特許ウォッチ

公開番号2024166568
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-29
出願番号2023082750
出願日2023-05-19
発明の名称カセット
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/673 20060101AFI20241122BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被収容物のサイズに応じて、収容空間のサイズを変更可能なカセットを提供する。
【解決手段】それぞれ円盤形状を有する複数の被収容物を収容可能なカセットであって、該カセットの幅方向における該複数の被収容物の移動を規制する一対の側板であり、該複数の被収容物の外周部をそれぞれ支持する複数の支持板が該カセットの高さ方向に沿って各側板の内壁面にそれぞれ配置されている該一対の側板と、該幅方向において該一対の側板が互いに接近又は離隔できる様に該一対の側板が連結された連結部材と、を備えるカセットを提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
それぞれ円盤形状を有する複数の被収容物を収容可能なカセットであって、
該カセットの幅方向における該複数の被収容物の移動を規制する一対の側板であり、該複数の被収容物の外周部をそれぞれ支持する複数の支持板が該カセットの高さ方向に沿って各側板の内壁面にそれぞれ配置されている該一対の側板と、
該幅方向において該一対の側板が互いに接近又は離隔できる様に該一対の側板が連結された連結部材と、
を備えることを特徴とするカセット。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
該連結部材は、
それぞれ１つの側板の底部又は頂部に位置し、且つ、それぞれ該１つの側板の移動を案内するための溝部を有する一対の案内領域と、
該幅方向において該一対の案内領域を連結するための連結領域と、
を有することを特徴とする請求項１に記載のカセット。
【請求項３】
該連結部材は、１つのベース板を有し、該１つのベース板は、該一対の案内領域と該連結領域とを有することを特徴とする請求項２に記載のカセット。
【請求項４】
該連結部材は、該カセットの奥行方向で離間して配置された一対のベース板を有し、該一対のベース板は、該一対の案内領域と該連結領域とをそれぞれ有することを特徴とする請求項２に記載のカセット。
【請求項５】
該連結部材は、該カセットの該幅方向及び奥行方向で規定される所定平面上において互いに交差する様に配置された一対のロッドを有し、
該一対のロッドは、該一対のロッドが互いに交差する位置で該高さ方向に沿う回転軸の周りに回転可能に結合されている該連結領域と、該連結領域を挟む様に配置された該一対の案内領域と、をそれぞれ有することを特徴とする請求項２に記載のカセット。
【請求項６】
該一対の側板の各内壁面から突出し、且つ、該高さ方向に沿って配置されており、該カセットの奥行方向と平行な第１方向において各被収容物の移動を規制するための一対の凸部を更に備えることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のカセット。
【請求項７】
該一対の凸部は、該カセットの奥行方向において移動可能であることを特徴とする請求項６に記載のカセット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、それぞれ円盤形状を有する複数の被収容物を収容可能なカセットに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯電話、ＰＣ（Personal Computer）等の電子機器にはデバイスチップが搭載されている。デバイスチップは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）等の複数のデバイスが表面側に形成されているウェーハの裏面側を研削してウェーハを薄化した後、ウェーハを切削してデバイス単位に分割することで形成される。
【０００３】
研削装置、切削装置等の加工装置でウェーハを加工する際には、ウェーハが粘着テープを介して環状フレームで支持されたウェーハユニットを作成した上で、複数のウェーハユニットをカセットに収容した状態で加工装置へ搬送する（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ウェーハの径は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格で定められている。当該規格で定められているウェーハの径には、６インチ（約１５０ｍｍ）、８インチ（約２００ｍｍ）、１２インチ（約３００ｍｍ）等の複数の種類がある。
【０００５】
ウェーハの径に応じて、異なるサイズの環状フレームが用いられる。例えば、６インチのウェーハには、内径１９４ｍｍ、外径２２８ｍｍ、及び、直線部の幅２１２ｍｍを有する環状フレームが用いられる。
【０００６】
また、８インチのウェーハには、内径２５０ｍｍ、外径２９６ｍｍ、及び、直線部の幅２７６ｍｍを有する環状フレームが用いられ、１２インチのウェーハには、内径３５０ｍｍ、外径４００ｍｍ、及び、直線部の幅３８０ｍｍを有する環状フレームが用いられる。なお、１つのカセットには、同じサイズのウェーハユニットが収容される。
【０００７】
それゆえ、異なるサイズのウェーハユニットに応じて、適切なサイズのカセット用意する必要があり、その分だけ経済的負担が大きくなる。ウェーハを粘着テープ及び環状フレームを用いて一体化せずに、ウェーハ単独でカセットに収容する際にも、同様の問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開平８－８０９８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、被収容物のサイズに応じて、収容空間のサイズを変更可能なカセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、それぞれ円盤形状を有する複数の被収容物を収容可能なカセットであって、該カセットの幅方向における該複数の被収容物の移動を規制する一対の側板であり、該複数の被収容物の外周部をそれぞれ支持する複数の支持板が該カセットの高さ方向に沿って各側板の内壁面にそれぞれ配置されている該一対の側板と、該幅方向において該一対の側板が互いに接近又は離隔できる様に該一対の側板が連結された連結部材と、を備えるカセットが提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許