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公開番号2024163191
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-21
出願番号2024150664,2021509815
出願日2024-09-02,2019-08-19
発明の名称ガラス物品
出願人コーニングインコーポレイテッド
代理人個人,個人,個人
主分類C03C 3/087 20060101AFI20241114BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】目標熱膨張係数CTE_Tを有するガラス物品を提供する。
【解決手段】
ガラス物品の製造方法は、第1ガラス組成物の溶融工程、及び第2ガラス組成物の溶融器への供給工程を含む。これらのガラス組成物はいずれも、同一成分の組合せを含むが、少なくとも1つの成分は、夫々異なる濃度を有する。以下を含む少なくとも3つのガラス物品を、溶融器からドロー加工できる:第1ガラス組成物から形成される、第1ガラス物品;第1及び第2ガラス組成物のいずれからなるものでもない、少なくとも1つの中間ガラス物品;及び第1ガラス組成物からなるものではない、最終ガラス物品。中間ガラス物品中の少なくとも1つの成分の濃度は、第1ガラス組成物中の濃度と、第2ガラス組成物中の濃度との間であってよい。第1ガラス物品及び最終ガラス物品は、特定の特性に関して異なる値を有してよく、中間ガラス物品は、同じ特性に関して中間の値のセットを有してよい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
５６重量％以上６６重量％以下のＳｉＯ
２
；
９．５重量％以上１２．０重量％以下のＡｌ
２
Ｏ
３
；
３．０重量％以上７．５重量％以下のＬｉ
２
Ｏ；
６重量％以上１８重量％以下のＮａ
２
Ｏ；
０重量％以上かつ１４重量％以下のＫ
２
Ｏ；
０重量％以上かつ１２重量％以下のＭｇＯ；及び
０重量％以上かつ８重量％以下のＣａＯ
を含むガラス組成物から形成された、ガラス物品。
続きを表示（約 710 文字）【請求項２】
前記ガラス組成物は、６０重量％以上６５重量％以下であるＳｉＯ
２
を含む、請求項１に記載のガラス製品。
【請求項３】
前記ガラス組成物は、１０重量％以上１２重量％以下であるＡｌ
２
Ｏ
３
を含む、請求項１に記載のガラス製品。
【請求項４】
前記ガラス組成物は、２重量％以上４重量％以下のＢ
２
Ｏ
３
を含む、請求項１に記載のガラス製品。
【請求項５】
前記ガラス組成物は、０重量％以上かつ１０重量％以下のＫ
２
Ｏを含む、請求項１に記載のガラス製品。
【請求項６】
前記ガラス組成物は、０重量％以上かつ７重量％以下のＫ
２
Ｏを含む、請求項５に記載のガラス製品。
【請求項７】
前記ガラス組成物は、１重量％以上２２重量％以下の量の少なくとも１種類のアルカリ土類酸化物を含む、請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス製品。
【請求項８】
前記ガラス組成物は、９重量％以上２２重量％以下の量の少なくとも１種類のアルカリ土類酸化物を含む、請求項７に記載のガラス製品。
【請求項９】
前記ガラス組成物は、１重量％以上１０重量％以下のＭｇＯを含む、請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス製品。
【請求項１０】
前記ガラス組成物は、０重量％以上かつ３重量％以下のＣａＯを含む、請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス製品。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【関連出願の相互参照】
【０００１】
本出願は、２０１８年８月２２日出願の米国仮特許出願第６２／７２１，２３３号に対する優先権の利益を主張するものであり、上記仮特許出願の内容は依拠され、参照によりその全体が本出願に援用される。また、本出願は、２０１９年８月１９日に出願された特願２０２１―５０９８１５号の分割出願である。
続きを表示（約 1,600 文字）【技術分野】
【０００２】
本開示はガラス物品の製造方法に関し、より詳細には、目標熱膨張率を有するガラス物品を形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
ガラス物品は、半導体パッケージング業界を含む様々な業界で使用される。半導体パッケージング業界では、熱機械的ステップ及びリソグラフィステップを含んでよい加工のために、チップをキャリア基板（例えばガラスプレート）上に置く。しかしながら、加工技法は製造業者間で異なる場合があり、異なる製造技法に対して異なるキャリア要件が発生し、異なる製造業者の全ての要件を満たす単一のキャリア基板設計の製造が困難となる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、半導体製造において使用するためのガラスキャリアの別の製造方法に対する需要が存在する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本明細書で開示される様々な態様によると、ガラス物品の製造方法は、第１のガラス組成物を溶融器中で溶融させるステップであって、上記第１のガラス組成物は複数のガラス構成成分の組み合わせを含む、ステップを含む。次に第２のガラス組成物を上記溶融器に供給してよい。この第２のガラス組成物は同一のガラス構成成分の組み合わせを有するが、少なくとも１つのガラス構成成分の濃度が、上記第１のガラス組成物中の同じ成分の濃度とは異なる。上記溶融器の内容物を溶融状態に維持したまま、以下を含む少なくとも３つのガラス物品を上記溶融器からドロー加工してよい：（１）上記第１のガラス組成物から形成された第１のガラス物品；（２）上記第１のガラス組成物及び第２のガラス組成物のいずれからなるものでもない、少なくとも１つの中間ガラス物品；並びに（３）上記第１のガラス組成物とは異なる組成物からなる最終ガラス物品。上記少なくとも１つの中間ガラス物品中の上記少なくとも１つの成分の濃度は、上記第１のガラス組成物中の上記少なくとも１つの成分の濃度と、上記第２のガラス組成物中の上記少なくとも１つの成分の濃度との間となり得る。上記第１のガラス物品は、ある特性のセットに関して第１の値のセットを有してよい。上記最終ガラス物品は、同じ特性のセットに関して、上記第１の値のセットとは異なる第２の値のセットを有してよい。上記少なくとも１つの中間ガラス物品は、上記特性のセットに関して、上記第１の値のセットと上記第２の値のセットとの間の、中間の値のセットを有してよい。
【０００６】
いくつかの態様は、上記最終ガラス物品が上記第２のガラス組成物を含む、上述の態様のいずれかの方法を含む。
【０００７】
いくつかの態様は、上記第２のガラス組成物の上記少なくとも１つのガラス構成成分の上記濃度が、上記第１のガラス組成物の上記少なくとも１つのガラス構成成分の上記濃度と、２重量％以下だけ異なる、上述の態様のいずれかの方法を含む。
【０００８】
いくつかの態様は、上記少なくとも１つの成分が、ＳｉＯ
２
、Ａｌ
２
Ｏ
３
、Ｂ
２
Ｏ
３
、Ｎａ
２
Ｏ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＡｌＦ
３
、及びＳｂ
２
Ｏ
３
から選択される、上述の態様のいずれかの方法を含む。
【０００９】
いくつかの態様は、上記少なくとも１つの成分がＡｌＦ
３
を含む、上述の態様のいずれかの方法を含む。
【００１０】
いくつかの態様は、上記特性のセットが、熱膨張係数（「ＣＴＥ」）、ヤング率、密度、２００ポアズ温度、表面品質、屈折率、抵抗率、及び縁部強度のうちの１つ以上を含む、上述の態様のいずれかの方法を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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