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公開番号2024162989
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-21
出願番号2023215967
出願日2023-12-21
発明の名称ウェーハの研削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241114BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】TAIKO研削で形成されるリング状補強部の内周上面角部に形成されるチッピングを抑制できるウェーハの研削方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハの研削方法は、ウェーハの裏面に熱圧着シートを固定する熱圧着シート固定ステップ1001と、チャックテーブルでウェーハの表面側を保持する保持ステップ1003と、複数の研削砥石で形成される直径がウェーハの半径以下の研削ホイールの研削砥石の回転軌跡をチャックテーブルの保持面の回転軸と重なる位置に位置づけた状態で、研削ホイールとチャックテーブルとを研削ホイールの回転軸方向に相対的に接近させ、熱圧着シートの中央部を削り取るとともにウェーハの裏面側に円形凹部とリング状補強部とを形成する研削ステップ1004と、リング状補強部の上面に固定される熱圧着シートを剥離する剥離ステップ1007と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
表面にデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが形成されたウェーハの裏面を研削し、円形凹部と該円形凹部を囲繞するリング状補強部とを形成するウェーハの研削方法であって、
該ウェーハの裏面に熱圧着シートを固定する熱圧着シート固定ステップと、
保持面に回転軸を有するチャックテーブルで該ウェーハの該表面側を保持する保持ステップと、
環状の基台と該基台の自由端面に設けられた複数の研削砥石とを含み、複数の該研削砥石で形成される直径が該ウェーハの半径以下の研削ホイールを先端に装着したスピンドルを有する研削ユニットの該研削砥石の回転軌跡を該保持面の回転軸と重なる位置に位置づけた状態で、該研削ユニットと該チャックテーブルとを該スピンドルの回転軸方向に相対的に接近させ、該熱圧着シートの中央部を削り取るとともに該ウェーハの裏面側に該円形凹部と該リング状補強部とを形成する研削ステップと、
該リング状補強部の上面に固定される該熱圧着シートを剥離する剥離ステップと、
を備えるウェーハの研削方法。
続きを表示（約 840 文字）【請求項２】
該剥離ステップの後、または該研削ステップの後且つ該剥離ステップの前に、
該円形凹部の底面をエッチングするエッチングステップと、
該エッチングステップの後に、該円形凹部の底面に金属膜を形成する金属膜形成ステップと、
を更に備える請求項１記載のウェーハの研削方法。
【請求項３】
該ウェーハの表面に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、
を更に備える請求項１または請求項２記載のウェーハの研削方法。
【請求項４】
該熱圧着シートは、フィラーが添加されている、請求項１記載のウェーハの研削方法。
【請求項５】
該熱圧着シートは、フィラーが添加されたフィラー有り層と、フィラーが添加されていないフィラー無し層と、が積層されて形成され、該熱圧着シートの少なくとも一方の面側に該フィラー無し層が積層される、請求項１記載のウェーハの研削方法。
【請求項６】
該熱圧着シート固定ステップでは、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された側の面を該ウェーハの裏面に向けて、該ウェーハの裏面に該熱圧着シートを固定する、請求項５記載のウェーハの研削方法。
【請求項７】
該熱圧着シート固定ステップでは、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された側の面を該ウェーハの裏面とは反対側に向けて、該ウェーハの裏面に該熱圧着シートを固定する、請求項５記載のウェーハの研削方法。
【請求項８】
該熱圧着シートは、該熱圧着シートの両面側に該フィラー無し層が積層され、
該熱圧着シート固定ステップでは、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された一方の面を該ウェーハの裏面に向けて、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された他方の面を該ウェーハの裏面とは反対側に向けて、該ウェーハの裏面に該熱圧着シートを固定する、請求項５記載のウェーハの研削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの研削方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが形成されたデバイス領域を表面に備えるウェーハの裏面の研削において、ウェーハの裏面の外周エッジ部分を残し、外周エッジ部分の内側のデバイス領域に対応するウェーハの裏面の内側部分のみを研削して薄化するＴＡＩＫＯ（登録商標）研削技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、ＳｉＰ（System in Package）等の普及に伴い、ウェーハを歩留まり良く薄化できる研削技術が要望されており、ウェーハを薄化する研削技術の一つとして、ＴＡＩＫＯ研削技術が知られている。ＴＡＩＫＯ研削技術により、ウェーハの外周エッジ部分に補強部として機能するリング状補強部が形成される。リング状補強部が形成されることにより、ウェーハの内側部分が薄化された後においても、例えば、ウェーハの反り、及び搬送時におけるウェーハの割れ等が抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－０１９４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ＴＡＩＫＯ研削技術により形成されるリング状補強部の内周上面角部には、ウェーハに研削砥石が食い付く際にウェーハの外周方向に向かってチッピングが発生する恐れがあるという問題があった。また、食い付き後の凹部形成にあたっても研削砥石の側面がリング状補強部の内周側面に接触することによって上記のチッピングは更に増加および増大する恐れがあるという問題があった。リング状補強部の内周上面角部に発生するチッピングは、チッピングによるウェーハ割れや、ウェットエッチング工程でチッピングを通過する薬液の影響によりリング状補強部の上面に凹部(波々形状)が形成されることによって金属膜形成不良、または、ダイシングテープの貼着不良に繋がるという問題があった。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ＴＡＩＫＯ研削で形成されるリング状補強部の内周上面角部に形成されるチッピングを抑制できるウェーハの研削方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のウェーハの研削方法は、表面にデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが形成されたウェーハの裏面を研削し、円形凹部と該円形凹部を囲繞するリング状補強部とを形成するウェーハの研削方法であって、該ウェーハの裏面に熱圧着シートを固定する熱圧着シート固定ステップと、保持面に回転軸を有するチャックテーブルで該ウェーハの該表面側を保持する保持ステップと、環状の基台と該基台の自由端面に設けられた複数の研削砥石とを含み、複数の該研削砥石で形成される直径が該ウェーハの半径以下の研削ホイールを先端に装着したスピンドルを有する研削ユニットの該研削砥石の回転軌跡を該保持面の回転軸と重なる位置に位置づけた状態で、該研削ユニットと該チャックテーブルとを該スピンドルの回転軸方向に相対的に接近させ、該熱圧着シートの中央部を削り取るとともに該ウェーハの裏面側に該円形凹部と該リング状補強部とを形成する研削ステップと、該リング状補強部の上面に固定される該熱圧着シートを剥離する剥離ステップと、を備えるものである。
【０００８】
該剥離ステップの後、または該研削ステップの後且つ該剥離ステップの前に、該円形凹部の底面をエッチングするエッチングステップと、該エッチングステップの後に、該円形凹部の底面に金属膜を形成する金属膜形成ステップと、を更に備えてもよい。
【０００９】
該ウェーハの表面に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、を更に備えてもよい。
【００１０】
該熱圧着シートは、フィラーが添加されていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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