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公開番号2025022046
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2023126274
出願日2023-08-02
発明の名称搬送アームの位置設定方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250206BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送調整の工数を削減する。
【解決手段】搬送アームの位置設定方法は、移動ステップと測定ステップと検出ステップと設定ステップを有する。搬送アームはフレームFを吸引保持する吸着部463を有する。移動ステップでは、フレームFの外縁OEと内縁IEで区画されたフレーム領域上を横断するY軸方向へ搬送アームを移動する。測定ステップでは、移動ステップ後に吸着部463に吸引力を発生させて吸着部463の負圧を測定する。検出ステップでは、移動ステップと測定ステップを繰り返すことで測定された負圧の測定結果に基づいて、第1検出位置と第2検出位置を検出する。第1検出位置と第2検出位置は吸着部463がフレーム領域上からはみ出す位置とはみ出さない位置の外縁OE側と内縁IE側の境界を特定する。設定ステップでは、搬出位置として第1検出位置と第2検出位置の間の位置を設定する。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物が保持されたフレームユニットに用いられる環状フレームを保持機構から搬出する搬送アームの位置設定方法であって、
該搬送アームは、該環状フレームを吸引保持する吸着部を有し、
該環状フレームの外縁と内縁で区画されたフレーム領域上を横断する第１方向へ該搬送アームを移動する移動ステップと、
該移動ステップ後に、該保持機構に保持された該環状フレームに接触した該吸着部に吸引力を発生させて該吸着部の負圧を測定する測定ステップと、
該移動ステップと該測定ステップを繰り返すことによって該測定ステップで測定された負圧の測定結果に基づいて、該吸着部が該フレーム領域上からはみ出す該搬送アームの位置とはみ出さない該搬送アームの位置の該外縁側の境界を特定する第１検出位置と、該吸着部が該フレーム領域上からはみ出す該搬送アームの位置とはみ出さない該搬送アームの位置の該内縁側の境界を特定する第２検出位置と、を検出する検出ステップと、
該保持機構に保持された該環状フレームを該搬送アームが搬出する際に該搬送アームを位置付ける搬出位置として該検出ステップで検出した該第１検出位置と該第２検出位置の間の位置を設定する設定ステップと、を備える
ことを特徴とする位置設定方法。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
請求項１に記載の位置設定方法において、
該設定ステップは、該第１検出位置と該第２検出位置の中間の位置を該搬出位置として算出する位置算出ステップを含む
ことを特徴とする位置設定方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の位置設定方法において、
該搬送アームは、複数の該吸着部を有し、
該検出ステップは、該測定結果に基づいて、該第１検出位置と該第２検出位置の検出に用いられる、各測定ステップで測定された該複数の吸着部の負圧の平均値を算出する平均値算出ステップを含む
ことを特徴とする位置設定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送アームの位置設定方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
処理装置内における被加工物の搬送方法の一つとして、テープを介して被加工物を保持する環状フレームを、吸着パッドを有する搬送アームで吸引保持して搬送する搬送方法が知られている。
【０００３】
この搬送方法に関連する技術は、例えば、特許文献１に記載されている。特許文献１に記載の技術では、環状フレームのサイズに合わせて保持機構である一対のガイドの間隔と搬送アームの吸着部の設置位置とが調整される。これにより、様々なサイズの環状フレームに対応することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２３－０２７９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の搬送方法では、環状フレームのサイズに合わせた調整に加えて、搬出位置の調整が行われる。搬出位置は、保持機構に保持された環状フレームを搬出する際に搬送アームが位置付けられる位置をいう。
【０００６】
従来は、作業者が搬送アームを動かしながら吸着パッドが環状フレームに接触する位置を目視で確認することで、搬出位置の調整が行われている。このため、調整作業における作業者の負担を軽減する新たな技術の提案が期待されている。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、搬送調整の工数を削減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様の方法は、被加工物が保持されたフレームユニットに用いられる環状フレームを保持機構から搬出する搬送アームの位置設定方法であって、該搬送アームは、該環状フレームを吸引保持する吸着部を有し、該環状フレームの外縁と内縁で区画されたフレーム領域を横断する第１方向へ該搬送アームを移動する移動ステップと、該移動ステップ後に、該保持機構に保持された該環状フレームに接触した該吸着部に吸引力を発生させて該吸着部の負圧を測定する測定ステップと、該移動ステップと該測定ステップを繰り返すことによって該測定ステップで測定された負圧の測定結果に基づいて、該吸着部が該フレーム領域からはみ出す該搬送アームの位置とはみ出さない該搬送アームの位置の該外縁側の境界を特定する第１検出位置と、該吸着部が該フレーム領域からはみ出す該搬送アームの位置とはみ出さない該搬送アームの位置の該内縁側の境界を特定する第２検出位置と、を検出する検出ステップと、該保持機構に保持された該環状フレームを該搬送アームが搬出する際に該搬送アームを位置付ける搬出位置として該検出ステップで検出した該第１検出位置と該第２検出位置の間の位置を設定する設定ステップと、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、搬送調整の工数を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
一実施形態に係る処理装置の斜視図である。
図１に示す処理装置に含まれる搬送アームの構成例を示す斜視図である。
図２に示す搬送アームの挟持機構の構成例を示す図である。
図２に示す搬送アームの吸引保持機構の構成例を示す斜視図である。
図３に示す挟持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
図３に示す挟持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
図３に示す挟持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
図４に示す吸引保持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの移動例について説明する図である。
測定結果の一例を示す図である。
図４に示す吸引保持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
図４に示す吸引保持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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