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公開番号2024123284
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-11
出願番号2021111562
出願日2021-07-05
発明の名称ガラス基板の製造方法及び円盤状ガラス基板
出願人HOYA株式会社
代理人個人,個人
主分類C03B 33/09 20060101AFI20240904BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】ガラス基板の製造方法において、より確実に、ガラス素板から円環状ガラス基板を分離することが可能な技術を提供する。
【解決手段】
ガラス基板の製造方法は、ガラス素板20の表面20aに所定のスクライブ予定線C1に沿って第1のレーザL1を照射することにより、ガラス素板20の表面20aのうち、スクライブ予定線C1に沿ったスクライブ予定領域R1を平滑化することと、平滑化したスクライブ予定領域R1に第2のレーザL2を照射することにより、スクライブ予定線C1に沿ったスクライブ線D1を形成することとを含む。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ガラス基板の製造方法であって、
ガラス素板の表面に所定のスクライブ予定線に沿って第１のレーザを照射することにより、前記ガラス素板の表面のうち、前記スクライブ予定線に沿ったスクライブ予定領域を平滑化することと、
平滑化した前記スクライブ予定領域に第２のレーザを照射することにより、前記スクライブ予定線に沿ったスクライブ線を形成することとを含む、ガラス基板の製造方法。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
前記スクライブ予定領域の表面粗さが、Ｒａで０．２μｍ以下になるように平滑化する、請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記ガラス素板の表面の、前記第１のレーザを照射する前の表面粗さは、Ｒａで０．２μｍよりも大きい、請求項１又は２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記第１のレーザを照射することにより、前記スクライブ予定領域は溶融又は剥離される、請求項１～３のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記第１のレーザを照射することにより前記スクライブ予定領域の少なくとも一部は剥離され、
さらに、前記ガラス素板の表面から剥離した破片を除去することを含む、請求項４に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記スクライブ予定線は円を形成する、請求項１～５のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項７】
さらに、前記スクライブ線が形成されたガラス素板の、前記スクライブ線の外側の部分を、前記スクライブ線の内側の部分よりも高温で加熱することにより、前記外側の部分と前記内側の部分とを分離することを含む、請求項６に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項８】
ガラス基板の製造方法であって、
表面粗さが０．２μｍよりも大きい主表面を有するガラス素板を準備することと、
前記ガラス素板の主表面の少なくとも一部を表面粗さがＲａで０．２μｍ以下になるように平滑化することと、
平滑化した前記表面にレーザを照射することによりスクライブ線を形成することとを含む、ガラス基板の製造方法。
【請求項９】
円盤状ガラス基板であって、
円形の内孔を有し、
少なくとも前記ガラス基板の外周端部および前記内孔の外縁に平滑化領域を有し、
前記平滑化領域は前記ガラス基板の主表面の他の領域よりも表面粗さＲａが低く、且つ表面粗さＲａが０．２μｍ以下であり、
前記平滑化領域は、幅が５ｍｍ以下であり且つガラス基板の主表面の他の領域に対して０．０１～３ｍｍの範囲の深さを有する円形状に形成されている、円盤状ガラス基板。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を用いて形状を加工することによりガラス基板を製造するガラス基板の製造方法、及び、当該方法により製造された円盤状ガラス基板に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
今日、パーソナルコンピュータ、ノート型パーソナルコンピュータ、ＤＶＤ（ＤｉｇｉｔａｌＶｅｒｓａｔｉｌｅＤｉｓｃ）記録装置、あるいはクラウドコンピューティングのデータセンター等には、データを記録するためのハードディスク装置が用いられる。ハードディスク装置では、円環状の非磁性体の磁気ディスク用ガラス基板に磁性層が設けられた磁気ディスクが用いられる。
【０００３】
従来、このような磁気ディスク用ガラス基板の製造方法において、ガラス素板から円環状ガラス基板を分離する技術が知られている（特許文献１）。この技術では、まず、ガラス基板の元となるガラス素板の面に、所定の円環形状に沿ってレーザ光を照射することにより、前記所定の円環形状に沿った欠陥を形成する。これにより、ガラス素板には、前記所定の円環形状に対する外側部分と内側部分とが形成される。そして、ガラス素板の外側部分を内側部分よりも高温で加熱することにより、ガラス素板の外側部分が内側部分に対して相対的に熱膨張し、外側部分と内側部分との間に隙間が形成される。この結果、ガラス素板の外側部分と内側部分とを分離することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０２０／０２２５１０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、特許文献１に記載のガラス基板の製造技術をさらに改良し、より確実に、ガラス素板から円環状ガラス基板を分離することが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、ガラス基板の製造方法であって、
ガラス素板の表面に所定のスクライブ予定線に沿って第１のレーザを照射することにより、前記ガラス素板の表面のうち、前記スクライブ予定線に沿ったスクライブ予定領域を平滑化することと、
平滑化した前記スクライブ予定領域に第２のレーザを照射することにより、前記スクライブ予定線に沿ったスクライブ線を形成することとを含む、ガラス基板の製造方法が提供される。
【０００７】
本発明の第１の態様に従うガラス基板の製造方法において、前記スクライブ予定領域の表面粗さが、Ｒａで０．２μｍ以下になるように平滑化してもよい。
【０００８】
本発明の第１の態様に従うガラス基板の製造方法において、前記ガラス素板の表面の、前記第１のレーザを照射する前の表面粗さは、Ｒａで０．２μｍよりも大きくてもよい。
【０００９】
本発明の第１の態様に従うガラス基板の製造方法において、前記第１のレーザを照射することにより、前記スクライブ予定領域は溶融又は剥離され得る。
【００１０】
本発明の第１の態様に従うガラス基板の製造方法において、前記第１のレーザを照射することにより前記スクライブ予定領域の少なくとも一部は剥離されてもよく、さらに、前記ガラス素板の表面から剥離した破片を除去することを含んでもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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