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公開番号2024136437
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023047554
出願日2023-03-24
発明の名称複合シリカガラス材の製造方法
出願人信越石英株式会社
代理人個人,個人
主分類C03B 23/203 20060101AFI20240927BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】異種又は同種のシリカガラス材を重ね合わせて加熱することにより、複合シリカガラスを製造するにあたり、加熱時の気泡の発生が抑制されてなる複合シリカガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも2枚のシリカガラス材を、前記シリカガラス材の少なくともいずれか一か所の面端部に所定間隔の隙間が形成されるように相対向せしめる隙間形成工程と、前記相対向するシリカガラス材の少なくとも一つの最外層を加熱せしめて、複合シリカガラス材とする加熱工程と、を含み、前記所定間隔の隙間が、前記相対向するシリカガラス材の間にスペーサーを挟むことで形成されてなり、前記所定間隔が前記加熱工程での溶接が可能な間隔である、複合シリカガラス材の製造方法とした。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも２枚のシリカガラス材を、前記シリカガラス材の少なくともいずれか一か所の面端部に所定間隔の隙間が形成されるように相対向せしめる隙間形成工程と、
前記相対向するシリカガラス材の少なくとも一つの最外層を加熱せしめて、複合シリカガラス材とする加熱工程と、
を含み、
前記所定間隔の隙間が、前記相対向するシリカガラス材の間にスペーサーを挟むことで形成されてなり、前記所定間隔が前記加熱工程での溶接が可能な間隔である、複合シリカガラス材の製造方法。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記相対向するシリカガラス材が平行となるように前記相対向するシリカガラス材の面端部に前記スペーサーを挟むことで、所定間隔の隙間が形成されてなる、請求項１記載の複合シリカガラス材の製造方法。
【請求項３】
前記相対向するシリカガラス材の最外層を加熱する工程が、前記スペーサーが挟まれていなかった面端部から順に加熱されてなる、請求項１記載の複合シリカガラス材の製造方法。
【請求項４】
前記相対向するシリカガラス材の最外層を加熱する工程が、前記スペーサーが挟まれていた面端部から順に加熱されてなる、請求項１記載の複合シリカガラス材の製造方法。
【請求項５】
前記スペーサーが、帯状であり、前記相対向するシリカガラス材の面端部近傍に挟まれてなる請求項１記載の複合シリカガラス材の製造方法。
【請求項６】
前記スペーサーが、カーボンシートである、請求項５記載の複合シリカガラス材の製造方法。
【請求項７】
前記隙間形成の後、前記加熱工程の前に、前記スペーサーを前記相対向するシリカガラス材の間から抜く工程をさらに含む、請求項１記載の複合シリカガラス材の製造方法。
【請求項８】
前記所定間隔の隙間が、０ｍｍより大きく３．５ｍｍより小さい、請求項１記載の複合シリカガラス材の製造方法。
【請求項９】
前記シリカガラス材が、不透明シリカガラス材及び／又は透明シリカガラス材である、請求項１記載の複合シリカガラス材の製造方法。
【請求項１０】
前記加熱が、バーナー火炎により行われる、請求項１記載の複合シリカガラス材の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置等において用いられる複合シリカガラス材の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
異種又は同種のシリカガラス板を重ね合わせて加熱することにより、シリカガラス積層体である複合シリカガラスを製造する方法が知られている。従来の複合シリカガラスを製造する方法としては、例えば、特許文献１～４がある。しかし、公知の方法では重ね合わせたシリカガラス板を加熱し、積層体とする際に、シリカガラス板同士の界面部分に大きな気泡が発生しやすいという問題があった。製造過程で気泡が発生してしまうと不良品となり、歩留まりが悪化してしまう。こういった複合シリカガラスの性能に対する要求は年々高くなっており、製造過程で気泡が発生しない複合シリカガラスの製造方法が待ち望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開昭５１－０６１５２２
特開昭６３－２０１０２６
特開２００４－０６７４５６
特開２００４－０９１３１４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者らが鋭意検討した結果、異種又は同種のシリカガラス板同士を、加熱による溶接が可能な程度に隙間を空けて重ね合わせて端部から順次加熱すると、加熱時の気泡の発生が抑制されて、良好な複合シリカガラス材が得られることを見出し、本発明に到達した。
【０００５】
即ち、本発明は、異種又は同種のシリカガラス材を重ね合わせて加熱することにより、複合シリカガラス材を製造するにあたり、加熱時の気泡の発生が抑制されてなる複合シリカガラス材の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の複合シリカガラス材の製造方法は、少なくとも２枚のシリカガラス材を、前記シリカガラス材の少なくともいずれか一か所の面端部に所定間隔の隙間が形成されるように相対向せしめる隙間形成工程と、前記相対向するシリカガラス材の少なくとも一つの最外層を加熱せしめて、複合シリカガラス材とする加熱工程と、を含み、前記所定間隔の隙間が、前記相対向するシリカガラス材の間にスペーサーを挟むことで形成されてなり、前記所定間隔が前記加熱工程での溶接が可能な間隔である、複合シリカガラス材の製造方法である。
【０００７】
前記相対向するシリカガラス材が平行となるように前記相対向するシリカガラス材の面端部に前記スペーサーを挟むことで、所定間隔の隙間が形成されてなるのが好適である。
【０００８】
前記相対向するシリカガラス材の最外層を加熱する工程が、前記スペーサーが挟まれていなかった面端部から順に加熱されてなるのが好適である。
【０００９】
前記相対向するシリカガラス材の最外層を加熱する工程が、前記スペーサーが挟まれていた面端部から順に加熱されてなるのが好適である。
【００１０】
前記スペーサーが、帯状であり、前記相対向するシリカガラス材の面端部近傍に挟まれてなるのが好適である。
（【００１１】以降は省略されています）

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