特許ウォッチ

公開番号2024157746
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-08
出願番号2023072288
出願日2023-04-26
発明の名称拡張装置
出願人ヒューグル開発株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241031BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】簡単な構成でフィルムを安全にカットする拡張装置を提供する。
【構成】ダイシングテープを押し上げて拡張する昇降ステージ16は、周壁部41の上方を覆う上板部42を有し、上板部と周壁部の間に所定の隙間45を形成する。内蔵する内歯車部材64の対角にカッター59を備える第1カッターホルダー61と第2カッターホルダー62を取り付け、周壁部の内周面の所定位置に第1カッターホルダーを内方に付勢する第1突起物72と、第2カッターホルダーを内方に付勢する第2突起物74を設ける。各カッターホルダーはコイルスプリング70,73により外に向けて付勢され、対応する突起物が存在ない区間では周壁部の内周面に接触してカッターの刃部60が外部に突出し、円周方向に回転してダイシングテープをカットする。各カッターホルダーが対応する突起物に対向するとカッターは昇降ステージに収納され、その状態で昇降する。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
ダイシング済みのウェハが貼着されたフィルムを押し上げて拡張し、前記ウェハを複数のチップに分割させる、昇降可能な昇降ステージと、
前記昇降ステージの上端側に着脱可能に装着し得るインナーリングと、
前記昇降ステージの上昇により所定位置に到達した前記インナーリングの外周に、前記フィルムを間にして嵌合するアウターリングを備え、
前記昇降ステージは、上方が開口した円筒状の本体と、その本体の上方に所定距離を離して配置される上板部を備え、
前記本体の上端縁と前記上板部との間に形成される隙間から、カッターの少なくとも刃部を外部に突出した状態で前記カッターを水平面内で前記本体の側面に沿って円周方向に回転移動させるカッター機構を備え、
少なくとも前記フィルムをカットしない区域では前記カッターを前記本体内に収納可能に構成する拡張装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記カッターは、２個有し、
その２個の前記カッターは、前記回転移動する円の径方向反対側に配置される請求項１に記載の拡張装置。
【請求項３】
前記本体の内周面の径方向反対側に第１突起部と第２突起部を設け、
前記第１突起部と前記第２突起部は高さを異ならせて配置し、
前記第１突起部と前記第２突起部のない区間を移動する際には前記カッターの前記刃部が前記本体の外部に突出し、
一方の前記カッターを備えるカッターユニットは、前記第１突起部には接触して前記カッターが前記本体内に収納され、前記第２突起部には非接触で外部に突出するように構成し、
他方の前記カッターを備えるカッターユニットは、前記第２突起部には接触して前記カッターが前記本体内に収納され、前記第１突起部には非接触で外部に突出するように構成する請求項２に記載の拡張装置。
【請求項４】
前記本体内で自転可能に構成する内歯車部材と、
前記内歯車部材を回転させる駆動機構と、
前記内歯車部材の上面に、径方向に沿って移動可能に取り付けるカッターホルダーと、を備え、
前記内歯車部材の回転に伴い、前記カッターホルダーが回転し、前記カッターが前記回転移動して前記フィルムをカットし得るようにした請求項１に記載の拡張装置。
【請求項５】
前記カッターホルダーは、前記内歯車部材に対し、径方向に沿って前後進移動可能に取り付け、
前記内歯車部材は、前記カッターホルダーを前方に向けて付勢する弾性体を備え、
前記カッターホルダーは、前記本体の内周面に設けた突起部に接触すると前記弾性体を弾性変形させながら後退移動して前記カッターが前記本体内に収納され、前記突起部のない区間を移動する際には前記弾性体の弾性復元力により前方に付勢されて前記カッターの前記刃部が前記本体の外部に突出し得るように構成する請求項４に記載の拡張装置。
【請求項６】
下降位置にある前記昇降ステージの上方所定位置にカッター保護リングを配置し、
前記昇降ステージが上昇して前記フィルムを拡張した位置に到った際に、前記隙間の外側に前記カッター保護リングが位置し、前記カッター保護リングにより前記カッターの前記刃部を隠し得るように構成する請求項１から５のいずれか１項に記載の拡張装置。
【請求項７】
前記カッター保護リングの上側に、前記アウターリングを保持するリングホルダーを配置し、
前記インナーリングを備えた前記昇降ステージが上昇し、前記インナーリングが前記リングホルダーで保持される前記アウターリングに入り込み、前記インナーリングと前記アウターリングとで前記フィルムを挟み込むとともに、前記隙間が前記リングホルダーに対向するように構成する請求項６に記載の拡張装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシング済みのウェハが貼着されたフィルムを拡張することでウェハを複数のチップに分割させる拡張装置に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
