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公開番号
2025013137
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-01-24
出願番号
2024037220
出願日
2024-03-11
発明の名称
ガラス組成物、ガラスペースト、封着パッケージ、および被覆層付き基板
出願人
AGC株式会社
代理人
弁理士法人栄光事務所
主分類
C03C
3/091 20060101AFI20250117BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約
【課題】鉛を実質的に含有しなくても、850℃以下の焼結温度で被覆性やシール性が十分であり、耐酸性および耐アルカリ性に優れたガラスが得られ、かつ熱膨張係数が特定範囲内にある、ガラス組成物を提供すること。
【解決手段】Pbを実質的に含有せず、酸化物基準の質量%表示で、SiO
2
を66~75%、B
2
O
3
を5~11.5%、Li
2
Oを0.5~10%、Na
2
Oを0~10%、K
2
Oを0~10%、BaOを3.1~10%、Al
2
O
3
を0~4%、含有する、ガラス組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲
【請求項1】
Pbを実質的に含有せず、
酸化物基準の質量%表示で、
SiO
2
を66~75%、
B
2
O
3
を5~11.5%、
Li
2
Oを0.5~10%、
Na
2
Oを0~10%、
K
2
Oを0~10%、
BaOを3.1~10%、
Al
2
O
3
を0~4%、
含有する、ガラス組成物。
続きを表示(約 1,500 文字)
【請求項2】
Pbを実質的に含有せず、
酸化物基準の質量%表示で、
SiO
2
を67~74%、
B
2
O
3
を6~11.5%、
Li
2
Oを0.5~5%、
Na
2
Oを3~8%、
K
2
Oを3~8%、
BaOを3.2~8%、
Al
2
O
3
を1.5~4%、
含有する、ガラス組成物。
【請求項3】
Pbを実質的に含有せず、
酸化物基準の質量%表示で、
SiO
2
を67~72%、
B
2
O
3
を8~11.5%、
Li
2
Oを0.5~2%、
Na
2
Oを5~8%、
K
2
Oを3~6.5%、
BaOを3.3~7%、
Al
2
O
3
を2~4%、
含有する、ガラス組成物。
【請求項4】
BaO、Li
2
O、Na
2
O、K
2
O、Al
2
O
3
、およびSiO
2
の酸化物基準の質量%表示での含有量について、
(4BaO+3Li
2
O+2Na
2
O+K
2
O)/(Al
2
O
3
+SiO
2
)が0.41~0.70である、請求項1に記載のガラス組成物。
【請求項5】
BaO、Li
2
O、Na
2
O、K
2
O、Al
2
O
3
、およびSiO
2
の酸化物基準の質量%表示での含有量について、
(4BaO+3Li
2
O+2Na
2
O+K
2
O)/(Al
2
O
3
+SiO
2
)が0.42~0.68である、請求項1に記載のガラス組成物。
【請求項6】
BaO、Li
2
O、Na
2
O、K
2
O、Al
2
O
3
、およびSiO
2
の酸化物基準の質量%表示での含有量について、
(4BaO+3Li
2
O+2Na
2
O+K
2
O)/(Al
2
O
3
+SiO
2
)が0.45~0.64である、請求項1に記載のガラス組成物。
【請求項7】
請求項1~6のいずれか1項に記載のガラス組成物を含むガラスペースト。
【請求項8】
対向する第1の基板および第2の基板と、
前記第1の基板と第2の基板とを接着する封着層とを備える封着パッケージであって、
前記封着層が、請求項1~6のいずれか1項に記載のガラス組成物を含む封着パッケージ。
【請求項9】
基板と、
前記基板の少なくとも一方の主面を被覆する被覆層とを備える被覆層付き基板であって、
前記被覆層が、請求項1~6のいずれか1項に記載のガラス組成物を含む被覆層付き基板。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、ガラス組成物、ガラスペースト、封着パッケージ、および被覆層付き基板に関する。
続きを表示(約 1,500 文字)
【背景技術】
【0002】
自動車、医療、建設用などの様々な分野に使われている圧力センサーの素子として、アルミナ等のセラミックス基板が使用されている。ここで、素子上に形成された回路を被覆する材料や、部材同士を接着または封着する材料として、ガラスが使用されることが知られている。
【0003】
このような被覆用または接着・封着用ガラスには、従来、ガラスの安定性や生産性を高める観点から、鉛が配合されていた。たとえば特許文献1には、酸化物基準でPbOを70~80質量%含むシーリングガラス材料が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特表2000-505414号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、環境負荷を低減する観点から、近年は鉛を含まないガラス材料が求められている。
【0006】
一方、被覆用または接着・封着用のガラス材料としては、適用する素子の耐熱性を考慮したガラス焼結温度、具体的には850℃以下でも、被覆性やシール性が担保できることが求められる。
また、素子の使用環境において信頼性を担保するために、得られるガラスの耐酸性や耐アルカリ性が十分であることが求められる。
さらに、素子の過酷な温度サイクル条件での使用を想定して、素子の基板の熱膨張性とガラスの熱膨張性とが近いことが求められる。両者の熱膨張性がかけ離れると、ガラスにクラックが入り素子の信頼性を損なうおそれがある。
【0007】
以上より、本発明は、鉛を実質的に含有しなくても、850℃以下の焼結温度でも被覆性やシール性が十分であり、耐酸性および耐アルカリ性に優れたガラスが得られ、かつ熱膨張係数が特定範囲内にある、ガラス組成物を提供することを目的とする。
また、本発明は、当該ガラス組成物を含有するガラスペースト、当該ガラス組成物を含有する封着層を有する封着パッケージ、当該ガラス組成物を含有する被覆層を有する被覆層付き基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明者らは、ガラス組成が特定の範囲であるガラス組成物により上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成した。
本発明は以下の構成のガラス組成物に関する。
Pbを実質的に含有せず、
酸化物基準の質量%表示で、
SiO
2
を66~75%、
B
2
O
3
を5~11.5%、
Li
2
Oを0.5~10%、
Na
2
Oを0~10%、
K
2
Oを0~10%、
BaOを3.1~10%、
Al
2
O
3
を0~4%、
含有する、ガラス組成物。
【発明の効果】
【0009】
本発明のガラス組成物によれば、鉛を実質的に含有しなくても、850℃以下の焼結温度で被覆性やシール性が十分であり、耐酸性および耐アルカリ性に優れ、熱膨張係数が特定範囲内にあるガラスを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
図1は、封着パッケージの一実施形態を示す断面図である。
図2は、被覆層付き基板の一実施形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
(【0011】以降は省略されています)
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