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公開番号2024160735
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-15
出願番号2023075971
出願日2023-05-02
発明の名称カセット
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類H01L 21/673 20060101AFI20241108BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】オペレータの不注意によって、又は加工装置の振動によってカセットが傾いても、該カセットに収容されている板状物のガタツキが抑制され、板状物がカセットの開口部からはみ出したり、カセットから脱落したりする等の問題が解消できるカセットを提供する。
【解決手段】板状物12を支持する支持溝4aが複数形成され載置面100に載置される被載置部3aを有する第一の側壁4と、第一の側壁4に形成された支持溝4aに対応する複数の支持溝5aが形成され、載置面100に載置される被載置部3bを有する第二の側壁5と、第一の側壁4と第二の側壁5とを連結して固定する上固定部6及び下固定部7と、板状物の進入及び退出を許容する開口部8と、開口部8の反対側に形成され板状物12の脱落を防止する背部9と、を含み構成され、第一の側壁4又は第二の側壁5の被載置部3a、3bが載置面100から離間した際、支持溝4a、5aに支持された板状物12のガタツキを規制するガタツキ規制部20が支持溝4a、5aに対応して形成される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
板状物を収容し載置面に載置されるカセットであって、
板状物を支持する支持溝が複数形成され該載置面に載置される被載置部を有する第一の側壁と、該第一の側壁に形成された該支持溝に対応する複数の支持溝が形成され、該載置面に載置される被載置部を有する第二の側壁と、該第一の側壁と該第二の側壁とを連結して固定する上固定部及び下固定部と、該第一の側壁と該第二の側壁と該上固定部と該下固定部とにより形成された板状物の進入及び退出を許容する開口部と、該開口部の反対側に形成され板状物の脱落を防止する背部と、を含み構成され、
該第一の側壁又は該第二の側壁の被載置部が該載置面から離間した際、該支持溝に支持された板状物のガタツキを規制するガタツキ規制部が該支持溝に対応して形成されるカセット。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
該ガタツキ規制部は、該第一の側壁又は該第二の側壁に沿って該上固定部から該下固定部に至り進退可能に配設されたロッドと、該ロッドの下端部が該被載置部と共に該載置面に接している際は、該支持溝に支持された板状物を開放し、該被載置部が該載置面から離間した際は、該支持溝に支持された板状物を押圧して板状物のガタツキを規制する押圧片が該支持溝に対応して該ロッドに形成されている請求項１に記載のカセット。
【請求項３】
該ロッドの上端には、押圧ばねが配設され、該被載置部が該載置面から離間した際に、該ロッドを強制的に押し下げて該押圧片で該板状物を押圧してガタツキを規制する請求項２に記載のカセット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物を収容し載置面に載置されるカセットに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、切削装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、複数のウエーハを収容したカセットと、該カセットが載置される載置台と、該載置台に載置されたカセットからウエーハを搬出して該チャックテーブルまで搬送する搬送手段と、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に所定の厚みに研削することができる（例えば特許文献１を参照）。
【０００４】
また、切削装置は、ウエーハが環状のフレームの開口部に位置付けられ粘着テープを介して一体とされた板状物であるウエーハユニットを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削手段と、該ウエーハユニットを複数収容したカセットを載置するカセット載置台と、該カセット載置台に載置されたカセットから該ウエーハユニットを搬出して該チャックテーブルまで搬送する搬送手段と、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（例えば特許文献２を参照）。
【０００５】
なお、レーザー加工装置は、切削装置を構成する切削手段がレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と置き換えられる点を除いて切削装置と略同様に構成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００６－０２１２６４号公報
特開２０１５－１７０６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記した各加工装置に採用されるカセットは、板状物の進入と退出を許容する開口部を備えていて、該カセットをカセット載置台に搬入したり、該カセット載置台から搬出したりする際のオペレータの不注意によって、又は該加工装置の振動によって傾いたりすることがあり、該カセットに収容されている板状物（ウエーハや上記したウエーハユニット）が該カセットの開口部からはみ出したり、脱落したりする等の問題がある。特に、カセット内に収容される板状物が、粘着テープを介して環状のフレームの開口部に保持されたウエーハユニットである場合は、上記したはみ出しや脱落によって該カセット内において隣接して収容されたウエーハユニットの粘着テープが他のウエーハユニットに接触して貼り付き、該貼り付きを解消するのに手間が掛かるという問題も生じる。上記した問題は、デバイスが表面に形成されたウエーハのみならず、その他の板状物であっても生じ得る問題である。
【０００８】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、オペレータの不注意によって、又は加工装置の振動によってカセットが傾いても、該カセットに収容されている板状物のガタツキが抑制され、板状物がカセットの開口部からはみ出したり、カセットから脱落したりする等の問題が解消できるカセットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、板状物を収容し載置面に載置されるカセットであって、板状物を支持する支持溝が複数形成され該載置面に載置される被載置部を有する第一の側壁と、該第一の側壁に形成された該支持溝に対応する複数の支持溝が形成され、該載置面に載置される被載置部を有する第二の側壁と、該第一の側壁と該第二の側壁とを連結して固定する上固定部及び下固定部と、該第一の側壁と該第二の側壁と該上固定部と該下固定部とにより形成された板状物の進入及び退出を許容する開口部と、該開口部の反対側に形成され板状物の脱落を防止する背部と、を含み構成され、該第一の側壁又は該第二の側壁の被載置部が該載置面から離間した際、該支持溝に支持された板状物のガタツキを規制するガタツキ規制部が該支持溝に対応して形成されるカセットが提供される。
【００１０】
該ガタツキ規制部は、該第一の側壁又は該第二の側壁に沿って該上固定部から該下固定部に至り進退可能に配設されたロッドと、該ロッドの下端部が該被載置部と共に該載置面に接している際は、該支持溝に支持された板状物を開放し、該被載置部が該載置面から離間した際は、該支持溝に支持された板状物を押圧して板状物のガタツキを規制する押圧片が該支持溝に対応して該ロッドに形成されていることが好ましい。該ロッドの上端には、押圧ばねが配設され、該被載置部が該載置面から離間した際に、該ロッドを強制的に押し下げて該押圧片で該板状物を押圧してガタツキを規制するものであることが好ましい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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