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公開番号2025025747
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-21
出願番号2023130840
出願日2023-08-10
発明の名称搬送装置、及び、被搬送物の搬送方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250214BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被搬送物に割れが発生することを防止できる搬送装置を提供する。
【解決手段】被搬送物(11)を保持する保持面(17)を有する保持テーブル(16)に対して、被搬送物を搬送する搬送装置(30)であって、搬送装置は、被搬送物を保持する保持部(35)、保持面に対して気体を噴射するブローノズル(40)と保持面に向かう方向に吸引力を発生させるバキュームノズル(50)の少なくともいずれかを含むノズルユニット、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被搬送物を保持する保持面を有する保持テーブルに対して、被搬送物を搬送する搬送装置であって、
該搬送装置は、
被搬送物を保持する保持部と、
該保持面に対して気体を噴射するブローノズルと、該保持面に向かう方向に吸引力を発生させるバキュームノズルと、の少なくともいずれかを含むノズルユニットと、
を備える搬送装置。
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
該ブローノズルは、該保持部を該保持面に相対的に接近させる際の進行方向前側に固定されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
該バキュームノズルは、該ブローノズルより、該保持部を該保持面に相対的に接近させる際の進行方向前側に固定されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
請求項１に記載の搬送装置を用いた被搬送物の搬送方法であって、
該保持部を該保持テーブルの該保持面に対して相対的に接近させながら、該ブローノズルから気体を供給し、少なくとも該保持面に付着した異物を除去する第１ブローステップと、
該保持部を該保持面に対して相対的に接近させながら、該バキュームノズルによって、少なくとも該保持面に付着した異物を除去する第１バキュームステップと、
のいずれかを実施する異物除去ステップと、
該異物除去ステップの後に、搬送アームで該保持面に被搬送物を載置する載置ステップと、
を備える被搬送物の搬送方法。
【請求項５】
該第１ブローステップは、該保持部で被搬送物を保持した状態で実施する請求項４に記載の被搬送物の搬送方法。
【請求項６】
該載置ステップ後、該保持部を該保持面から相対的に離反させながら該ブローノズルから該被搬送物に対して気体を噴射して、該被搬送物に付着した異物を除去する第２ブローステップを備える請求項４に記載の被搬送物の搬送方法。
【請求項７】
該保持面に保持された被搬送物に該保持部を相対的に接近させながら、該ブローノズルから被搬送物に気体を噴射して被搬送物の異物を除去する第３ブローステップと、
該第３ブローステップ後、該保持部で該保持面から被搬送物を搬出する被搬送物搬出ステップと、
をさらに備える請求項４に記載の被搬送物の搬送方法。
【請求項８】
該保持テーブルは、該搬送アームの搬送時に開放されるシャッターを有するプラズマエッチング装置のチャンバー内に設置されていることを特徴とする請求項４に記載の被搬送物の搬送方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を搬送する搬送装置及び搬送方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
電子デバイスなどの製造に用いる処理装置は、被搬送物を搬送して所要位置まで搬送する搬送装置を備えている。例えば、特許文献１に開示される搬送装置は、ウエーハを吸引保持した保持部を、処理装置の保持テーブル（チャックテーブル）の位置まで搬送し、保持テーブルの保持面にウエーハを載置して受け渡す。
【０００３】
特許文献２には、切削装置において、被加工物をチャックテーブルに搬送する搬送手段などに、イオン化したエアーを噴出するイオン化エアー噴出手段を配設し、プラスマイナスのイオンバランスがとれたエアーを被加工物に対して噴出することで、被加工物に静電気が帯電することによるデバイスの静電破壊を防止することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０００－１０６３９０号公報
特開２００２－０６６８６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のような搬送装置で被搬送物を搬送する際に、処理装置の保持テーブルの保持面に異物が付着していた場合、被搬送物を保持面に載置する際に、異物を起点に被搬送物に割れが発生するおそれがあった。そのため、被搬送物を保持テーブルの保持面に載置する前に、保持面の異物を除去したいという課題があった。
【０００６】
特許文献２の切削装置は、被加工物の帯電防止を目的として、搬送手段から被加工物に向けてイオン化したエアーを噴出するものであり、チャックテーブルや被加工物に付着した異物の除去を実現するものではなかった。
【０００７】
本発明は以上の問題点に鑑みてなされたものであり、被搬送物に割れが発生することを防止できる搬送装置及び搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、被搬送物を保持する保持面を有する保持テーブルに対して、被搬送物を搬送する搬送装置であって、該搬送装置は、被搬送物を保持する保持部と、該保持面に対して気体を噴射するブローノズルと、該保持面に向かう方向に吸引力を発生させるバキュームノズルと、の少なくともいずれかを含むノズルユニットと、を備える。
【０００９】
該ブローノズルは、該保持部を該保持面に相対的に接近させる際の進行方向前側に固定されることが好ましい。
【００１０】
該バキュームノズルは、該ブローノズルより、該保持部を該保持面に相対的に接近させる際の進行方向前側に固定されることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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