特許ウォッチ

公開番号2024141879
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-10
出願番号2023053740
出願日2023-03-29
発明の名称洗浄装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241003BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】次のウェーハの洗浄前にロールスポンジを所定角度だけ回転させて該ロールスポンジの洗浄部分を汚れていない部分に確実且つ自動的に短時間で切り替えることができる洗浄装置を提供すること。
【解決手段】搬送パッド50の吸引面50aで吸引保持したウェーハWの下面を洗浄する洗浄装置1は、吸引面50aに平行な回転軸2を配置し該回転軸2の回転により回転するロールスポンジ2と、回転軸3の長手方向に直交する方向で搬送パッド50の吸引面50aに平行な方向にウェーハWとロールスポンジ2とを相対的に移動させる水平移動機構30と、ロールスポンジ2に洗浄水を供給する洗浄水供給部10と、ロールスポンジ2を昇降させる昇降機構5と、該昇降機構5によるロールスポンジ2の下降動作に連動してロールスポンジ2を所定角度だけ回転させる角度回転機構(ラチェット機構)20を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
搬送パッドの吸引面で吸引保持したウェーハの下面を洗浄する洗浄装置であって、
該吸引面に平行な回転軸を配置し該回転軸の回転により回転するロールスポンジと、
該回転軸の長手方向に直交する方向で該吸引面に平行な方向に該ウェーハと該ロールスポンジとを相対的に移動させる水平移動機構と、
該ロールスポンジに洗浄水を供給する洗浄水供給部と、
該ロールスポンジを昇降させる昇降機構と、
該昇降機構による該ロールスポンジの下降動作に連動して該ロールスポンジを所定角度回転させる角度回転機構と、
を備える、洗浄装置。
続きを表示（約 490 文字）【請求項２】
該角度回転機構は、
該回転軸に取り付けられたギヤと、
該ギヤの歯に噛合して該ギヤの一方向の回転を阻止する回動可能なロック爪と、
該ギヤの歯に係合して該ギヤを他方向に所定角度回転させる回動可能な回転爪と、
該回転爪に係合して該回転爪の回動を規制するストッパと、
を備えるラチェット機構によって構成される、請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
該搬送パッドの該吸着面に平行に延在し該吸着面を洗浄する吸着面洗浄部材と、
該昇降機構によって、該ロールスポンジを該吸着面洗浄部材よりも上または下に位置づける位置づけ制御部と、
を備え、該吸着面と該吸着面に保持されたウェーハの下面とを各々洗浄可能な、請求項１記載の洗浄装置。
【請求項４】
該ロールスポンジの下部分を収容し水を溜めるバケットと、
該バケットに水を供給する水供給部と、
を備え、該バケットの該水に該ロールスポンジを着水させて該ロールスポンジの表面を洗浄する、請求項１～３の何れかに記載の洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送パッドの吸引面に吸引保持されたウェーハの下面を洗浄する洗浄装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、電子機器に用いられるＩＣやＬＳＩなどの半導体デバイスの製造工程においては、半導体デバイスの小型化と軽量化のために、ウェーハが研削されて所定の厚みまで薄化されている。ここで、ウェーハを研削する研削装置においては、チャックテーブルに保持されたウェーハの上面が研削砥石によって研削されるが、研削が終了したウェーハは、その上面が搬送パッドの吸引面に吸引保持されてチャックテーブルから離間し、この離間して搬送パッドの吸引面に吸引保持されたウェーハの下面がロールスポンジによって洗浄され、研削加工時にウェーハの下面に付着した研削屑などの汚れが除去されている。
【０００３】
また、下面が洗浄されたウェーハは、搬送パッドの吸引面に吸引保持されてチャックテーブルから搬出されるが、搬送パッドの吸引面は、次のウェーハを吸引保持する前に洗浄砥石によって洗浄される。したがって、搬送パッドの吸引面の洗浄と該吸引面に吸引保持されたウェーハの下面の洗浄は、交互に繰り返して行われている。
【０００４】
ところで、特許文献１には、搬送パッドに吸引保持されたウェーハの下面を、ロールスポンジを用いて洗浄する際には、ロールスポンジを回転させないで該ロールスポンジによってウェーハの下面に付着した研削屑などの汚れを拭い取るようにした洗浄方法が提案されている。この洗浄方法においては、ウェーハの洗浄後にロールスポンジを適宜回転させ、該ロールスポンジの汚れていない部分で次のウェーハを洗浄するようにしている。例えば、洗浄後にロールスポンジへの洗浄水の供給量を少なくして該ロールスポンジとウェーハとの接触部における摩擦力を大きくし、この摩擦力によってロールスポンジを回転させるようにしている。
【０００５】
また、特許文献２には、洗浄後にロールスポンジを手動で回転させ、該ロールスポンジの汚れていない部分で次のウェーハを洗浄する洗浄装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２０－１４５２５６号公報
特開２０２３－０１８１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１において提案されているように、洗浄後にロールスポンジへの洗浄水の供給量を制限してロールスポンジとウェーハとの接触部における摩擦力を大きくし、この摩擦力によってロールスポンジを回転させて該ロールスポンジの汚れていない部分で次のウェーハを洗浄するようにした場合、ロールスポンジの回転角度が不足するために該ロールスポンジの洗浄部分を汚れていない部分に切り替えられないという問題が発生し得る。
【０００８】
また、特許文献２において提案されているように、洗浄後にロールスポンジを手動で回転させる場合、その作業が各ウェーハの洗浄ごとに毎回必要となるために面倒で、時間的なロスが大きく、効率が悪いという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、次のウェーハの洗浄前にロールスポンジを所定角度だけ回転させて該ロールスポンジの洗浄部分を汚れていない部分に確実且つ自動的に短時間で切り替えることができる洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明は、搬送パッドの吸引面で吸引保持したウェーハの下面を洗浄する洗浄装置であって、該吸引面に平行な回転軸を配置し該回転軸の回転により回転するロールスポンジと、該回転軸の長手方向に直交する方向で該吸引面に平行な方向に該ウェーハと該ロールスポンジとを相対的に移動させる水平移動機構と、該ロールスポンジに洗浄水を供給する洗浄水供給部と、該ロールスポンジを昇降させる昇降機構と、該昇降機構による該ロールスポンジの下降動作に連動して該ロールスポンジを所定角度回転させる角度回転機構と、を備えることを特徴とする。ここで、角度回転機構は、該回転軸に取り付けられたギヤと、該ギヤの歯に噛合して該ギヤの一方向の回転を阻止する回動可能なロック爪と、該ギヤの歯に係合して該ギヤを他方向に所定角度回転させる回動可能な回転爪と、該回転爪に係合して該回転爪の回動を規制するストッパと、を備えるラチェット機構によって構成される。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許