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公開番号2024162695
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-21
出願番号2023078499
出願日2023-05-11
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241114BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】チャックテーブルの保持面の良否を短時間で簡単に判断することができる研削装置を提供すること。
【解決手段】保持面12によってウェーハWを保持するチャックテーブル10と、ウェーハWを研削砥石25bで研削する研削機構20と、を備える研削装置1は、保持面12の高さを測定する高さ測定器50と、該高さ測定器50を水平方向に移動させる水平移動機構60と、高さ測定器50で測定した保持面12の中心から外周に至る複数の測定点での測定値が許容範囲内であるか否かによって該保持面12の良否を判断する良否判断部70とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
保持面によってウェーハを保持するチャックテーブルと、該ウェーハを研削砥石で研削する研削機構と、を備える研削装置であって、
該保持面の高さを測定する高さ測定器と、
該高さ測定器を水平方向に移動させる水平移動機構と、
該高さ測定器で測定した該保持面の中心から外周に至る複数の測定点での測定値が許容範囲内であるか否かによって該保持面の良否を判断する良否判断部と、
を備えることを特徴とする研削装置。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
該高さ測定器は、非接触で該保持面の高さを測定する非接触測定器であって、
該保持面に向かって超音波を発信する発信部と、
該保持面で反射した反射波を受信する受信部と、
該受信部と該保持面との距離を算出する高さ算出部と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の研削装置。
【請求項３】
該高さ測定器は、非接触で該保持面の高さを測定する非接触測定器であって、
該保持面に向かって光を投光する投光部と、
該保持面で反射した反射光を受光する受光部と、
該受光部と該保持面との距離を算出する高さ算出部と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の研削装置。
【請求項４】
該非接触測定器は、ウェーハの厚みを測定可能であることを特徴とする請求項２または３記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハを研削砥石によって研削する研削装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイスの製造工程においては、円板状の半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」と称する）の表面が格子状に形成されたストリート（分割予定ライン）によって複数のデバイス領域に区画され、各デバイス領域にＩＣやＬＳＩなどのデバイスがそれぞれ形成される。そして、このように多数のデバイスが形成されたウェーハをストリートに沿って分割することによって、複数のチップが製造される。
【０００３】
ところで、近年の電子機器の薄型化や小型化などの要求に応えるため、ウェーハを分割する前に該ウェーハの裏面を研削装置によって研削することによって、ウェーハを所定の厚みまで薄化することが行われている。ここで、研削装置においては、チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハが、回転する研削砥石によって研削されるが、研削中のウェーハの面焼けを防ぐとともに、あやめ形状の研削痕がウェーハの研削面に形成されるのを防ぐため、特許文献１，２などには、チャックテーブルの上面をテーブル研削砥石によって研削して該チャックテーブルに円錐状の保持面を形成することが提案され、既に実用に供されている。
【０００４】
ところが、上述のようにチャックテーブルの保持面を円錐状に形成すると、該保持面に保持されるウェーハの厚みが厚い場合（例えば、仕上げ厚みが１００μｍ以上の場合）には、該ウェーハが保持面の円錐状の形状に倣うことができず、保持面の円錐面の頂点付近で保持面とウェーハの中心部下面との間に隙間が発生するため、ウェーハの中心部が研削され過ぎて薄くなるという問題がある。
【０００５】
そこで、特許文献３には、チャックテーブルの保持面の中心部に円形の平坦部を形成する提案がなされている。したがって、チャックテーブルには、ウェーハの仕上げ厚みによって、保持面の中心部に平坦部が形成されたものと、形成されていないもの（円錐状の保持面を有するもの）とがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１５－０７２９７１号公報
特開２０２０－１７５４７２号公報
特開２０１７－１２７９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、保持面の中心部に平坦部が形成されたチャックテーブルにおいて、保持面の平坦部とその周囲の斜面（円錐面）との境は、僅かな角度で形成されているため、作業者がチャックテーブルの保持面の中心部に平坦部が形成されているか否かを目視で判断することは困難である。
【０００８】
そこで、従来、ウェーハをチャックテーブルの保持面に保持して研削し、該ウェーハの面内厚みを測定することによって、チャックテーブルの保持面の中心部に平坦部があるか否かを判断するようにしている。このため、ウェーハの仕上げ厚みに対してチャックテーブルの保持面の良否を判断するのに手間と時間を要するという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、ウェーハの仕上げ厚みに対するチャックテーブルの保持面の良否を短時間で簡単に判断することができる研削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための本発明は、保持面によってウェーハを保持するチャックテーブルと、該ウェーハを研削砥石で研削する研削機構と、を備える研削装置であって、該保持面の高さを測定する高さ測定器と、該高さ測定器を水平方向に移動させる水平移動機構と、該高さ測定器で測定した該保持面の中心から外周に至る複数の測定点での測定値が許容範囲内であるか否かによって該保持面の良否を判断する良否判断部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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