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公開番号2024162342
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-21
出願番号2023077743
出願日2023-05-10
発明の名称粉体分離装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B03C 5/02 20060101AFI20241114BHJP(液体による,または,風力テーブルまたはジグによる固体物質の分離;固体物質または流体から固体物質の磁気または静電気による分離,高圧電界による分離)
要約【課題】清掃にかかるオペレータの負担を小さく抑えることができる粉体分離装置を提供する。
【解決手段】粉体分離装置は、液体を溜める液槽と、液体から分離された粉体を収容する容器と、液槽内の液体に接触した状態で第1電位が付与されることにより粉体が付着する第1電極板と、液槽内の液体に接触した状態で第1電位とは異なる第2電位が付与される第2電極板と、第1電極板に付着している粉体を第1電極板から削ぎ取って落下させるために用いられる削ぎ取り部材と、削ぎ取り部材により削ぎ取られ落下する粉体を受け止めて容器へと搬送する粉体搬送機構と、削ぎ取り部材により粉体が削ぎ取られて落下する際に経路から外れる方向に飛散する粉体の一部を受ける内側壁と、を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液体に混合された粉体を該液体から分離する際に用いられる粉体分離装置であって、
該液体を溜める液槽と、
該液体から分離された該粉体を収容する容器と、
該液槽内の該液体に接触した状態で第１電位が付与されることにより該粉体が付着する第１電極板と、
該液槽内の該液体に接触した状態で該第１電位とは異なる第２電位が付与される第２電極板と、
該液槽内の該液体に接触させるように該第１電極板を該液槽に挿入し又は該第１電極板を該液槽から抜き取る電極板搬送機構と、
該液槽から抜き取られた該第１電極板に付着している該粉体を該第１電極板から削ぎ取って落下させるために用いられる削ぎ取り部材と、
該削ぎ取り部材により削ぎ取られ落下する該粉体を受け止めて該容器へと搬送する粉体搬送機構と、
該削ぎ取り部材により削ぎ取られ該粉体搬送機構へと向かって落下する該粉体の落下の経路の外に配置される外側壁と、
該外側壁よりも該経路側に配置され、該削ぎ取り部材により該粉体が削ぎ取られて落下する際に該経路から外れる方向に飛散する該粉体の一部を受ける内側壁と、を含む粉体分離装置。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
該内側壁を変形させることにより該内側壁の該経路側の表面に付着した該粉体の一部を該粉体搬送機構へと落下させる内側壁変形機構を更に含む請求項１に記載の粉体分離装置。
【請求項３】
該内側壁は、樹脂によりフィルム状に構成される請求項２に記載の粉体分離装置。
【請求項４】
該内側壁変形機構は、振動発生器であり、該内側壁を振動させることにより該内側壁の該経路側の表面に付着した該粉体の一部を該粉体搬送機構へと落下させる請求項２に記載の粉体分離装置。
【請求項５】
該内側壁の該経路側の表面は、樹脂により構成される請求項４に記載の粉体分離装置。
【請求項６】
該粉体は、シリコン粉であり、該液体は、シリコンを含む被加工物を加工する際に発生する廃液であり、該第２電位は、該第１電位よりも低い請求項１から請求項５のいずれかに記載の粉体分離装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体に混合された粉体を液体から分離する際に用いられる粉体分離装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
リチウムイオン電池に代表される蓄電池の更なる大容量化や充放電の高速化を実現するために、シリコン粉（微細な粉末状のシリコン）を用いて負極を形成する技術が注目されている。負極の材質にシリコンが適用されることで、一般的な炭素系の材質が適用される場合に比べて蓄電池の容量が高められ、更に、微細な粉末状の材料で負極が形成されることにより、蓄電池の充放電に要する時間が短縮される。
【０００３】
シリコン粉を得るための技術として、シリコンウェーハ等の被加工物を加工する加工装置の廃液からシリコン粉を分離して回収するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この技術では、廃液が溜められた液槽内に一対の電極板を配置した上で、各電極板に対して異なる電位が付与される。これにより、負に帯電したシリコン粉が高電位側の電極板に吸着され、廃液から分離される。その後、電極板に吸着されたシリコン粉は、スクレーパ等で削ぎ落とされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－４９５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した技術に用いられる粉体分離装置では、例えば、電極板から削ぎ落とされたシリコン粉が搬送用のベルトの上に落下し、シリコン粉を溜めるための容器へと搬送される。一方で、電極板から削ぎ落とされたシリコン粉の一部は、ベルトの上に落下する際に周囲に飛散し、粉体分離装置を構成する壁の隙間のような清掃が難しい部分に付着してしまうことがあった。この場合には、粉体分離装置の清掃にかかるオペレータの負担が大きくなってしまう。
【０００６】
よって、本発明の目的は、清掃にかかるオペレータの負担を小さく抑えることができる粉体分離装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面によれば、液体に混合された粉体を該液体から分離する際に用いられる粉体分離装置であって、該液体を溜める液槽と、該液体から分離された該粉体を収容する容器と、該液槽内の該液体に接触した状態で第１電位が付与されることにより該粉体が付着する第１電極板と、該液槽内の該液体に接触した状態で該第１電位とは異なる第２電位が付与される第２電極板と、該液槽内の該液体に接触させるように該第１電極板を該液槽に挿入し又は該第１電極板を該液槽から抜き取る電極板搬送機構と、該液槽から抜き取られた該第１電極板に付着している該粉体を該第１電極板から削ぎ取って落下させるために用いられる削ぎ取り部材と、該削ぎ取り部材により削ぎ取られ落下する該粉体を受け止めて該容器へと搬送する粉体搬送機構と、該削ぎ取り部材により削ぎ取られ該粉体搬送機構へと向かって落下する該粉体の落下の経路の外に配置される外側壁と、該外側壁よりも該経路側に配置され、該削ぎ取り部材により該粉体が削ぎ取られて落下する際に該経路から外れる方向に飛散する該粉体の一部を受ける内側壁と、を含む粉体分離装置が提供される。
【０００８】
好ましくは、該粉体分離装置は、該内側壁を変形させることにより該内側壁の該経路側の表面に付着した該粉体の一部を該粉体搬送機構へと落下させる内側壁変形機構を更に含む。好ましくは、該内側壁は、樹脂によりフィルム状に構成される。
【０００９】
好ましくは、該内側壁変形機構は、振動発生器であり、該内側壁を振動させることにより該内側壁の該経路側の表面に付着した該粉体の一部を該粉体搬送機構へと落下させる。好ましくは、該内側壁の該経路側の表面は、樹脂により構成される。
【００１０】
好ましくは、該粉体は、シリコン粉であり、該液体は、シリコンを含む被加工物を加工する際に発生する廃液であり、該第２電位は、該第１電位よりも低い。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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