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公開番号2024152620
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-25
出願番号2024033138
出願日2024-03-05
発明の名称ガラス基板及びガラス基板の製造装置
出願人AGC株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類C03C 23/00 20060101AFI20241018BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】マークが読み取りやすいガラス基板を提供する。
【解決手段】複数のドット110で構成されるマークが表面に設けられるガラス基板10である。ドットは、表面から窪んだ部分である窪み部111と、窪み部よりもガラス基板の厚み方向に突出する突出部112とを有する。突出部は、ドットの輪郭と重なる位置又は輪郭より内側で延在する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
複数のドットで構成されるマークが表面に設けられるガラス基板であって、
前記ドットは、前記表面から窪んだ部分である窪み部と、前記窪み部よりも前記ガラス基板の厚み方向に突出する突出部とを有し、
前記突出部は、前記ドットの輪郭と重なる位置又は前記輪郭より内側で延在する、ガラス基板。
続きを表示（約 710 文字）【請求項２】
前記突出部は、前記ドットの輪郭と重なる位置から、前記輪郭より内側に延在する、請求項１に記載のガラス基板。
【請求項３】
前記窪み部の周縁のうち外側にある周縁を外周縁、前記窪み部の周縁のうち前記外周縁以外の周縁を内周縁とした場合、前記外周縁の長さに対する前記内周縁の長さの比Ａは、０．２＜Ａ＜５０を満たす、
請求項１又は請求項２に記載のガラス基板。
【請求項４】
前記突出部は、前記輪郭の少なくとも２箇所を通る、請求項１又は請求項２に記載のガラス基板。
【請求項５】
前記突出部は、前記輪郭の少なくとも４箇所を通る、請求項４に記載のガラス基板。
【請求項６】
前記窪み部の深さは、３０μｍ以下である、請求項１又は請求項２に記載のガラス基板。
【請求項７】
ガラス基板の表面に複数のドットで構成されるマークを設ける製造装置であって、
ガラス基板にドットを形成するレーザ光を発振する、レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から前記ガラス基板までを結ぶ前記レーザ光の光路上に設けられるマスクと、
を備え、
前記マスクは、前記レーザ光が透過する透過部と、前記レーザ光を遮蔽する遮蔽部とを有する透過パターンを有し、
前記遮蔽部は、前記レーザ光の光路に沿った方向から平面視して、前記透過パターンの輪郭と重なる位置又は前記輪郭より内側で延在する、
ガラス基板の製造装置。
【請求項８】
前記レーザ発振器は、エキシマレーザである、請求項７に記載のガラス基板の製造装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板及びガラス基板の製造装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセス中に、半導体デバイスを支持する部材として、ガラス基板が用いられることがある。例えば特許文献１に示すように、このようなガラス基板の表面にレーザ光を照射して刻印することで、ガラス基板の表面にマークを形成する場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－２１０６４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ガラス基板の表面のマークは、コードリーダ等によって読み取りがされる。この場合、マークは、確実に読み取れることが求められる。そのため、読み取りやすいマークを形成することが求められる。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、マークが読み取りやすいガラス基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るガラス基板は、複数のドットで構成されるマークが表面に設けられるガラス基板であって、前記ドットは、前記表面から窪んだ部分である窪み部と、前記窪み部よりも前記ガラス基板の厚み方向に突出する突出部とを有し、前記突出部は、前記ドットの輪郭と重なる位置又は前記輪郭より内側で延在する。
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るガラス基板の製造装置は、ガラス基板の表面に複数のドットで構成されるマークを設ける製造装置であって、ガラス基板にドットを形成するレーザ光を発振する、レーザ発振器と、前記レーザ発振器から前記ガラス基板までを結ぶ前記レーザ光の光路上に設けられるマスクと、を備え、前記マスクは、前記レーザ光が透過する透過部と、前記レーザ光を遮蔽する遮蔽部とを有する透過パターンを有し、前記遮蔽部は、前記レーザ光の光路に沿った方向から平面視して、前記透過パターンの輪郭と重なる位置又は前記輪郭より内側で延在する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、マークが読み取りやすいガラス基板を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、本実施形態に係るガラス基板の模式図である。
図２は、マークの一例の模式図である。
図３は、ガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。
図５は、本実施形態の第１変形例に係るガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図６は、本実施形態の第２変形例に係るガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図７は、本実施形態の第３変形例に係るガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図８は、本実施形態の第４変形例に係るガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図９は、本実施形態の第５変形例に係るガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図１０は、本実施形態の第６変形例に係るガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図１１は、本実施形態の第７変形例に係るガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図１２は、本実施形態の第８変形例に係るガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図１３は、本実施形態の第９変形例に係るガラス基板のドットが形成された部分の模式的な拡大図である。
図１４は、本実施形態に係るガラス基板の製造装置の模式図である。
図１５は、図１４に係るマスクの模式的な平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。なお、この実施形態により本発明が限定されるものではなく、また、実施形態が複数ある場合には、各実施形態を組み合わせて構成するものも含むものである。また、数値については四捨五入の範囲が含まれる。
（【００１１】以降は省略されています）

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