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公開番号2024162341
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-21
出願番号2023077742
出願日2023-05-10
発明の名称処理装置及び学習済みモデルの生成方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20241114BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】構成要素又は対象物の状態を簡易且つ高精度に判定することが可能な処理装置を提供する。
【解決手段】対象物を処理する処理装置であって、対象物を保持する保持テーブルと、保持テーブルを撮像する撮像ユニットと、撮像ユニットによって取得された保持テーブル及び対象物の画像が入力されると、保持テーブル及び対象物の状態を示す判定結果を出力するように機械学習によって構成された学習済みモデルを含むコントローラと、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を処理する処理装置であって、
該対象物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルを撮像する撮像ユニットと、
該撮像ユニットによって取得された該保持テーブルの画像又は該保持テーブル及び該対象物の画像が入力されると、該保持テーブルの状態を示す判定結果又は該保持テーブル及び該対象物の状態を示す判定結果を出力するように機械学習によって構成された学習済みモデルを含むコントローラと、を備えることを特徴とする処理装置。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
該学習済みモデルは、該画像が入力される入力層と、該判定結果を出力する出力層と、を含むニューラルネットワークであることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
該判定結果が異常であることを示す場合に該判定結果を報知する報知ユニットをさらに備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の処理装置。
【請求項４】
対象物を処理する処理装置の状態を判定する学習済みモデルの生成方法であって、
該処理装置に備えられた保持テーブルの状態ごとの画像、又は、該保持テーブル及び該保持テーブルによって保持された該対象物の状態ごとの画像を、学習用画像として収集する画像収集ステップと、
該学習用画像を用いた機械学習によって、該保持テーブルを示す画像又は該保持テーブル及び該対象物を示す画像が入力されると該保持テーブルの状態を示す判定結果又は該保持テーブル及び該対象物の状態を示す判定結果を出力する学習済みモデルを生成する学習ステップと、を含むことを特徴とする学習済みモデルの生成方法。
【請求項５】
該画像収集ステップでは、該保持テーブル、又は、該保持テーブル及び該対象物を撮像することにより、正常な状態に対応する複数の第１学習用画像と異常な状態に対応する複数の第２学習用画像とを該学習用画像として取得することを特徴とする請求項４に記載の学習済みモデルの生成方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物に加工等の処理を施す処理装置、及び、該処理装置の状態を判定する学習済みモデルの生成方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のチップ（デバイスチップ）が製造される。また、所定の基板上に複数のデバイスチップを実装し、実装されたデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することにより、パッケージ基板が形成される。パッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップをそれぞれ備える複数のチップ（パッケージデバイス）が製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【０００３】
ウェーハ、パッケージ基板等の対象物（被加工物）をチップ化する際には、対象物が各種の処理装置によって処理される。例えば、切削装置、レーザー加工装置等の加工装置によって対象物が加工され、複数のチップに分割される。また、対象物の分割前に、研削装置、研磨装置等の加工装置によって対象物を加工して薄化しておくことにより、薄型のチップが得られる。さらに、対象物の加工の前後には、洗浄装置を用いた対象物の洗浄や、検査装置を用いた対象物の検査が実施されることもある。
【０００４】
加工装置、洗浄装置、検査装置等の処理装置は、対象物を保持する保持テーブル、対象物を搬送する搬送ユニット、対象物に所定の処理を施す処理ユニット等の様々な構成要素によって構成される。そして、処理装置の各構成要素の動作をコントローラで制御することにより、対象物に対して所定の処理が施される。例えば特許文献１には、保持テーブルと対象物との位置ずれ量に応じて切削ブレードの位置を調節しつつ、切削ブレードで対象物を切削する切削装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００６－９３３３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
加工装置、洗浄装置、検査装置等の処理装置でウェーハ、パッケージ基板等の対象物を処理する際には、処理装置による対象物の一連の処理が適切に進行するように、処理装置を構成する構成要素や処理装置によって処理される対象物の状態が監視されることがある。例えば、処理装置は保持テーブルを備えており、対象物の処理（加工、洗浄等）が行われる際には対象物がテーブルによって保持される。そして、処理装置の稼働中、保持テーブルの状態（損傷の有無等）や保持テーブルによって保持された対象物の状態（位置ずれの有無等）が所定のタイミングで検査される。これにより、保持テーブルによる対象物の保持が不適切な状態で対象物に加工、洗浄等の処理が施されることを防止できる。
【０００７】
処理装置の構成要素又は対象物の状態は、例えば、構成要素又は対象物を撮像ユニット（カメラ）で撮像することによって取得された画像に基づいて判定される。しかしながら、撮像時における構成要素又は対象物の位置及び角度のばらつき、撮像ユニットの撮像特性のばらつき、構成要素又は対象物を照らす照明の光量及び色彩のばらつき等に起因して、画像に含まれる像のパターン、濃淡等にもばらつきが生じ得る。また、構成要素の経年劣化（傷、変色等）によって、構成要素の画像が変化することもある。
【０００８】
上記のように、構成要素又は対象物が様々な撮像条件下で撮像される処理装置においては、取得される構成要素又は対象物の画像も一様でないことが多く、画一的な画像処理によって構成要素又は対象物の状態を高精度で判定することは難しい。一方、撮像条件に応じて個別の画像処理を実施しようとすると、画像処理のアルゴリズムの再構成やパラメータの最適化等に費やされる手間とコストが増大する。また、実際に構成要素又は対象物の状態を判定する際、画像処理に要する時間が長期化し、処理装置による対象物の円滑な処理が阻害される。
【０００９】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、構成要素又は対象物の状態を簡易且つ高精度に判定することが可能な処理装置及び学習済みモデルの生成方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、対象物を処理する処理装置であって、該対象物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルを撮像する撮像ユニットと、該撮像ユニットによって取得された該保持テーブルの画像又は該保持テーブル及び該対象物の画像が入力されると、該保持テーブルの状態を示す判定結果又は該保持テーブル及び該対象物の状態を示す判定結果を出力するように機械学習によって構成された学習済みモデルを含むコントローラと、を備える処理装置が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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