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公開番号2024154144
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-30
出願番号2023067805
出願日2023-04-18
発明の名称チャックテーブル
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241023BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】洗浄装置におけるノズルの位置調整作業を容易にする。
【解決手段】チャックテーブル10は、保持面13の中心を示す印15を有している。このため、洗浄流体の着地点が印15を通過するようにノズル50の位置を調整することにより、ノズル50の位置調整が完了する。このように、本実施形態では、保持面13の中心を判別するために、保持面13の中心を示す位置調整用の円板を用いる必要がない。このため、ノズル50の位置調整作業を、容易に実施することが可能となる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを保持する保持面の中心を通る回転軸を中心に回転するチャックテーブルであって、
該保持面の中心を示す印を有する、チャックテーブル。
続きを表示（約 260 文字）【請求項２】
該印が、該保持面の他の部分と異なる色を有している、
請求項１記載のチャックテーブル。
【請求項３】
ワークの上方に配置されたノズルから下方向に向けて該ワークに洗浄流体を噴射して該ワークを洗浄する洗浄装置に備えられ、
該印の大きさが、該ノズルから噴射される該洗浄流体の洗浄領域の好適な大きさである、
請求項１記載のチャックテーブル。
【請求項４】
該印は、該保持面の中心に開口された吸引口である、
請求項１記載のチャックテーブル。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブルに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、ウェーハを洗浄する洗浄装置は、ウェーハを保持した保持テーブルを回転させ、ノズルから噴射した二流体によって、ウェーハの上面を洗浄している。また、特許文献２に開示の技術では、ノズルから噴射した二流体によって、保持テーブルの保持面を洗浄している。また、特許文献３に開示の技術では、ノズルから噴射した超音波振動を伝播させた洗浄水によって、ウェーハを洗浄している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－１０９３２４号公報
特開２０２０－１１９９３１号公報
特開２０２１－１７６１６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような技術では、被洗浄物であるウェーハあるいは保持テーブルの保持面を回転させながら、ノズルを水平方向に移動させることにより、洗浄を実施している。
【０００５】
そのため、洗浄水の着地点が被洗浄物の回転中心である保持テーブルの中心を通るように、被洗浄物に対してノズルの位置を調整する作業を、作業者が行っている。
【０００６】
この作業には、保持テーブルの中心を示す印を有する円板を用いる。すなわち、この作業では、保持テーブルの中心と印とが一致するように保持テーブルによって円板を保持し、ノズルから噴出した洗浄水の着地点が円板の印を通るように、ノズルの位置を調整している。
しかしながら、このように円板の中心と保持テーブルの中心とを一致させるように保持テーブルによって円板を保持するには、時間がかかる。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、ノズルから噴出した洗浄水等の洗浄流体によって被洗浄物を洗浄する洗浄装置に関して、ノズルの位置調整作業を容易にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のチャックテーブル（本チャックテーブル）は、ワークを保持する保持面の中心を通る回転軸を中心に回転するチャックテーブルであって、該保持面の中心を示す印を有する。
【０００９】
本チャックテーブルでは、該印が、該保持面の他の部分と異なる色を有していてもよい。
【００１０】
本チャックテーブルは、ワークの上方に配置されたノズルから下方向に向けて該ワークに洗浄流体を噴射して該ワークを洗浄する洗浄装置に備えられ、該印の大きさが、該ノズルから噴射される該洗浄流体の洗浄領域の好適な大きさであってもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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