成膜工程を経て所定の電気回路が形成された半導体ウェハは、ダイシング工程において個々のチップにカットされた後、チップ間同士の干渉による破損を防止するとともにピックアップを円滑に行うため、ウェハを載置するダイシングテープをＸ－Ｙ方向（平面方向）に均一に拡張し（エキスパンド）、所定間隔を設けて各チップに分割される。
【０００３】
このフィルム拡張は、例えば、環状枠体であるダイシングフレームにより外周部位が固定された粘着性及びエキスパンド性を有するダイシングテープ上にダイシング済みのウェハを貼り付けたものを用意し、そのダイシングフレームを昇降ステージの上に固定するとともに、昇降ステージを上昇させることで行う。ダイシングフレームを所定位置に固定した状態では、ダイシングフレームと昇降ステージの上面の高さ位置はほぼ同じにし、ダイシングテープに貼り付けられたウェハが、昇降ステージの上面に対向するように構成する。これにより、昇降ステージが上昇すると、昇降ステージの上面がダイシングテープの接触部位を持ち上げ、外周部位がダイシングフレームで固定されているダイシングテープは、引き延ばされて拡張され、それに伴い、ダイシングテープに貼り付けられている個々のチップの間隔も拡大する。
【０００４】
このフィルム拡張にともない、昇降ステージの上面に非接触のフィルム部位は、その上面の外周囲から下方のダイシングフレームに向けてスカート状に伸び、不要な部分となるため、拡張後の適宜のタイミングでカットする。この不要なダイシングテープをカットするカット機能を備えた拡張装置としは、例えば特許文献１に開示された装置がある。
【０００５】
この特許文献１に開示された装置は、昇降ステージの下方に斜め上方外側に向けて延びる１つのアームの先端にカッターを設け、そのアームを回転させることで斜め上方に延びるカッターでダイシングテープの所定位置をカットするようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
実用新案登録第３１６８３２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
カッターが昇降ステージの外に配置されているため、誤って手指等が触れると怪我をするおそれがある。特に、カッターが回転中に手指を入れると切れることがあるので危険である。また、斜め上に延びる１つのアームを回転させてダイシングテープをカットするため、カット時にダイシングテープに加わる力に偏りがあり、また、一周を綺麗にカットすることができないおそれがある。また、エアーシリンダーの駆動によりカッターの向きを変え待機位置からカット位置に変位させるため、シリンダーの動作不良等でカットできなかったり、不用意にカット位置に変位してしまったりするおそれがある。
【０００８】
上述した課題はそれぞれ独立したものとして記載しているものであり、本発明は、必ずしも記載した課題の全てを解決できる必要はなく、少なくとも一つの課題が解決できればよい。またこの課題を解決するための構成についても単独で分割出願・補正等により権利取得する意思を有する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するために、本発明の拡張装置は、（１）ダイシング済みのウェハが貼着されたフィルムを押し上げて拡張し、前記ウェハを複数のチップに分割させる、昇降可能な昇降ステージと、前記昇降ステージの上端側に着脱可能に装着し得るインナーリングと、前記昇降ステージの上昇により所定位置に到達した前記インナーリングの外周に、前記フィルムを間にして嵌合するアウターリングを備え、前記昇降ステージは、上方が開口した円筒状の本体と、その本体の上方に所定距離を離して配置される上板部を備え、前記本体の上端縁と前記上板部との間に形成される隙間から、カッターの少なくとも刃部を外部に突出した状態で前記カッターを水平面内で前記本体の側面に沿って円周方向に回転移動させるカッター機構を備え、少なくとも前記フィルムをカットしない区域では前記カッターを前記本体内に収納可能に構成する。
【００１０】
昇降ステージで拡張されたフィルムは、昇降ステージの上端側でインナーリングとアウターリングで挟み込まれて保持され、その挟み込まれた部分より外側は不要なフィルム部位となり、本体の周面に沿って下方に延びた状態となる。本発明では、上板部と本体の上端円との間に形成される隙間から突出し、水平面内で回転するカッターにより、インナーリングとアウターリングで保持された部位付近をきれいにカットすることができる。上板部の下面とアウターリングの下面の高さ位置を近づけることで不要な部分をより多くカットすることができる。さらに、少なくとも前記フィルムをカットしない区域ではカッターは本体内に収納可能であり、例えば昇降ステージの昇降移動時や、カット処理をしない下降位置では作業員が誤ってカッターに触れることが抑止される。本体は、実施形態では、周壁部４１と下板部４３の２つの部材で構成したが、１つの部材で構成したり３つ以上を組み合わせて構成したりしてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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