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公開番号2024158833
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-08
出願番号2023074393
出願日2023-04-28
発明の名称補強部除去方法および加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241031BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】リング状の補強部を有するウェーハから、分割起点の形成後に素早く補強部を除去する。
【解決手段】リングフレーム(17)の開口(19)を塞いで貼着したテープ(18)にウェーハ(10)の一方の面(12)側の凹部(15)とリング状の補強部(16)とを貼着してワークセット(20)を形成するワークセット形成工程と、チャックテーブル(34)にテープを介してワークセットを保持させる保持工程と、凹部と補強部との境にリング状の分割起点を形成しながら、補強部に貼着したテープの糊の貼着力を低下させる分割起点形成工程と、テープから補強部を離間させ凹部から補強部を除去する除去工程と、からなる補強部除去方法。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
一方の面の中央に円形の凹部と該凹部の外周にリング状の補強部とを備えるウェーハから該補強部を除去する補強部除去方法であって、
リングフレームの開口を塞いで貼着したテープに該ウェーハの一方の面側の該凹部と該補強部とを貼着し該リングフレームと該テープと該ウェーハとを一体化させたワークセットを形成するワークセット形成工程と、
チャックテーブルに該テープを介して該ワークセットを保持させる保持工程と、
該凹部と該補強部との境にリング状の分割起点を形成しながら、該補強部に貼着した該テープの糊の貼着力を低下させる分割起点形成工程と、
該テープから該補強部を離間させ該凹部から該補強部を除去する除去工程と、
からなる、補強部除去方法。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
請求項１記載の補強部除去方法において分割起点を形成する加工装置であって、
該テープを介して該ワークセットを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルを回転させる回転機構と、
該チャックテーブルに保持された該ワークセットの該凹部と該補強部との境にリング状の分割起点を形成する分割起点形成機構と、
該チャックテーブルを囲繞しリング状に形成され、その一部または全部が紫外線を透光する支持部と、
該回転機構によって回転する該ワークセットの該テープに紫外線を照射させる回転しない紫外線照射部と、
を備える加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの補強部の除去方法、およびウェーハの補強部を除去する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
チップ（電子デバイス）の製造においては、ウェーハに格子状の分割予定ライン（ストリート）で区画された複数のデバイス領域を設け、各デバイス領域にデバイスを形成し、分割予定ラインに沿ってウェーハを分割して複数のチップにする。
【０００３】
ウェーハが薄い場合、ウェーハの剛性が低くなり、搬送や加工の際に割れ、欠けの破損が生じやすく、取り扱いが難しいという問題がある。その対策として、特許文献１に開示のように、ウェーハの中央を所定の厚みに研削して凹部を形成し、凹部の外側にリング状の補強部を残す方法（ＴＡＩＫＯ研削と呼ばれる方法）が知られている。リング状の補強部を備えたウェーハの凹部の底面に金属膜などを形成した後、特許文献２－５に開示のように、ウェーハの補強部を除去し、分割予定ラインに沿ってウェーハを分割してチップにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－０１９４６１号公報
特開２０２２－１８０８４３号公報
特開２０２２－０９０７９７号公報
特開２０２２－０５９７１１号公報
特開２０２３－０３３７５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１－５に開示のように、リング状の補強部を備えたウェーハは、糊（粘着層）付きのテープを介して、開口を有するリングフレームに支持されて、ウェーハとフレームとテープとからなるワークセットの状態で搬送や加工が行われる。ウェーハの補強部を除去する際には、ウェーハを貼着しているテープの糊の粘着力を低下させてから、補強部の除去に関する工程を行っている。
【０００６】
テープの糊は、例えば紫外線硬化型の糊であり、粘着力を低下させる際に、紫外線を照射させて糊を硬化させる。従来は、補強部と凹部との境にリング状に分割起点を形成する工程を行い、その後に糊の貼着力を低下させる紫外線を照射する工程を行い、さらにその後にテープから補強部を離間させる補強部離間工程を実施していたので、補強部の除去に時間がかかるという問題があった。
【０００７】
したがって、ウェーハからリング状の補強部を除去する補強部除去方法および加工装置は、分割起点の形成後、素早く補強部を除去するという解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、一方の面の中央に円形の凹部と該凹部の外周にリング状の補強部とを備えるウェーハから該補強部を除去する補強部除去方法であって、リングフレームの開口を塞いで貼着したテープに該ウェーハの一方の面側の該凹部と該補強部とを貼着し該リングフレームと該テープと該ウェーハとを一体化させたワークセットを形成するワークセット形成工程と、チャックテーブルに該テープを介して該ワークセットを保持させる保持工程と、該凹部と該補強部との境にリング状の分割起点を形成しながら、該補強部に貼着した該テープの糊の貼着力を低下させる分割起点形成工程と、該テープから該補強部を離間させ該凹部から該補強部を除去する除去工程と、からなることを特徴とする。
【０００９】
本発明の一態様は、上記の補強部除去方法において分割起点を形成する加工装置であって、該テープを介して該ワークセットを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させる回転機構と、該チャックテーブルに保持された該ワークセットの該凹部と該補強部との境にリング状の分割起点を形成する分割起点形成機構と、該チャックテーブルを囲繞しリング状に形成され、その一部または全部が紫外線を透光する支持部と、該回転機構によって回転する該ワークセットの該テープに紫外線を照射させる回転しない紫外線照射部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の補強部除去方法および加工装置によれば、ウェーハの凹部と補強部との境にリング状の分割起点を形成しながら、補強部に貼着したテープの糊の貼着力を低下させることにより、分割起点の形成と同時にテープから補強部を離間させることができる状態になり、分割起点の形成後、素早く補強部を除去することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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