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公開番号2024159124
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-08
出願番号2023074912
出願日2023-04-28
発明の名称搬送装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人
主分類B25J 15/08 20060101AFI20241031BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】直線方向に移動可能に案内されたハンドをベルト駆動機構により進退駆動させる搬送装置において、温度上昇によるベルトのテンションの増大を防止する。
【解決手段】支持ベース1と、支持ベース1上で所定の移動行程を直線方向に移動可能に案内支持されたハンド2と、ハンド2を進退駆動するベルト駆動機構4と、を備え、ベルト駆動機構4は、一部にハンド2が連結され、複数のプーリ(42a,42b,43,44a,44b)間に掛け回された歯付き無端ベルト41を含んでおり、複数のプーリのうち、上記歯付き無端ベルトの歯が噛み合ういずれかのプーリ(42a,42b,43)の近傍において上記歯付き無端ベルト41の外面に接し、駆動力により上記歯付き無端ベルト41の厚み方向に移動可能なベルトテンション調整プーリ5を設けた。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
支持ベースと、
上記支持ベース上で所定の移動行程を直線方向に移動可能に案内支持されたハンドと、
上記ハンドを進退駆動するベルト駆動機構と、を備え、
上記ベルト駆動機構は、一部に上記ハンドが連結され、複数のプーリ間に掛け回された歯付き無端ベルトを含んでおり、
上記複数のプーリのうち、上記歯付き無端ベルトの歯が噛み合ういずれかのプーリの近傍において上記歯付き無端ベルトの外面に接し、駆動力により上記歯付き無端ベルトの厚み方向に移動可能なベルトテンション調整プーリを設けたことを特徴とする、搬送装置。
続きを表示（約 660 文字）【請求項２】
上記ベルト駆動機構は、上記支持ベースにおける上記ハンドの移動行程の両端付近に対応する位置に配置され、上記歯付き無端ベルトの歯が噛み合う２つの従動プーリと、上記２つの従動プーリ間において上記歯付き無端ベルトの歯が噛み合う駆動プーリと、上記駆動プーリの前後方向両側に近接して上記歯付き無端ベルトの外面に接する２つのアイドラプーリと、を含んでおり、上記２つのアイドラプーリの少なくとも一方が上記ベルトテンション調整プーリである、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
上記ベルト駆動機構は、上記支持ベースにおける上記ハンドの移動行程の両端付近に対応する位置に配置され、上記歯付き無端ベルトの歯が噛み合う２つの従動プーリと、上記２つの従動プーリ間において上記歯付き無端ベルトの歯が噛み合う駆動プーリと、上記駆動プーリの前後方向両側に近接して上記歯付き無端ベルトの外面に接する２つのアイドラプーリと、を含んでおり、
上記２つの従動プーリの少なくとも一方に近接させて、上記ベルトテンション調整プーリが付加的に設けられている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
上記ベルトテンション調整プーリは、上記歯付き無端ベルトのテンションに応じて移動させられ、移動後の位置が保持される、請求項２または３に記載の搬送装置。
【請求項５】
上記歯付き無端ベルトのテンションは、上記駆動プーリを駆動するためのモータのトルクにより計測される、請求項４に記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関し、より詳しくは、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）用ガラス基板等の薄板状ワーク等を直線状に搬送することができる搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
この種の搬送装置の一例として、特許文献１に記載されたものがある。同文献に記載された搬送装置は、支持ベースに設けたリニアガイド機構により、ハンドを水平直線方向に移動可能に支持し、ハンドをベルト駆動機構により進退駆動するように構成されている。支持ベースは通常、昇降および旋回が可能となっている。
【０００３】
ベルト駆動機構は、支持ベースの前端位置と後端位置に設けた従動プーリ間に無端ベルトを掛け回すとともに、無端ベルトの一部を支持ベースの長手方向中間部に配置した駆動プーリに掛け回して構成されている。また、駆動プーリに対する無端ベルトの十分な掛け回り長さを確保するとともに無端ベルトに所定の張力を付与する等のため、駆動プーリの前後にアイドラプーリが設けられている。無端ベルトは通常、ベルト駆動の正確な制御を行うために、ガラス芯線を内包させるなどして線膨張係数を小さくした歯付きベルトが用いられる。
【０００４】
ところで、最近、薄板状ワークの大型化による搬送行程の長大化に伴い、支持ベースの前後長が長大化する傾向にあり、以下のような問題が顕在化している。
【０００５】
すなわち、この種の搬送装置は、１００℃以上の温度差が生じる高温環境下で動作させる場合がある。このような高温環境下において、歯付き無端ベルトの線膨張係数に対し、ＳＵＳ３０４等の金属材料で構成される支持ベースの線膨張係数が大きいために、高温環境下において歯付きベルトのテンションが非常に大きくなることがある。このように歯付き無端ベルトのテンションが非常に大きい状態では、歯付き無端ベルトの歯と駆動プーリの歯との間の面圧が大きくなるために、歯付き無端ベルトの歯の摩耗が進み、これによるパーティクルが飛散するという問題が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１４－６５０９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、直線方向に移動可能に案内されたハンドをベルト駆動機構により進退駆動させる搬送装置において、温度上昇によるベルトのテンションの増大を防止することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【０００９】
すなわち、本発明により提供される搬送装置は、支持ベースと、上記支持ベース上で所定の移動行程を直線方向に移動可能に案内支持されたハンドと、上記ハンドを進退駆動するベルト駆動機構と、を備え、上記ベルト駆動機構は、一部に上記ハンドが連結され、複数のプーリ間に掛け回された歯付き無端ベルトを含んでおり、上記複数のプーリのうち、上記歯付き無端ベルトの歯が噛み合ういずれかのプーリの近傍において上記歯付き無端ベルトの外面に接し、駆動力により上記歯付き無端ベルトの厚み方向に移動可能なベルトテンション調整プーリを設けたことを特徴とする。
【００１０】
好ましい実施の形態では、上記ベルト駆動機構は、上記支持ベースにおける上記ハンドの移動行程の両端付近に対応する位置に配置され、上記歯付き無端ベルトの歯が噛み合う２つの従動プーリと、上記２つの従動プーリ間において上記歯付き無端ベルトの歯が噛み合う駆動プーリと、上記駆動プーリの前後方向両側に近接して上記歯付き無端ベルトの外面に接する２つのアイドラプーリと、を含んでおり、上記２つのアイドラプーリの少なくとも一方が上記ベルトテンション調整プーリとして機能する。
（【００１１】以降は省略されています）

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