特許ウォッチ

公開番号2025008996
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023111678
出願日2023-07-06
発明の名称ロボット
出願人株式会社安川電機
代理人個人,個人,個人
主分類B25J 9/06 20060101AFI20250109BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】チャンバ内における発ガス抑制と、メンテナンス性との両立に有効なロボットを提供する。
【解決手段】ロボット2は、ハンド20と、複数の関節J10をそれぞれ駆動する複数のアクチュエータ40と、を備え、複数のアクチュエータ40のそれぞれは、駆動する関節J10において、多関節アーム3の1のリンクに固定される本体110,210,340と、軸線に沿って本体110,210,340から突出して多関節アーム3の他のリンクに固定され、軸線まわりに回転する出力軸120,220,350と、を有し、多関節アーム3は、複数のアクチュエータ40のそれぞれに対応して、本体110,210,340とは別に取外し可能な状態で1のリンクに取り付けられ、1のリンクと出力軸120,220,350との間を密封するシール部材140,240,370を更に有する。
【選択図】図6

特許請求の範囲【請求項１】
基板を支持するハンドと、
ベースと、
前記ハンドを前記ベースに連結するアームと、
前記アームに沿って並び、それぞれが鉛直な軸線まわりに動作して、前記ベースに対する前記ハンドの位置・姿勢を変更する複数の関節と、
を有する多関節アームと、
前記複数の関節をそれぞれ駆動する複数のアクチュエータと、
を備え、
前記複数のアクチュエータのそれぞれは、
駆動する関節において、前記多関節アームの１のリンクに固定される本体と、
前記軸線に沿って前記本体から突出して前記多関節アームの他のリンクに固定され、前記軸線まわりに回転する出力軸と、
を有し、
前記多関節アームは、前記複数のアクチュエータのそれぞれに対応して、前記本体とは別に取外し可能な状態で前記１のリンクに取り付けられ、前記１のリンクと前記出力軸との間を密封するシール部材を更に有する、
ロボット。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記シール部材は、
外方から前記１のリンクに取り付けられるカバーと、
前記カバーと前記１のリンクとの間を密封するアウターシールと、
前記カバーに対する前記出力軸の回転を許容しつつ、前記カバーと前記出力軸との間を密封するインナーシールと、
を含む、
請求項１記載のロボット。
【請求項３】
前記多関節アームは、前記ベースと前記ハンドとの間において互いに連結する第１リンクと第２リンクとを有し、
前記複数のアクチュエータは、前記第１リンクと前記第２リンクとを連結する関節を駆動するアームアクチュエータを含み、
前記アームアクチュエータにおいて、
前記本体は前記第１リンクに固定され、前記出力軸は前記第２リンクに固定され、
前記カバーは前記第１リンクから前記第２リンクに向かって膨出し、
前記軸線に沿った方向にて、前記インナーシールの位置が、前記アウターシールの位置に比較して前記第１リンクから離れている、
請求項２記載のロボット。
【請求項４】
前記第２リンクは、前記第１リンクに向かって開口し、前記第１リンクから膨出した前記アームアクチュエータの前記カバーを受け入れる凹部を有する、
請求項３記載のロボット。
【請求項５】
前記アームアクチュエータは、前記軸線に沿って前記出力軸を貫通し、前記第１リンクの内部空間と前記第２リンクの内部空間とを連通させる貫通孔を有する、
請求項３又は４記載のロボット。
【請求項６】
前記第１リンクは、前記第２リンクが位置する方とは反対に向かって前記貫通孔を外部に露出させる開口を有し、
前記多関節アームは、前記開口を塞ぐバックカバーを更に有する、
請求項５記載のロボット。
【請求項７】
前記バックカバーは、前記貫通孔と前記第１リンクの内部空間とを連通させるように、前記第１リンクに向かって開口した凹部を有する、
請求項６記載のロボット。
【請求項８】
前記多関節アームは、前記ベースに連結される前記リンクを含み、
前記複数のアクチュエータは、
前記ベースと前記リンクとを連結する関節を駆動するベースアクチュエータを含み、
前記ベースは、前記多関節アームの少なくとも一部が収容されるチャンバの内外を仕切るフランジを含み、
前記ベースアクチュエータにおいて、
前記本体はチャンバの外部に位置し、
前記出力軸は、前記フランジを貫通して前記リンクに固定され、
前記カバーは前記フランジに取り付けられる、
請求項２記載のロボット。
【請求項９】
前記フランジに固定され、前記ベースアクチュエータの前記本体を昇降させる昇降アクチュエータを更に備え、
前記ベースアクチュエータの前記カバーは、前記昇降アクチュエータによる前記本体の昇降に応じて伸縮する伸縮部を有する、
