特許ウォッチ

公開番号2024148213
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-18
出願番号2023061136
出願日2023-04-05
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20241010BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工工具の振動を低減する。
【解決手段】被加工物を加工する加工装置2であって、被加工物11を保持するチャックテーブル16と、円柱状のスピンドルと、スピンドルの一部を回転可能に収容するスピンドルハウジング34と、を有し、スピンドルの下端部には加工工具を装着可能である加工ユニット32a、32bと、スピンドルハウジング34に固定され、スピンドルの長手方向と交差する方向に沿って配置されている梁部と、梁部の長手方向において梁部に対してスライド可能に装着された錘と、を備え、梁部における錘の位置を調整することによって、スピンドルの回転時に生じる加工ユニットの振動を低減可能である加工装置を提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を加工する加工装置であって、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
円柱状のスピンドルと、該スピンドルの一部を回転可能に収容するスピンドルハウジングと、を有し、該スピンドルの下端部には加工工具を装着可能である加工ユニットと、
該スピンドルハウジングに固定され、該スピンドルの長手方向と交差する方向に沿って配置されている梁部と、
該梁部の長手方向において該梁部に対してスライド可能に装着された錘と、
を備え、
該梁部における該錘の位置を調整することによって、該スピンドルの回転時に生じる該加工ユニットの振動を低減可能であることを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 77 文字）【請求項２】
該梁部及び該錘は、該梁部の該長手方向における該錘の位置を決める位置決め機構を含むことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯電話、パーソナルコンピュータ（ＰＣ：Personal Computer）等の電子機器には、半導体デバイスチップが搭載されている。半導体デバイスチップは、半導体ウェーハ（以下、単にウェーハ）を加工して製造される。
【０００３】
例えば、ウェーハの表面側において互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画された各矩形領域にＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスを形成した後、ウェーハの裏面側を研削装置で研削して薄化し、次いで、各分割予定ラインに沿ってウェーハを切削装置でデバイス単位に分割することで、半導体デバイスチップが製造される。
【０００４】
研削装置は、円盤状のチャックテーブルを有する。チャックテーブルの上方には、研削ユニット（即ち、加工ユニット）が配置されている。研削ユニットは、円柱状のスピンドルと、スピンドルを回転可能に収容しているスピンドルハウジングと、を含む。
【０００５】
スピンドルは、通常、研削装置の高さ方向に沿って配置されている。スピンドルの下端部には、円盤状のマウントを介して円環状の研削ホイール（即ち、加工工具）が装着されている。研削ホイールは、円環状の基台と、基台の下面側に配置された複数の研削砥石と、を有する。
【０００６】
ウェーハを研削する際には、まず、ウェーハの表面側を吸引保持する。そして、チャックテーブル及びスピンドルを所定方向に回転させながら、研削ユニットを下方に移動させることで、研削ホイールでウェーハの裏面側を研削する（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
ウェーハの研削時に、スピンドルの回転数が、研削ユニットが持つ固有の共振周波数（即ち、固有振動数）に一致すると、共振が生じる。なお、研削ユニットの固有振動数は、１つの値の周波数だけではなく、複数の値の周波数を含む場合もある。
【０００８】
研削ユニットにおいて共振が生じると、一体的に回転するスピンドル及び研削ホイールの振動が増強され、スピンドル及び研削ホイールが、高さ方向に直交する水平面内で比較的激しく振動することになる。
【０００９】
この様に、研削ホイールが水平面内で比較的激しく振動すると、研削時に、ウェーハの割れ、被研削面に形成されるチッピングの数の増加、その他の異常等の研削不良が発生する。同様の問題は、他の加工装置でも生じ得る。
【００１０】
例えば、スピンドルハウジング、スピンドル、マウント、研磨ホイール（即ち、加工工具）を有する研磨ユニット（即ち、加工ユニット）を備える研磨装置や、スピンドルハウジング、スピンドル、マウント、バイト切削ホイール（即ち、加工工具）を有するバイト切削ユニット（即ち、加工ユニット）を備えるバイト切削装置等においても、同様に、加工工具の平面方向での振動が問題となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
（【００１１】以降は省略されています）

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