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公開番号2025010953
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2023113275
出願日2023-07-10
発明の名称吸着型搬送装置
出願人CKD株式会社
代理人個人,個人
主分類B25J 15/06 20060101AFI20250116BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】ロック機構を小型化しつつ、吸着の際の摺動抵抗を低減できるとともにパーティクルの発生を抑制できる吸着型搬送装置を提供する。
【解決手段】吸着型搬送装置100は、隔壁部材15と、隔壁部材15の外面に沿って吸着部90の軸方向へ往復動可能な第1ピストン23と、第2内周面24bを有するロック部材24と、第2内周面24bと吸着部90の外面との間に挟持されることで、吸着部90の移動を制限するロック用鋼球28と、ロック用鋼球28を付勢する付勢部材29と、第1ピストン23の軸方向の他方側への移動に連動してロック用鋼球28を付勢部材29の付勢力に抗して軸方向の他方側に押圧する第2ピストン26と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項1】
軸方向の端部に物品を吸着可能なロッド状の吸着部と、
前記吸着部を往復動可能に支持するとともに、軸方向の一方側から前記吸着部の端部が突出するハウジングと、
前記吸着部の往復動の制限及び制限解除を可能とするロック機構と、を備え、
前記ロック機構は、
前記吸着部の外面から離間して当該吸着部を囲むとともに、前記ハウジングに保持された隔壁部材と、
前記ハウジングの内面と前記吸着部の外面との間に配置されるとともに、前記隔壁部材の外面に沿って前記ハウジングの軸方向へ往復動可能なピストンと、
前記ピストンの外面と前記ハウジングの内面との間をシールするとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かうエアの流れを許容する第1シールと、
前記ピストンの内面と前記隔壁部材の外面との間をシールするとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かうエアの流れを許容する第2シールと、
前記隔壁部材と前記ハウジングと前記ピストンとによって形成されるピストン室と、
前記ピストン室に連通する給排ポートと、
前記ピストンよりも前記ハウジングの軸方向における他方側に設けられ、前記吸着部の外面から離間して当該吸着部を囲むとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かって内径が小さくなる傾斜面を有するロック部材と、
前記傾斜面と前記吸着部の外面との間で往復動可能であり、前記傾斜面の内径が小さくなる方向に移動して前記傾斜面と前記吸着部の外面との間に挟持されることで、前記吸着部の往復動を制限する保持部材と、
前記保持部材を前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に付勢する付勢部材と、
前記ピストンよりも前記ハウジングの軸方向の他方側において、前記ロック部材と前記吸着部の外面との間に設けられるとともに、前記ハウジングの軸方向において前記ピストンと前記保持部材との間に設けられ、前記給排ポートを介した前記ピストン室へのエアの供給による、前記ハウジングの軸方向の他方側への前記ピストンの移動に連動して前記保持部材を前記付勢部材の付勢力に抗して前記ハウジングの軸方向の他方側に移動させる連動部材と、
を有することを特徴とする吸着型搬送装置。
続きを表示(約 540 文字)【請求項2】
前記ピストンを第1ピストンとし、前記ロック部材と前記吸着部の外面との間には、前記ハウジングの軸方向における前記第1ピストンと前記保持部材との間に位置する第2ピストンを備え、前記連動部材は前記第2ピストンである請求項1に記載の吸着型搬送装置。
【請求項3】
前記隔壁部材の内面と前記吸着部の外面との間に形成される間隙と連通する通路と、前記通路と連通するパーティクル排出ポートを有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の吸着型搬送装置。
【請求項4】
前記連動部材は、前記連動部材の内面及び外面で開口する連動部材孔を有し、前記連動部材孔には、前記連動部材の径方向に往復動可能に前記保持部材が収容され、前記パーティクル排出ポートは、前記連動部材の内面と前記吸着部の外面との間と、前記ピストンの内面と前記吸着部の外面との間と、前記間隙と、前記通路とを介して前記連動部材孔と連通することを特徴とする請求項3に記載の吸着型搬送装置。
【請求項5】
前記ハウジングは、複数のハウジング形成材を一体化して形成されており、前記隔壁部材は、2つのハウジング形成材に挿通されている請求項1又は請求項2に記載の吸着型搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、吸着型搬送装置に関する。
続きを表示(約 2,200 文字)【背景技術】
【0002】
