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公開番号2025008994
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023111675
出願日2023-07-06
発明の名称ロボット
出願人株式会社安川電機
代理人個人,個人,個人
主分類B25J 17/00 20060101AFI20250109BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】基板の位置決め精度向上に有効なロボットを提供する。
【解決手段】ロボット2は、基板Wを支持するハンド20と、ベース10と、ハンド20をベース10に連結するアーム4と、アーム4に沿って並び、それぞれが鉛直な軸線まわりに動作して、ベース10に対するハンド20の位置・姿勢を変更する複数の関節J10と、を有する多関節アーム3と、複数の関節J10をそれぞれ駆動する複数のモータと、を備え、複数のモータのそれぞれがダイレクトドライブモータであり、駆動する関節J10に配置されている。
【選択図】図4

特許請求の範囲【請求項１】
基板を支持するハンドと、
ベースと、
前記ハンドを前記ベースに連結するアームと、
前記アームに沿って並び、それぞれが鉛直な軸線まわりに動作して、前記ベースに対する前記ハンドの位置・姿勢を変更する複数の関節と、
を有する多関節アームと、
前記複数の関節をそれぞれ駆動する複数のモータと、
を備え、
前記複数のモータのそれぞれがダイレクトドライブモータであり、駆動する関節に配置されている、ロボット。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記多関節アームの少なくとも一部が収容されるチャンバの内部において密封され、前記チャンバの外部に連通するように前記多関節アームの内部に形成された配線空間と、
前記配線空間を経て、前記複数のモータのうち前記チャンバの内部に位置する前記モータに配線されるケーブルと、
を更に備える、
請求項１記載のロボット。
【請求項３】
前記複数の関節のそれぞれは、前記多関節アームにおいて、前記ベースに連なるベース側リンクと、前記ハンドに連なるハンド側リンクとを連結し、
前記複数のモータのそれぞれは、
前記ベース側リンクに固定されるステータと、
前記ハンド側リンクに固定され、前記ステータが発生する回転磁界により前記軸線まわりに回転する出力軸と、
を有する、
請求項２記載のロボット。
【請求項４】
前記複数のモータは、
前記ベースから最も遠位にある関節において鉛直なハンド軸線まわりに前記ハンドを回転させるハンドモータと、
前記ハンドモータの位置を変更するように２以上の関節をそれぞれ駆動する２以上のアームモータと、
を含み、
前記２以上のアームモータのそれぞれは、
出力軸と、
前記出力軸に回転磁界を作用させることで関節を駆動するステータと、
前記出力軸を貫通して前記配線空間の一部となる貫通孔と、
を有する、
請求項２記載のロボット。
【請求項５】
前記複数の関節のそれぞれは、前記多関節アームにおいて、前記ベースに連なるベース側リンクと、前記ハンドに連なるハンド側リンクとを連結し、
前記ロボットは、前記２以上のアームモータのそれぞれに対応して、
前記出力軸と前記ベース側リンクとの間を密封するベース側シール部材と、
前記出力軸と前記ハンド側リンクとの間を密封するハンド側シール部材と、
を更に備える、
請求項４記載のロボット。
【請求項６】
前記２以上のアームモータのそれぞれにおいて、
前記ステータは前記ベース側リンクに固定され、
前記出力軸は前記ハンド側リンクに固定され、
前記ベース側シール部材は、前記ベース側リンクに対する前記出力軸の回転を許容しながら、前記出力軸に密着するメカニカルシールを含む、
請求項５記載のロボット。
【請求項７】
前記ベースと、前記アーム及びハンドとの間を仕切るように広がって、前記チャンバの内外を仕切るフランジを更に備え、
前記２以上のアームモータは、前記ベースから最も近位にあるベースモータを含み、
前記ベースモータの前記ステータは前記チャンバの外部に位置し、
前記ベースモータの前記出力軸は前記フランジを貫通して前記チャンバの内部の前記ハンド側リンクに固定され、
前記ベースモータに対する前記ベース側シール部材は、前記出力軸と前記フランジとの間を密封する、
請求項６記載のロボット。
【請求項８】
前記ベースは、前記フランジに固定され、前記ベースモータの前記ステータを昇降させる昇降アクチュエータを有し、
前記ベースモータに対する前記ベース側シール部材は、
前記フランジに対する前記出力軸の回転を許容しつつ、前記出力軸に密着するメカニカルシールと、
前記メカニカルシールと前記フランジとの間を密封し、前記ベースモータの前記ステータの昇降に応じて伸縮する伸縮シールと、
を含む、
請求項７記載のロボット。
【請求項９】
前記２以上のアームモータはラジアルギャップモータであり、
前記ハンドモータはアキシアルギャップモータである、
請求項４～８のいずれか一項記載のロボット。
【請求項１０】
前記多関節アームは、前記ハンドと共通の前記ハンド軸線まわりに回転する第２ハンドを更に有し、
前記ハンドモータは、前記ハンドと、前記第２ハンドとを独立して回転させる２軸のダイレクトドライブモータである、
請求項４～８のいずれか一項記載のロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ロボットに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基台と、第１アームと、第２アームと、第３アームとを備える基板搬送ロボットが開示されている。第１アームは、基台に設けられた第１サーボモータから、第１動力伝達手段により伝達された動力によって駆動される。第２アームは、基台に設けられた第２サーボモータから、第２動力伝達手段により伝達された動力によって駆動される。第３アームは、連動手段により伝達された動力によって第２アームと連動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００５－０３９０４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、基板の位置決め精度向上に有効なロボットを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一側面に係るロボットは、基板を支持するハンドと、ベースと、ハンドをベースに連結するアームと、アームに沿って並び、それぞれが鉛直な軸線まわりに動作して、ベースに対するハンドの位置・姿勢を変更する複数の関節と、を有する多関節アームと、複数の関節をそれぞれ駆動する複数のモータと、を備え、複数のモータのそれぞれがダイレクトドライブモータであり、駆動する関節に配置されている。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、基板の位置決め精度向上に有効なロボットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
基板搬送装置の内部を例示する平面図である。
図１中のＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。
図２中のロボットの底面図である。
図１中のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。
図４中の第１アームモータの拡大図である。
図４中の第２アームモータの拡大図である。
図４中のハンドモータの拡大図である。
ハンドモータの変形例を示す図である。
第２アームモータの変形例を示す図である。
ハンドモータの他の変形例を示す図である。
ハンドモータの更に他の変形例を示す図である。
チューブ及び空冷流路を例示する図である。
ケーブルの配線を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
〔基板搬送装置〕
図１及び図２に示す基板搬送装置１は、基板Ｗが保管される１以上のステーションＳＴ１０と、複数の処理モジュールＰＵ１０との間で基板Ｗを搬送する装置である。基板Ｗの例としては、半導体基板、ガラス基板、マスク基板、又はＦＰＤ（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）基板等が挙げられる。基板搬送装置１は、チャンバ９０と、ロボット２とを備える。チャンバ９０は、長手方向Ｄ１１と、長手方向Ｄ１１に垂直な短手方向Ｄ１２とを有する。長手方向Ｄ１１と短手方向Ｄ１２とが水平面に沿うように配置される。
【００１０】
チャンバ９０は、上下に並ぶ天板９１と底板９２とを有し、底板９２と底板９２との間の空間を包囲する周壁９３を更に有する。以下、周壁９３に包囲される空間を搬送空間Ｓ０１という。
（【００１１】以降は省略されています）

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