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公開番号2025008999
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023111681
出願日2023-07-06
発明の名称ロボット及び基板搬送装置
出願人株式会社安川電機
代理人個人,個人,個人
主分類B25J 9/06 20060101AFI20250109BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】チャンバ内へのロボット組み込み用の開口の縮小と、チャンバ内へのロボットの組み込み作業性との両立に有効なロボット及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ロボットは、基板を支持するハンド20と、ベース10と、ハンド20をベース10に連結するアーム4と、アーム4に沿って並び、それぞれが鉛直な軸線まわりに動作して、ベース10に対するハンド20の位置・姿勢を変更する複数の関節J10と、を有する多関節アーム3と、ベース10とアーム4及びハンド20との間を仕切るように広がって、多関節アーム3の少なくとも一部が収容されるチャンバ90の開口OP1を塞ぐフランジ30と、を備え、フランジ30は長手方向を有し、複数の関節J10のうち、ベース10から最も近位にある関節J10の軸線は、フランジ30の長手方向において、フランジ30の一端とフランジ30の中心との間において一端寄りに位置している。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板を支持するハンドと、
ベースと、
前記ハンドを前記ベースに連結するアームと、
前記アームに沿って並び、それぞれが鉛直な軸線まわりに動作して、前記ベースに対する前記ハンドの位置・姿勢を変更する複数の関節と、
を有する多関節アームと、
前記ベースと前記アーム及び前記ハンドとの間を仕切るように広がって、前記多関節アームの少なくとも一部が収容されるチャンバの開口を塞ぐフランジと、
を備え、
前記フランジは長手方向を有し、
前記複数の関節のうち、前記ベースから最も近位にある関節の前記軸線は、前記フランジの長手方向において、前記フランジの一端と前記フランジの中心との間において一端寄りに位置している、
ロボット。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記複数の関節は、
鉛直な第１軸線まわりに回転するように前記ベースに第１リンクを接続する第１関節と、
鉛直な第２軸線まわりに回転するように前記第１リンクの端部に第２リンクを接続する第２関節と、
鉛直な第３軸線まわりに回転するように前記第２リンクの端部に前記ハンドを接続する第３関節と、
を含み、
前記第１軸線は、前記フランジの長手方向において、前記フランジの一端と前記フランジの中心との間において一端寄りに位置している、
請求項１記載のロボット。
【請求項３】
前記フランジの前記長手方向における長さは、前記第１リンクの長さよりも大きい、
請求項２記載のロボット。
【請求項４】
前記フランジの前記長手方向に垂直な方向における幅は、前記第１リンクの長さよりも小さい、
請求項３記載のロボット。
【請求項５】
前記ベースに固定される本体と、
前記本体から突出し、前記フランジを貫通して前記第１リンクに固定され、前記軸線まわりに回転する出力軸と、
を有するベースアクチュエータと、
前記フランジと前記出力軸との間を密封するシール部材と、
を更に備える、
請求項２～４のいずれか一項記載のロボット。
【請求項６】
前記ベースは、
前記本体が固定されるモータホルダと、
前記モータホルダを昇降させる昇降アクチュエータと、
を有し、
前記シール部材は、
前記フランジに対する前記出力軸の回転を許容しつつ、前記出力軸に密着するメカニカルシールと、
前記メカニカルシールと前記フランジとの間を密封し、前記モータホルダの昇降に応じて伸縮する伸縮シールと、
を含む、
請求項５記載のロボット。
【請求項７】
前記フランジは、
チャンバ内に面する第１フランジと、
前記第１フランジに重なってチャンバ外に面する第２フランジと、
前記第１フランジと前記第２フランジとの間に挿入され、前記第１フランジに対する前記第２フランジの傾きを調節する調節プレートと、
前記第２フランジを前記第１フランジに締結する締結部材と、
を含み、
前記昇降アクチュエータは前記第２フランジに固定され、
前記出力軸は、前記第２フランジと前記第１フランジとを貫通して前記第１リンクに固定される、
請求項６記載のロボット。
【請求項８】
前記伸縮シールは、前記メカニカルシールと前記第１フランジとの間を密封する、
請求項７記載のロボット。
【請求項９】
前記第１フランジ及び前記第２フランジのそれぞれが、前記ベースと前記アーム及び前記ハンドとの間を仕切り、
前記第１フランジは、全周に亘って前記第２フランジの周縁から張り出している、
請求項７又は８記載のロボット。
【請求項１０】
前記フランジから前記ベースよりも突出し、前記ベースを包囲する複数の脚部を更に備える、
請求項１～４のいずれか一項記載のロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ロボット及び基板搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、搬送チャンバの内部空間である搬送室の底部に設けられた開口部に搬送ロボットを取り付けるチャンバ構造が開示されている。チャンバ構造は、開口部の下側に設けられるロボットベース部材と、搬送ロボットとを備える。搬送ロボットは、ベースユニットと、ベースユニットの上部に設けられるアームユニットとを有する。ベースユニットの上側には、ロボットベース部材の開口孔と同形状のロボットフランジ部材が設けられる。アームユニットは、開口孔に挿通可能であり、ロボットフランジ部材は、開口孔の周縁部に対して着脱自在に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０１９／１８９８８３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、チャンバ内へのロボット組み込み用の開口の縮小と、チャンバ内へのロボットの組み込み作業性との両立に有効なロボット及び基板搬送装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一側面に係るロボットは、基板を支持するハンドと、ベースと、ハンドをベースに連結するアームと、アームに沿って並び、それぞれが鉛直な軸線まわりに動作して、ベースに対するハンドの位置・姿勢を変更する複数の関節と、を有する多関節アームと、ベースとアーム及びハンドとの間を仕切るように広がって、多関節アームの少なくとも一部が収容されるチャンバの開口を塞ぐフランジと、を備え、フランジは長手方向を有し、複数の関節のうち、ベースから最も近位にある関節の軸線は、フランジの長手方向において、フランジの一端とフランジの中心との間において一端寄りに位置している。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、チャンバ内へのロボット組み込み用の開口の縮小と、チャンバ内へのロボットの組み込み作業性との両立に有効なロボット及び基板搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
基板搬送装置の内部を例示する平面図である。
図１中のＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。
図２中のロボットの底面図である。
図１中のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。
図４中の第１アームモータの拡大図である。
図４中の第２アームモータの拡大図である。
図４中のハンドモータの拡大図である。
ハンドモータの変形例を示す図である。
第２アームモータの変形例を示す図である。
ハンドモータの他の変形例を示す図である。
ハンドモータの更に他の変形例を示す図である。
チューブ及び空冷流路を例示する図である。
ケーブルの配線を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
〔基板搬送装置〕
図１及び図２に示す基板搬送装置１は、基板Ｗが保管される１以上のステーションＳＴ１０と、複数の処理モジュールＰＵ１０との間で基板Ｗを搬送する装置である。基板Ｗの例としては、半導体基板、ガラス基板、マスク基板、又はＦＰＤ（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）基板等が挙げられる。基板搬送装置１は、チャンバ９０と、ロボット２とを備える。チャンバ９０は、長手方向Ｄ１１と、長手方向Ｄ１１に垂直な短手方向Ｄ１２とを有する。長手方向Ｄ１１と短手方向Ｄ１２とが水平面に沿うように配置される。
【００１０】
チャンバ９０は、上下に並ぶ天板９１と底板９２とを有し、底板９２と底板９２との間の空間を包囲する周壁９３を更に有する。以下、周壁９３に包囲される空間を搬送空間Ｓ０１という。
（【００１１】以降は省略されています）

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