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公開番号2024162539
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-21
出願番号2023078130
出願日2023-05-10
発明の名称処理システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B23Q 11/12 20060101AFI20241114BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】処理装置が所定の処理項目を実行している間に冷却システムの冷却能力が不足することを抑制することができる処理システムを提供すること。
【解決手段】処理システム1は、複数の処理装置10と、冷却システム2と、冷媒を処理装置10に供給しかつ冷却システム2に戻す冷媒流路20と、冷媒の流量、および供給前後の温度を測定する測定ユニット30と、を備える。制御ユニット40は、処理装置10が処理項目を実行する際に単位時間当たりに発生しうる想定熱量を記憶する想定熱量記憶部51と、処理装置10で単位時間当たりに発生した総発生熱量を算出する総発生熱量算出部71と、冷却システム2の冷却余力を算出する冷却余力算出部72と、実行しようとする処理項目を実行した際に冷却システム2の冷却能力が不足するか不足しないかを判断する冷却能力判断部81と、実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する実行制御部90と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被処理物に対して１つ以上の実行可能な処理項目を有し、該処理項目を実行する際に熱を発する複数の処理装置と、
該処理装置が発した該熱を冷媒によって冷却する冷却システムと、
該処理装置のそれぞれと該冷却システムとを接続し、該冷却システムから該処理装置に該冷媒を供給するとともに、該処理装置から該冷却システムに該冷媒を戻す冷媒流路と、
該処理装置を制御する制御ユニットと、を備える処理システムであって、
該冷媒流路を通過する該冷媒の流量、該処理装置に供給する前の該冷媒の温度、および該処理装置から戻った該冷媒の温度を測定する測定ユニットをさらに備え、
該制御ユニットは、
該処理装置が該処理項目を実行する際に単位時間当たりに発生しうる熱量を想定熱量として記憶する想定熱量記憶部と、
該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のそれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を合算し総発生熱量を算出する総発生熱量算出部と、
該総発生熱量と、該冷却システムが単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量と、の差から冷却余力を算出する冷却余力算出部と、
実行しようとする処理項目についての該想定熱量と該冷却余力とを比較して、該実行しようとする処理項目を実行した際に該冷却システムの冷却能力が不足するか不足しないかを判断する冷却能力判断部と、
該冷却能力判断部の判断結果に基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する実行制御部と、を有する
ことを特徴とする処理システム。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
該制御ユニットは、
該処理装置間の優先順位と該処理項目間の優先順位との少なくともいずれかの情報を示す優先順位情報を記憶する優先順位記憶部をさらに有し、
該実行制御部は、該冷却能力判断部の判断結果と該優先順位情報とに基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の処理システム。
【請求項３】
該制御ユニットは、
該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のぞれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を算出し、いずれかの処理装置において単位時間当たりに発生した熱量が、当該処理装置において実行されている処理項目の該想定熱量より大きい場合に、異常発生と判断する異常判断部をさらに有する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の処理システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理システムに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の被処理物を切削する切削装置や研削する研削装置等の処理装置では、スピンドルを高速回転させ、スピンドルの先端に装着される切削ブレードや研削砥石を用いて切削加工や研削加工を実行している。切削装置や研削装置等の処理装置は、処理位置を熱歪み等によって変化させないようにすることで高精度な処理を実現しており、処理装置の温度を一定に維持するためにスピンドルを回転駆動するモータが発する熱を冷却システムによって冷却している（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１５５３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、一つの冷却装置に複数台の処理装置を接続する場合や、負荷が大きくモータが発する熱量が多い場合には、冷却システムの冷却能力が不足してしまい、処理装置の温度を一定に保てないことがある。このため、処理装置は、温度が所定の温度を超えた場合には異常が発生したと判断し、動作を緊急停止させる機能を有している。
【０００５】
しかしながら、緊急停止後に処理を再開させる際、緊急停止時に処理していた位置と全く同一の位置から繋げて処理を再開することや、緊急停止時の処理状況を正確に再現することが困難であるため、処理品質に影響を及ぼすという問題があった。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理装置が所定の処理項目を実行している間に冷却システムの冷却能力が不足することを抑制することができる処理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の処理システムは、被処理物に対して１つ以上の実行可能な処理項目を有し、該処理項目を実行する際に熱を発する複数の処理装置と、該処理装置が発した該熱を冷媒によって冷却する冷却システムと、該処理装置のそれぞれと該冷却システムとを接続し、該冷却システムから該処理装置に該冷媒を供給するとともに、該処理装置から該冷却システムに該冷媒を戻す冷媒流路と、該処理装置を制御する制御ユニットと、を備える処理システムであって、該冷媒流路を通過する該冷媒の流量、該処理装置に供給する前の該冷媒の温度、および該処理装置から戻った該冷媒の温度を測定する測定ユニットをさらに備え、該制御ユニットは、該処理装置が該処理項目を実行する際に単位時間当たりに発生しうる熱量を想定熱量として記憶する想定熱量記憶部と、該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のそれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を合算し総発生熱量を算出する総発生熱量算出部と、該総発生熱量と、該冷却システムが単位時間あたりに冷却可能な冷却可能熱量と、の差から冷却余力を算出する冷却余力算出部と、実行しようとする処理項目についての該想定熱量と該冷却余力とを比較して、該実行しようとする処理項目を実行した際に該冷却システムの冷却能力が不足するか不足しないかを判断する冷却能力判断部と、該冷却能力判断部の判断結果に基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御する実行制御部と、を有することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の処理システムにおいて、該制御ユニットは、該処理装置間の優先順位と該処理項目間の優先順位との少なくともいずれかの情報を示す優先順位情報を記憶する優先順位記憶部をさらに有し、該実行制御部は、該冷却能力判断部の判断結果と該優先順位情報とに基づいて、該実行しようとする処理項目の実行タイミングを制御してもよい。
【０００９】
また、本発明の処理システムにおいて、該制御ユニットは、該測定ユニットの測定値に基づいて、該処理装置のぞれぞれで単位時間当たりに発生した熱量を算出し、いずれかの処理装置において単位時間当たりに発生した熱量が、当該処理装置において実行されている処理項目の該想定熱量より大きい場合に、異常発生と判断する異常判断部をさらに有してもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、処理装置が所定の処理項目を実行している間に冷却システムの冷却能力が不足することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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