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公開番号2024150271
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-23
出願番号2023063610
出願日2023-04-10
発明の名称被加工物の処理方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20241016BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被加工物の両面にシートを固定した場合でもシートを容易に剥離できる被加工物の処理方法を提供する事。
【解決手段】被加工物の処理方法は、第1シートを被加工物と中央の開口に被加工物を収容するフレームとの一方の面に熱圧着で固定する第1固定ステップ111と、第2シートを被加工物の他方の面に熱圧着で固定する第2固定ステップ112と、を有するシート固定ステップ101と、シート固定ステップ101の後に、被加工物を加工、検査、保管、輸送の少なくともいずれかを含む処理を実施する処理ステップ102と、処理ステップ102の後に、第1シートと第2シートとを被加工物とフレームとから剥離する剥離ステップ103と、を備え、シート固定ステップ101において、被加工物の外周とフレームの内周との間の領域において、第1シートと第2シートとを互いに隙間をあけて固定することを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物の一方の面に糊層を有さない熱可塑性樹脂からなる第１シートを固定し、かつ、該被加工物の他方の面に糊層を有さない熱可塑性樹脂からなる第２シートを固定するシート固定ステップを備える被加工物の処理方法であって、
該シート固定ステップは、
該第１シートを、該被加工物と、中央の開口に該被加工物を収容するフレームと、の一方の面に熱圧着で固定する第１固定ステップと、
該第２シートを、該被加工物の他方の面に熱圧着で固定する第２固定ステップと、
を有し、
該シート固定ステップの後に、該被加工物を加工、検査、保管、輸送の少なくともいずれかを含む処理を実施する処理ステップと、
該処理ステップの後に、該第１シートと、該第２シートと、を該被加工物と該フレームとから剥離する剥離ステップと、
を備え、
該シート固定ステップにおいて、該被加工物の外周と該フレームの内周との間の領域において、該第１シートと該第２シートとを互いに隙間をあけて固定することを特徴とする被加工物の処理方法。
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
該シート固定ステップにおいて、該第１シートの外縁と、該第２シートの外縁と、を該フレームに固定することで、該被加工物の外周と該フレームの内周との間の領域において、該第１シートと該第２シートとを互いに隙間をあけて固定する事を特徴とする請求項１に記載の被加工物の処理方法。
【請求項３】
該シート固定ステップにおいて、該被加工物の外周と該フレームの内周との間の領域において、該第１シートと該第２シートとの間に剥離部材を配置することを特徴とする請求項１に記載の被加工物の処理方法。
【請求項４】
該シート固定ステップにおいて、該第２シートは該被加工物の外縁と同形であることを特徴とする請求項１に記載の被加工物の処理方法。
【請求項５】
被加工物の一方の面に糊層を有さない熱可塑性樹脂からなる第１シートを固定し、かつ、該被加工物の他方の面に糊層を有さない熱可塑性樹脂からなる第２シートを固定するシート固定ステップを備える被加工物の処理方法であって、
該シート固定ステップは、
該第１シートを、該被加工物と、中央の開口に該被加工物を収容するフレームと、の一方の面に熱圧着で固定する第１固定ステップと、
該第２シートを、該被加工物の他方の面に熱圧着で固定する第２固定ステップと、
を有し、
該シート固定ステップの後に、該被加工物を加工、検査、保管、輸送の少なくともいずれかを含む処理を実施する処理ステップと、
該処理ステップの後に、該第１シートと、該第２シートと、を該被加工物と該フレームとから剥離する剥離ステップと、
を備え、
該剥離ステップは、該被加工物の外周に沿って該第１シートまたは該第２シートの少なくともいずれかを切断した後、被加工物と該フレームとから該第１シートと該第２シートとを除去する事を特徴とする被加工物の処理方法。
【請求項６】
該第１シートと該第２シートとは、ポリオレフィン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンのいずれかで構成される請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の被加工物の処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の処理する被加工物の処理方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
異物の付着を防止するため、被加工物の両面に糊層を有さない熱可塑性樹脂からなるシートで一方の面を保護した状態で、切削加工やレーザ光線の照射、ブレーキング加工やシートの拡張などの加工や、被加工物の検査、被加工物の保管、被加工物の搬送を含む輸送等を実施する技術が知られている（例えば、特許文献１、２及び３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０７７６８４号公報
特開２０２０－０７７８１２号公報
特開２０１３－０５８６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、両方の面に熱可塑性樹脂からなるシートを固定して処理を行うと、シート同士が熱圧着により一体化してしまい、被加工物からの剥離が困難になるという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被加工物の両面にシートを固定した場合でもシートを容易に剥離できる被加工物の処理方法を提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の処理方法は、被加工物の一方の面に糊層を有さない熱可塑性樹脂からなる第１シートを固定し、かつ、該被加工物の他方の面に糊層を有さない熱可塑性樹脂からなる第２シートを固定するシート固定ステップを備える被加工物の処理方法であって、該シート固定ステップは、該第１シートを、該被加工物と、中央の開口に該被加工物を収容するフレームと、の一方の面に熱圧着で固定する第１固定ステップと、該第２シートを、該被加工物の他方の面に熱圧着で固定する第２固定ステップと、を有し、該シート固定ステップの後に、該被加工物を加工、検査、保管、輸送の少なくともいずれかを含む処理を実施する処理ステップと、該処理ステップの後に、該第１シートと、該第２シートと、を該被加工物と該フレームとから剥離する剥離ステップと、を備え、該シート固定ステップにおいて、該被加工物の外周と該フレームの内周との間の領域において、該第１シートと該第２シートとを互いに隙間をあけて固定することを特徴とする。
【０００７】
該シート固定ステップにおいて、該第１シートの外縁と、該第２シートの外縁と、を該フレームに固定することで、該被加工物の外周と該フレームの内周との間の領域において、該第１シートと該第２シートとを互いに隙間をあけて固定してもよい。
【０００８】
該シート固定ステップにおいて、該被加工物の外周と該フレームの内周との間の領域において、該第１シートと該第２シートとの間に剥離部材を配置してもよい。
【０００９】
該シート固定ステップにおいて、該第２シートは該被加工物の外縁と同形であってもよい。
【００１０】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の処理方法は、被加工物の一方の面に糊層を有さない熱可塑性樹脂からなる第１シートを固定し、かつ、該被加工物の他方の面に糊層を有さない熱可塑性樹脂からなる第２シートを固定するシート固定ステップを備える被加工物の処理方法であって、該シート固定ステップは、該第１シートを、該被加工物と、中央の開口に該被加工物を収容するフレームと、の一方の面に熱圧着で固定する第１固定ステップと、該第２シートを、該被加工物の他方の面に熱圧着で固定する第２固定ステップと、を有し、該シート固定ステップの後に、該被加工物を加工、検査、保管、輸送の少なくともいずれかを含む処理を実施する処理ステップと、該処理ステップの後に、該第１シートと、該第２シートと、を該被加工物と該フレームとから剥離する剥離ステップと、を備え、該剥離ステップは、該被加工物の外周に沿って該第１シートまたは該第２シートの少なくともいずれかを切断した後、被加工物と該フレームとから該第１シートと該第２シートとを除去する事を特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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