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公開番号2024164484
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-27
出願番号2023079988
出願日2023-05-15
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B23Q 17/00 20060101AFI20241120BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工装置における一連の動作中において、特定の部位について重点的に動作を確認できるようにする。
【解決手段】ウェーハ100を保持する保持機構5と、ウェーハ100を加工する加工機構30、31と、ウェーハ100を搬送パッド171、173で保持し搬送する搬送機構170、172と、洗浄具158を移動させウェーハ100を洗浄する洗浄機構156と、タッチパネル60と、を備え、ウェーハ100を加工する加工装置1であって、タッチパネル60に配置され搬送パッド171、173または洗浄具158が移動する所定の範囲で171、173または洗浄具158を往復させる往復ボタン614と、所定の範囲を設定する範囲設定部71と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを保持する保持機構と、ウェーハを加工する加工機構と、ウェーハを搬送パッドで保持し搬送する搬送機構と、洗浄具を移動させウェーハを洗浄する洗浄機構と、タッチパネルと、を備え、ウェーハを加工する加工装置であって、
該タッチパネルに配置され該搬送パッドまたは該洗浄具が移動する所定の範囲で該搬送パッドまたは該洗浄具を往復させる往復ボタンと、該所定の範囲を設定する範囲設定部と、を備える、加工装置。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
該往復ボタンは、一時停止ボタンと、該所定の範囲において一方から他方に順方向に移動させる順方向ボタンと、該所定の範囲において該他方から該一方に逆方向に移動させる逆方向ボタンと、からなる、請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該範囲設定部は、該タッチパネルに該所定の範囲を表示する移動範囲イラストと、該移動範囲イラストの該所定の範囲をドラッグ指定させる指定部と、からなる請求項１記載の加工装置。
【請求項４】
該範囲設定部は、該タッチパネルに配置され該一時停止ボタンで一時停止させたスタート位置を記憶させるスタート位置記憶ボタンと、該タッチパネルに配置され該一時停止ボタンで一時停止させたエンド位置を記憶させるエンド位置記憶ボタンと、からなる請求項２記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハを研削する研削装置をはじめとする各種の加工装置では、ウェーハを加工する際にウェーハが装置内を移動する経路（ルート）が設定されている。そして、加工装置内の特定の部位を選択することにより、選択された部位で限定されたルートを構成し、特定の部位に注目してその動作、加工結果等についての確認を可能としている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１３２１８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特定の部位の動作を重点的に確認したい場合においても、選択した部位を含む一連の動作を確認しているため、確認に時間がかかるという問題がある。したがって、一連の動作中において、特定の部位について重点的に動作等を確認できるようにするという解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本加工装置は、ウェーハを保持する保持機構と、ウェーハを加工する加工機構と、ウェーハを搬送パッドで保持し搬送する搬送機構と、洗浄具を移動させウェーハを洗浄する洗浄機構と、タッチパネルと、を備え、ウェーハを加工する加工装置であって、該タッチパネルに配置され該搬送パッドまたは該洗浄具が移動する所定の範囲で該搬送パッドまたは該洗浄具を往復させる往復ボタンと、該所定の範囲を設定する範囲設定部と、を備える。
該往復ボタンは、一時停止ボタンと、該所定の範囲において一方から他方に順方向に移動させる順方向ボタンと、該所定の範囲において該他方から該一方に逆方向に移動させる逆方向ボタンと、からなるとよい。
該範囲設定部は、該タッチパネルに該所定の範囲を表示する移動範囲イラストと、該移動範囲イラストの該所定の範囲をドラッグ指定させる指定部と、からなるとよい。
該範囲設定部は、該タッチパネルに配置され該一時停止ボタンで一時停止させたスタート位置を記憶させるスタート位置記憶ボタンと、該タッチパネルに配置され該一時停止ボタンで一時停止させたエンド位置を記憶させるエンド位置記憶ボタンと、からなってもよい。
【発明の効果】
【０００６】
本加工装置では、往復ボタンをタッチすることにより、搬送パッド又は洗浄具を所定の範囲内において往復移動させることができるため、特定の部位の動作を繰り返し確認することができる。したがって、例えば搬送中にウェーハを破損させるなどのトラブルが発生した際に、ウェーハの破損が発生したことが推測される所定の範囲で搬送パッドを往復移動させることにより、破損した要因を確認しやすくする。また、洗浄具を所定の範囲で往復させることにより、例えば洗浄ノズルが正常に動作しているかを確認しやすくする。
往復ボタンが、一時停止ボタン、順方向ボタン及び逆方向ボタンを備えることにより、オペレータがこれらのボタンをタッチすることにより、搬送パッド又は洗浄具を所定の範囲内で順方向又は逆方向に移動させ、その範囲の任意の位置で動作を止めることができる。したがって、搬送パッド又は洗浄具の動作をより詳細に把握することができる。
範囲設定部が、所定の範囲を表示する移動範囲イラストと、移動範囲イラストの所定の範囲をドラッグ指定する指定部とを備えることにより、搬送パッド又は洗浄具を実際に動作させることなく、タッチパネル上のみで所定の移動範囲を設定することができ、オペレータの負担を軽減することができる。
範囲設定部が、一時停止ボタンで一時停止させた位置を記憶させるスタート位置記憶ボタンと、一時停止ボタンで一時停止させたエンド位置を記憶させるエンド位置記憶ボタンとを備えることにより、搬送パッド又は洗浄具を動作させてオペレータが実際に見ながら所定の範囲を設定することができ、見たいところをよりきめ細かく範囲設定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
加工装置の例を示す斜視図である。
搬入移動範囲イラストの例を示す説明図である。
搬出移動範囲イラストの例を示す説明図である。
洗浄移動範囲イラストの例を示す説明図である。
往復選択画面の例を示す説明図である。
搬入往復動作画面の例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
１加工装置の構成
図１に示す加工装置１は、粗研削機構３０及び仕上げ研削機構３１を備え、いずれかのチャックテーブル５上に保持されたウェーハ１００を、粗研削機構３０及び仕上げ研削機構３１により研削する装置である。
【０００９】
図１に示すウェーハ１００は、被加工物の一例であり、例えば円形の半導体ウェーハである。ウェーハ１００の表面１０１には、図示しないデバイスが形成されている。ウェーハ１００の表面１０１は、図１においては下方を向いており、保護テープ１０５が貼着されることによって保護されている。ウェーハ１００の裏面１０４は、研削処理が施される被加工面となる。
【００１０】
加工装置１は、第１の装置ベース１０と、第１の装置ベース１０の後方（＋Ｙ方向側）に配置された第２の装置ベース１１とを有している。第１の装置ベース１０上は、ウェーハ１００の搬出入等が行われる領域である搬出入領域４０１となっている。第２の装置ベース１１上は、加工領域４０２となっている。この加工領域４０２では、ウェーハ１００を加工する加工機構である粗研削機構３０または仕上げ研削機構３１によって、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００が加工される。
（【００１１】以降は省略されています）

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