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公開番号2024165812
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2023082324
出願日2023-05-18
発明の名称ガラス基板の製造方法
出願人TOPPANホールディングス株式会社
代理人弁理士法人鈴榮特許綜合事務所
主分類C03C 15/00 20060101AFI20241121BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】ガラス基板により均一な複数の貫通孔を形成する。
【解決手段】ガラス基板の製造方法は、ガラス基板40の第1面及び第2面にそれぞれ、複数の貫通孔に対応する複数の領域以外を覆う第1レジスト層41及び第2レジスト層42を形成する工程と、駆動機構20を用いてガラス基板40を垂直にした状態で、ガラス基板40を処理槽14内に搬送する工程と、ガラス基板40の両側にそれぞれ配置された第1ノズル15及び第2ノズル16を用いて、ガラス基板40の両側から連続してエッチング液を噴射する工程とを含む。
【選択図】図6

特許請求の範囲【請求項１】
ガラス基板の第１面及び第２面にそれぞれ、複数の貫通孔に対応する複数の領域以外を覆う第１レジスト層及び第２レジスト層を形成する工程と、
駆動機構を用いて前記ガラス基板を垂直にした状態で、前記ガラス基板を処理槽内に搬送する工程と、
前記ガラス基板の両側にそれぞれ配置された第１ノズル及び第２ノズルを用いて、前記ガラス基板の両側から連続してエッチング液を噴射する工程と、
を具備するガラス基板の製造方法。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記連続してエッチング液を噴射する工程の後に、前記第１ノズル及び前記第２ノズルを用いて、前記ガラス基板の両側から交互にエッチング液を噴射する工程をさらに具備する
請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記交互にエッチング液を噴射する工程において、制御装置により、前記第１ノズル及び前記第２ノズルにそれぞれ接続された第１バルブ及び第２バルブを交互に開状態に設定する
請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記連続してエッチング液を噴射する工程が第１時間継続して実施された後に、前記交互にエッチング液を噴射する工程が第２時間継続して実施される
請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記駆動機構を用いて、前記ガラス基板を揺動する工程をさらに具備する
請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記ガラス基板を基板ホルダに固定する工程をさらに具備し、
前記基板ホルダは、前記ガラス基板の端部を保持するように構成される
請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項７】
ガラス基板の第１面及び第２面にそれぞれ、個片化される複数のチップに対応する複数の領域を覆う複数の第１レジスト層及び複数の第２レジスト層を形成する工程と、
駆動機構を用いて前記ガラス基板を垂直にした状態で、前記ガラス基板を処理槽内に搬送する工程と、
前記ガラス基板の両側にそれぞれ配置された第１ノズル及び第２ノズルを用いて、前記ガラス基板の両側から連続してエッチング液を噴射する工程と、
を具備するガラス基板の製造方法。
【請求項８】
前記連続してエッチング液を噴射する工程の後に、前記第１ノズル及び前記第２ノズルを用いて、前記ガラス基板の両側から交互にエッチング液を噴射する工程をさらに具備する
請求項７に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項９】
前記交互にエッチング液を噴射する工程において、制御装置により、前記第１ノズル及び前記第２ノズルにそれぞれ接続された第１バルブ及び第２バルブを交互に開状態に設定する
請求項８に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項１０】
前記連続してエッチング液を噴射する工程が第１時間継続して実施された後に、前記交互にエッチング液を噴射する工程が第２時間継続して実施される
請求項８に記載のガラス基板の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、電子デバイスにおいて、複数の貫通孔が形成されたガラス基板が広く利用されている。複数の貫通孔を有するガラス基板の適用例として、例えば、インターポーザが挙げられる。インターポーザは、複数の半導体チップと基板とを電気的に接続する中継部材である。ガラス基板に複数の貫通孔を形成する方法としては、例えば、レーザを用いてガラス基板に複数の貫通孔を形成し、その後、ガラス基板をウェットエッチングする。
【０００３】
半導体チップの微細化に伴い、ガラス基板に形成される貫通孔の微細化が要求される。また、電子デバイスの性能向上のために、複数の貫通孔をより均一に形成することが望まれる。また、貫通孔の径をガラス基板の厚さ方向に沿ってより均一に形成することが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－２２２５２９号公報
国際公開第２０１８／０２０５３１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、ガラス基板により均一な複数の貫通孔を形成することが可能なガラス基板の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１態様によると、ガラス基板の第１面及び第２面にそれぞれ、複数の貫通孔に対応する複数の領域以外を覆う第１レジスト層及び第２レジスト層を形成する工程と、駆動機構を用いて前記ガラス基板を垂直にした状態で、前記ガラス基板を処理槽内に搬送する工程と、前記ガラス基板の両側にそれぞれ配置された第１ノズル及び第２ノズルを用いて、前記ガラス基板の両側から連続してエッチング液を噴射する工程とを具備する、ガラス基板の製造方法が提供される。
【０００７】
本発明の第２態様によると、前記連続してエッチング液を噴射する工程の後に、前記第１ノズル及び前記第２ノズルを用いて、前記ガラス基板の両側から交互にエッチング液を噴射する工程をさらに具備する、第１態様に係るガラス基板の製造方法が提供される。
【０００８】
本発明の第３態様によると、前記交互にエッチング液を噴射する工程において、制御装置により、前記第１ノズル及び前記第２ノズルにそれぞれ接続された第１バルブ及び第２バルブを交互に開状態に設定する、第２態様に係るガラス基板の製造方法が提供される。
【０００９】
本発明の第４態様によると、前記連続してエッチング液を噴射する工程が第１時間継続して実施された後に、前記交互にエッチング液を噴射する工程が第２時間継続して実施される、第２態様に係るガラス基板の製造方法が提供される。
【００１０】
本発明の第５態様によると、前記駆動機構を用いて、前記ガラス基板を揺動する工程をさらに具備する、第１態様に係るガラス基板の製造方法が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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