請求項８記載のロボット。
【請求項１０】
前記複数のアクチュエータは、前記ベースを基準にして最も遠位にある関節において、鉛直なハンド軸線まわりに前記ハンドを回転させるハンドアクチュエータを含み、
前記多関節アームは、前記ハンドと共通の前記ハンド軸線まわりに回転する第２ハンドを更に有し、
前記ハンドアクチュエータの前記出力軸は前記他のリンクとしての前記ハンドに固定され、
前記ハンドアクチュエータは、前記出力軸を貫通して前記第２ハンドに固定され、前記出力軸とは独立して回転する第２出力軸を更に有し、
前記ロボットは、取外し可能な状態で前記出力軸に取り付けられ、前記出力軸と前記第２出力軸との間を密封する第２シール部材を更に備える、
請求項１又は２記載のロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ロボットに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基台と、第１アームと、第２アームと、第３アームとを備える基板搬送ロボットが開示されている。第１アームは、基台に設けられた第１サーボモータから、第１動力伝達手段により伝達された動力によって駆動される。第２アームは、基台に設けられた第２サーボモータから、第２動力伝達手段により伝達された動力によって駆動される。第３アームは、連動手段により伝達された動力によって第２アームと連動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００５－０３９０４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、チャンバ内における発ガス抑制と、メンテナンス性との両立に有効なロボットを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一側面に係るロボットは、基板を支持するハンドと、ベースと、ハンドをベースに連結するアームと、アームに沿って並び、それぞれが鉛直な軸線まわりに動作して、ベースに対するハンドの位置・姿勢を変更する複数の関節と、を有する多関節アームと、複数の関節をそれぞれ駆動する複数のアクチュエータと、を備え、複数のアクチュエータのそれぞれは、駆動する関節において、多関節アームの１のリンクに固定される本体と、軸線に沿って本体から突出して多関節アームの他のリンクに固定され、軸線まわりに回転する出力軸と、を有し、多関節アームは、複数のアクチュエータのそれぞれに対応して、本体とは別に取外し可能な状態で１のリンクに取り付けられ、１のリンクと出力軸との間を密封するシール部材を更に有する。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、チャンバ内における発ガス抑制と、メンテナンス性との両立に有効なロボットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
基板搬送装置の内部を例示する平面図である。
図１中のＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。
図２中のロボットの底面図である。
図１中のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。
図４中の第１アームモータの拡大図である。
図４中の第２アームモータの拡大図である。
図４中のハンドモータの拡大図である。
ハンドモータの変形例を示す図である。
第２アームモータの変形例を示す図である。
ハンドモータの他の変形例を示す図である。
ハンドモータの更に他の変形例を示す図である。
チューブ及び空冷流路を例示する図である。
ケーブルの配線を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
〔基板搬送装置〕
図１及び図２に示す基板搬送装置１は、基板Ｗが保管される１以上のステーションＳＴ１０と、複数の処理モジュールＰＵ１０との間で基板Ｗを搬送する装置である。基板Ｗの例としては、半導体基板、ガラス基板、マスク基板、又はＦＰＤ（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）基板等が挙げられる。基板搬送装置１は、チャンバ９０と、ロボット２とを備える。チャンバ９０は、長手方向Ｄ１１と、長手方向Ｄ１１に垂直な短手方向Ｄ１２とを有する。長手方向Ｄ１１と短手方向Ｄ１２とが水平面に沿うように配置される。
【００１０】
チャンバ９０は、上下に並ぶ天板９１と底板９２とを有し、底板９２と底板９２との間の空間を包囲する周壁９３を更に有する。以下、周壁９３に包囲される空間を搬送空間Ｓ０１という。
（【００１１】以降は省略されています）

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