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公開番号2024168969
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-05
出願番号2023086067
出願日2023-05-25
発明の名称洗浄装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241128BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ワークから加工屑を良好に除去する。
【解決手段】超音波振動子27からの超音波振動を、チャックテーブル20の保持面22およびウェーハ100の表面に伝播させて、ウェーハ100の表面に付着している加工屑、および、表面に形成された加工溝120内の加工屑を浮き上がらせている。そして、この状態で、洗浄水ノズル70から、ウェーハ100の表面に洗浄水を供給している。これにより、ウェーハ100から浮き上がった加工屑を、洗浄水によって、良好に洗い流して除去することができる。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
加工具によって加工屑を排出しながらワークを加工する加工装置に配置される洗浄装置であって、
保持面によってワークを保持するチャックテーブルと、
該ワークに洗浄水を供給する洗浄水ノズルと、を備え、
該チャックテーブルは、該保持面の下方に配置され、該保持面に超音波振動を付与する超音波振動子を備える、
洗浄装置。
続きを表示（約 200 文字）【請求項２】
該チャックテーブルは、
テーブルベース、
該テーブルベースに対して脱着可能なテーブル、
該テーブルベースまたは該テーブルに配置される該超音波振動子、および、
該テーブルベースと該テーブルとを接合させた際に、高周波電源と該超音波振動子とを接続させて該超音波振動子への電力の供給を可能とする端子、を備える、
請求項１記載の洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１～３に開示のように、切削ブレードでワークを切削する切削装置では、カーフ（切り口）の側面に切削屑を付着させないように、切削中に、ワークの上方からカーフに、高圧水または二流体を噴射している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－０１５６０９号公報
特開２０１９－１０６４３７号公報
特開２０２１－１５０４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記のように切削中に洗浄を実施する構成では、チップが小さいときには、この高圧水あるいは二流体の勢いによって、チップがテープから剥がされることがある。
【０００５】
また、加工後に洗浄を実施する構成では、狭いカーフに切削屑が進入した場合、高圧水または二流体がカーフに入り込み難いため、切削屑を除去することが困難である。また、ハーフカットしたウェーハを研削して溝を露出させチップ分割するＤＢＧにおいては、溝に進入した研削屑を除去することが困難である。
【０００６】
また、ウェーハの裏面を研削あるいは研磨する加工において、研削屑あるいは研磨屑が小さい場合には、その研削屑あるいは研磨屑を裏面から除去する洗浄時間が長くなる。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、ワークから加工屑を良好に除去することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の洗浄装置（本洗浄装置）は、加工具によって加工屑を排出しながらワークを加工する加工装置に配置される洗浄装置であって、保持面によってワークを保持するチャックテーブルと、該ワークに洗浄水を供給する洗浄水ノズルと、を備え、該チャックテーブルは、該保持面の下方に配置され、該保持面に超音波振動を付与する超音波振動子を備える。
【０００９】
本洗浄装置では、該チャックテーブルは、テーブルベース、該テーブルベースに対して脱着可能なテーブル、該テーブルベースまたは該テーブルに配置される該超音波振動子、および、該テーブルベースと該テーブルとを接合させた際に、高周波電源と該超音波振動子とを接続させて該超音波振動子への電力の供給を可能とする端子、を備えていてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本洗浄装置では、超音波振動子からの超音波振動を、チャックテーブルの保持面およびワークの表面に伝播させることにより、ワークに付着している加工屑を浮き上がらせることができる。そして、この状態で、洗浄水ノズルから、ワークの表面に洗浄水を供給することにより、ワークから浮き上がった加工屑を、洗浄水によって良好に洗い流すことができる。したがって、本洗浄装置によれば、ワークから加工屑を良好に除去することが可能である。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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