特許文献1には、多種多様な表面形状の物品を保持できる保持装置が記載されている。保持装置は、対象物を吸着する複数の吸着部と、複数の吸着部を、それぞれ、吸着部が延びる方向に往復動可能に支持する支持部を有するシリンダと、支持部に対する吸着部の移動を制限することにより複数の吸着部を保持できるロック機構としての保持部と、を有する。
【0003】
支持部は、吸着部が挿通する挿通孔を有する。支持部は、パッキンを有する。パッキンは、吸着部と、挿通孔との間の間隙を閉塞する。保持部は、吸着部を側方から押圧して吸着部を支持部とともに挟持することで、支持部に対する吸着部の移動を制限する。保持装置は、複数の吸着部を対象物に倣わせた後、当該吸着部によって対象物を吸着するとともに、保持部で吸着部の移動を制限することで、対象物を保持することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2016-107351号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
保持装置は、吸着した対象物を搬送する際に、吸着部の移動を制限する必要があるが、その吸着部の移動を制限するための保持部においては小型化が望まれる。
また、保持装置において、吸着部が支持部に対して往復動する際、吸着部とパッキンとの摺接によって摺動抵抗が発生するとともに、パーティクルが発生する虞がある。例えば、当該保持装置を電子基板の搬送に適用するにあたり、パーティクルの発生を抑制することが望まれるとともに、電子基板の変形抑制のために摺動抵抗の低減が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記問題点を解決するための吸着型搬送装置は、軸方向の端部に物品を吸着可能なロッド状の吸着部と、前記吸着部を往復動可能に支持するとともに、軸方向の一方側から前記吸着部の端部が突出するハウジングと、前記吸着部の往復動の制限及び制限解除を可能とするロック機構と、を備え、前記ロック機構は、前記吸着部の外面から離間して当該吸着部を囲むとともに、前記ハウジングに保持された隔壁部材と、前記ハウジングの内面と前記吸着部の外面との間に配置されるとともに、前記隔壁部材の外面に沿って前記ハウジングの軸方向へ往復動可能なピストンと、前記ピストンの外面と前記ハウジングの内面との間をシールするとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かうエアの流れを許容する第1シールと、前記ピストンの内面と前記隔壁部材の外面との間をシールするとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かうエアの流れを許容する第2シールと、前記隔壁部材と前記ハウジングと前記ピストンとによって形成されるピストン室と、前記ピストン室に連通する給排ポートと、前記ピストンよりも前記ハウジングの軸方向における他方側に設けられ、前記吸着部の外面から離間して当該吸着部を囲むとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かって内径が小さくなる傾斜面を有するロック部材と、前記傾斜面と前記吸着部の外面との間で往復動可能であり、前記傾斜面の内径が小さくなる方向に移動して前記傾斜面と前記吸着部の外面との間に挟持されることで、前記吸着部の往復動を制限する保持部材と、前記保持部材を前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に付勢する付勢部材と、前記ピストンよりも前記ハウジングの軸方向の他方側において、前記ロック部材と前記吸着部の外面との間に設けられるとともに、前記ハウジングの軸方向において前記ピストンと前記保持部材との間に設けられ、前記給排ポートを介した前記ピストン室へのエアの供給による、前記ハウジングの軸方向の他方側への前記ピストンの移動に連動して前記保持部材を前記付勢部材の付勢力に抗して前記ハウジングの軸方向の他方側に移動させる連動部材と、を有することを要旨とする。
【0007】
上記吸着型搬送装置において、前記ピストンを第1ピストンとし、前記ロック部材と前記吸着部の外面との間には、前記ハウジングの軸方向における前記第1ピストンと前記保持部材との間に位置する第2ピストンを備え、前記連動部材は前記第2ピストンであってもよい。
【0008】
上記吸着型搬送装置において、前記隔壁部材の内面と前記吸着部の外面との間に形成される間隙と連通する通路と、前記通路と連通するパーティクル排出ポートを有してもよい。
【0009】
上記吸着型搬送装置において、前記連動部材は、前記連動部材の内面及び外面で開口する連動部材孔を有し、前記連動部材孔には、前記連動部材の径方向に往復動可能に前記保持部材が収容され、前記パーティクル排出ポートは、前記連動部材の内面と前記吸着部の外面との間と、前記ピストンの内面と前記吸着部の外面との間と、前記間隙と、前記通路とを介して前記連動部材孔と連通していてもよい。
【0010】
上記吸着型搬送装置において、前記ハウジングは、複数のハウジング形成材を一体化して形成されており、前記隔壁部材は、2つのハウジング形成材に挿通されていてもよい。
【発明の効果】
(【0011】以降は省略されています)

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