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公開番号2024143897
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-11
出願番号2023056836
出願日2023-03-31
発明の名称フレーム洗浄装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241004BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】リングフレームに付着する糊などの付着物を効率的に除去できるフレーム洗浄装置を提供する。
【解決手段】リングフレーム(1)の一方の面(2)を洗浄するフレーム洗浄装置(10)であり、保持面(21)によってリングフレームの他方の面(3)を保持する保持テーブル(20)と、保持テーブルを回転させる回転機構(24)と、保持テーブルに保持されたリングフレームの一方の面に隙間を設けて対面させる発振面(34)から超音波振動を発振する超音波振動子(31)と、隙間に水を供給する水供給部(27)と、を備え、リングフレームを回転させ発振面から水に伝播させた超音波振動によってリングフレームの一方の面全面を洗浄する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
リングフレームの一方の面を洗浄するフレーム洗浄装置であって、
保持面によってリングフレームの他方の面を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルを回転させる回転機構と、
該保持テーブルに保持された該リングフレームの一方の面に隙間を設けて対面させる発振面から超音波振動を発振する超音波振動子と、
該隙間に水を供給する水供給部と、を備え、
該リングフレームを回転させ該発振面から該水に伝播させた超音波振動によって該リングフレームの一方の面全面を洗浄する、フレーム洗浄装置。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
該発振面は、該リングフレームの幅を覆う大きさである、請求項１記載のフレーム洗浄装置。
【請求項３】
該リングフレームの一方の面は、テープを剥離させた際の糊が付着しており、該糊を除去する、請求項１記載のフレーム洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレーム洗浄装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハなどの被加工物を加工する際に、環状のリングフレームの内側にテープを介して被加工物を支持させ、被加工物とリングフレームとテープとを含んだ被加工物ユニットの形態で加工や搬送を行う場合がある。被加工物ユニットではテープの粘着面がリングフレームに貼着されており、被加工物に対して所定の加工を行った後、テープを剥離させてリングフレームから取り外す。リングフレームのうちテープを剥離した部分に、テープの糊（粘着材）が付着して残るという、いわゆる糊残りが生じることがある。
【０００３】
特許文献１に開示のように、フレーム洗浄装置を用いてリングフレームを洗浄してリングフレームに残った糊を除去し、リングフレームを再使用することが行われている。
【０００４】
特許文献２に開示のように、糊残りが生じないテープを使用して、糊を除去する手間を軽減することも行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００２－３２６０６１号公報
特開２００９－０３２７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のフレーム洗浄装置は、リングフレームの上下面をブラシ装置のブラシ毛で擦って糊剤を軟化及び剥離させ、その後に水によってリングフレームから糊剤を洗い流している。しかし、可動部分が多いブラシ装置を備えるため、フレーム洗浄装置が大型で複雑な構造になるという問題があった。また、洗浄に際してブラシ毛をリングフレームに接触させるため、損耗したブラシ毛の交換などのメンテナンスを行う頻度が高く、ブラシ装置の運用に手間がかかるという問題があった。
【０００７】
また、被加工物の種類によっては、特許文献２のような糊残りが生じないタイプのテープを使用できない場合がある。
【０００８】
テープの糊以外に、被加工物の加工の際に生じた加工屑や、被加工物の加工に用いた薬剤などが、リングフレームに付着して残る可能性がある。リングフレームを再使用する場合は、このような糊以外の付着物も除去する必要がある。
【０００９】
したがって、リングフレームに付着した糊などの付着物を効率的に除去できるフレーム洗浄装置が求められている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様は、リングフレームの一方の面を洗浄するフレーム洗浄装置であって、保持面によってリングフレームの他方の面を保持する保持テーブルと、該保持テーブルを回転させる回転機構と、該保持テーブルに保持された該リングフレームの一方の面に隙間を設けて対面させる発振面から超音波振動を発振する超音波振動子と、該隙間に水を供給する水供給部と、を備え、該リングフレームを回転させ該発振面から該水に伝播させた超音波振動によって該リングフレームの一方の面全面を洗浄する。
（【００１１】以降は省略されています）

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