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公開番号2025002265
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-09
出願番号2023102323
出願日2023-06-22
発明の名称基板カセット移載装置
出願人オムロン株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類B25J 13/08 20060101AFI20241226BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】基板カセットの載置面の高さ位置を測定することができる機能を備える基板カセット移載装置を提供する。
【解決手段】基板カセット100を、外部に設けられたワーク載置台200aに移載する基板カセット移載装置1であって、基板カセット100を把持可能なエンドエフェクタ10と、エンドエフェクタ10が取付けられたロボットアーム20と、ロボットアーム20が取付けられた無人走行部30と、エンドエフェクタ10によって把持された基板カセット100のワーク載置台200aまでの距離を測定する距離計測装置300と、を備える。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
基板カセットを、外部に設けられたワーク載置台に移載する基板カセット移載装置であって、
前記基板カセットを把持可能なエンドエフェクタと、
前記エンドエフェクタが取付けられたロボットアームと、
前記ロボットアームが取付けられた無人走行部と、
前記エンドエフェクタによって把持された前記基板カセットの前記ワーク載置台までの距離を測定する距離計測装置と、
を備える、基板カセット移載装置。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
前記距離計測装置は、前記エンドエフェクタに取り付けられている、
請求項１に記載の基板カセット移載装置。
【請求項３】
前記ロボットアームは、前記エンドエフェクタが取付けられた部分に第１方向に沿って延在する主軸を有し、
前記エンドエフェクタは、前記第１方向と交差する第２方向において対向配置されるとともに、当該第２方向に沿って相対的に移動可能に構成された第１アーム部および第２アーム部を有し、
前記距離計測装置は、前記第２アーム部の前記第１アーム部が対向する領域に設けられている、
請求項２に記載の基板カセット移載装置。
【請求項４】
前記距離計測装置は、レーザ光を用いた装置である、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板カセット移載装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板カセット移載装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
工場等の製造ラインにおける無人化を実現すべく、基板カセットの移載等を自動で行なう基板カセット移載装置が普及しつつある。このような基板カセット移載装置としては、無人走行部と、これに積載されたロボットアームと、ロボットアームの先端に取り付けられたエンドエフェクタとを備えたものが知られている。
【０００３】
半導体の製造ラインにおいて半導体ウエハを移載する際には、これを複数収納可能に構成された基板カセットが用いられる。このような基板カセットを把持することが可能に構成されたエンドエフェクタとして、たとえば意匠登録第１６９４２９９号公報（特許文献１）および意匠登録第１６９４３６５号公報（特許文献２）には、対向配置された一対のアーム部の各々の内側に１つずつ設けられた保持部に保持溝が形成されることにより、基板カセットの周縁に設けられた突条部を把持することが可能に構成されたものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
意匠登録第１６９４２９９号公報
意匠登録第１６９４３６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、半導体の製造は、様々な半導体製造工程に分類され、個々の製造工程に対応したワーク加工装置、ワーク検査装置、その他のワーク載置装置が複数台設置され、これらのワーク載置装置に対して、順次、基板カセット移載装置によって基板カセットが搬送および載置される。
【０００６】
複数のワーク載置装置は、所定の水平基準を有する工場内の床面等に載置されるものの、ワーク載置装置の個体差により、基板カセットを載置する高さ位置は、微少に異なる。たとえば、基準面より１ｍｍ低い場合には、基板カセットは、載置面から１ｍｍ高い位置で、基板カセット移載装置から離されるため、落下することとなる。基準面より１ｍｍ高いには、基板カセットは、載置面に衝突することとなる。
【０００７】
その結果、基板カセットに収納された半導体ウエハに衝撃を与え、半導体ウエハが損傷するおそれがある。
【０００８】
したがって、本開示の目的とするところは、基板カセットの載置面の高さ位置を測定することができる機能を備える基板カセット移載装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示に従ったある態様に係る基板カセット移載装置は、基板カセットを、外部に設けられたワーク載置台に移載する基板カセット移載装置であって、上記基板カセットを把持可能なエンドエフェクタと、上記エンドエフェクタが取付けられたロボットアームと、上記ロボットアームが取付けられた無人走行部と、上記エンドエフェクタによって把持された上記基板カセットの上記ワーク載置台までの距離を測定する距離計測装置と、を備える。
【００１０】
このように、距離計測装置を備えることで、基板カセットをワーク載置台に載置する場合の、個々のワーク載置台の高さ位置を把握した状態で基板カセットをワーク載置台に載置することができる。その結果、基板カセットに衝撃を与えること無く、基板カセットをワーク載置台に載置することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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