連通路に接続されており、該保持面と吸引源とを接続する吸引路と、該吸引路に配設されており、開閉されることにより該保持面と該吸引源との連通状態を切り換える吸引バルブと、該連通路に接続されており、該保持面とエア源とを接続するエア供給路と、該エア供給路に配設されており、開閉されることにより該保持面と該エア源との連通状態を切り換えるエア供給バルブと、該エア供給バルブが開いているときに、該エア源から該保持面に送られるエアの流量を設定する絞り弁と、を備え、該絞り弁は、該吸引バルブを閉じるとともに該エア供給バルブを開けることにより該保持面に該エア源を連通させて該保持面にエアを供給する際に、該連通路に加工水を残し、該保持面にエアのみが供給されるように、該保持面に供給されるエアの流量を設定するように構成されている。
【０００８】
本加工装置は、板状ワークの上面を吸引保持する吸引面を有する搬送パッドと、該搬送パッドを昇降させる昇降機構と、をさらに備えてもよく、該昇降機構は、該エア供給バルブが開かれてから予め設定した時間が経過した後、該保持面上の板状ワークを吸引保持している該搬送パッドを上昇させ、該保持面から板状ワークを離すように構成されていてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本加工装置では、保持面にエアを供給することによって板状ワークを保持面から離脱させる際に、保持面に供給されるエアの流量を絞り弁によって絞ることにより、連通路内の加工水がエアによって保持面に向かって押し上げられることを抑制して、加工水を連通路に残したまま、エアだけを連通路を介して保持面に到達させる。したがって、エアと加工水とをともに保持面に到達させる構成に比して、エア供給バルブが開かれてからエアが保持面に到達するまでの時間を短くすることができる。このため、保持面から板状ワークを離すための時間を短くすることが可能である。
【００１０】
また、保持面から加工水が噴出することが抑制されるので、加工屑を含む加工水により板状ワークの下面を汚すことを抑制することができるため、板状ワークの下面洗浄する洗浄ユニットを不要にすることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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