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公開番号2024078102
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-10
出願番号2022190462
出願日2022-11-29
発明の名称素子基板およびその製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人
主分類B41J 2/14 20060101AFI20240603BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】基板接合時の接着材による吐出口の閉塞を抑制し、かつ、部材の剥離による吐出性能への影響を防止するが可能な素子基板を提供する。
【解決手段】素子基板10は、液体を吐出するための吐出口8と連通する液体流路12を備えたシリコン基板1を有する。シリコン基板1の第1の面1aは、接着材によって支持部材に接合される。液体流路12は、第1の面1aからシリコン基板1の厚さ方向(Z方向)に延在するように形成され、第1の面1aに対して傾斜した内壁面12cを備える第1の流路12aと、第1の流路12aと連通し厚さ方向に延在するように形成され、第1の面1aに対して傾斜した内壁面12dを備える第2の流路12bと、第1の流路12aと第2の流路12bとの間に設けられ、第1の流路12aの内壁面12cに対して内側に突き出した突き出し部40と、を有する。突き出し部40は、シリコン基板1の一部である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
液体を吐出するための吐出口と連通する液体流路を備えた基板を有し、前記基板の第１の面が接着材によって支持部材に接合される素子基板であって、
前記液体流路は、
前記第１の面から前記基板の厚さ方向に延在するように形成され、前記第１の面に対して傾斜した内壁面を備える第１の流路と、
前記第１の流路と連通し前記厚さ方向に延在するように形成され、前記第１の面に対して傾斜した内壁面を備える第２の流路と、
前記第１の流路と前記第２の流路との間に設けられ、前記第１の流路の前記内壁面に対して内側に突き出した突き出し部と、を有し、
前記突き出し部が、前記基板の一部であることを特徴する素子基板。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記突き出し部は、前記第１の流路の前記内壁面から突出した凸部である、請求項１に記載の素子基板。
【請求項３】
前記凸部は、前記第１の流路の前記内壁面の全周にわたって延在する、請求項２に記載の素子基板。
【請求項４】
前記凸部は、前記第１の流路の側に第１の側面を備え、該第１の側面は、前記第１の面と平行である、請求項２に記載の素子基板。
【請求項５】
前記凸部は、前記第２の流路の側に第２の側面をさらに備え、前記第１の側面と前記第２の側面とがなす角度が鋭角である、請求項４に記載の素子基板。
【請求項６】
前記凸部の前記第１の側面は、結晶方位（１００）面である、請求項４に記載の素子基板。
【請求項７】
前記第１の流路の前記内壁面は四角錐台の各側面を構成し、前記凸部は、前記各側面により形成される４つの辺部の延在方向と交差する、請求項２に記載の素子基板。
【請求項８】
前記第２の流路の前記内壁面は四角錐台の各側面を構成し、前記第１の面に垂直な方向から見た場合に、前記第２の流路の各側面により形成される４つの辺部が、前記第１の流路の前記４つの辺部よりも内側に位置する、請求項７に記載の素子基板。
【請求項９】
前記第１の流路の前記内壁面および前記第２の流路の前記内壁面はいずれも結晶方位（１１１）面である、請求項１に記載の素子基板。
【請求項１０】
前記第１の流路の前記内壁面の前記第１の面に対する角度および前記第２の流路の前記内壁面の前記第１の面に対する角度はいずれも、５４．７°である、請求項１に記載の素子基板。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、素子基板およびその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
インクジェット型の液体吐出ヘッドは一般に、液体を吐出するための吐出口と吐出口に連通する液体供給路とを備えた素子基板を有している。素子基板は支持部材に接着材で接合されることがある。このため、素子基板を支持部材に接合する際に、接着材が液体供給路に侵入する可能性がある。特許文献１には、液体供給路の内壁面に樹脂からなる接着剤流れ込み防止部材が形成された素子基板が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６－９５９６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の素子基板は、接着剤が吐出口に達する可能性を低減することはできるが、接着剤流れ込み防止部材が剥離して吐出性能に影響を及ぼす可能性がある。
【０００５】
本発明の目的は、基板接合時の接着材による吐出口の閉塞を抑制し、かつ、部材の剥離による吐出性能への影響を防止するが可能な素子基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の一態様による素子基板は、液体を吐出するための吐出口と連通する液体流路を備えた基板を有し、前記基板の第１の面が接着材によって支持部材に接合される素子基板であって、前記液体流路は、前記第１の面から前記基板の厚さ方向に延在するように形成され、前記第１の面に対して傾斜した内壁面を備える第１の流路と、前記第１の流路と連通し前記厚さ方向に延在するように形成され、前記第１の面に対して傾斜した内壁面を備える第２の流路と、前記第１の流路と前記第２の流路との間に設けられ、前記第１の流路の前記内壁面に対して内側に突き出した突き出し部と、を有し、前記突き出し部が、前記基板の一部であることを特徴する。
【０００７】
本発明の別の態様による素子基板は、液体を吐出するための吐出口と連通する液体流路を備えた基板を有し、前記基板の第１の面が接着材によって支持部材に接合される素子基板であって、前記液体流路は、前記基板を厚さ方向に貫通しており、前記厚さ方向に隣接して互いに連通するように形成された複数の流路を備え、各流路は、前記第１の面に対して傾斜した内壁面を有し、前記各流路の境界において、前記厚さ方向に隣接する２つの内壁面のうち、前記第１の面とは反対側に位置する内壁面が内側に張出すように段差が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、基板接合時の接着材による吐出口の閉塞を抑制することができ、かつ、部材の剥離による吐出性能への影響を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の第１の実施形態による素子基板の斜視図である。
図１に示す素子基板の断面図である。
図１に示す素子基板を支持部材に接合した状態を示す断面図である。
図３に示す接合状態を支持部材側から見た状態を示す平面図である。
比較例である素子基板を支持部材に接合した状態を示す断面図である。
図５に示す接合状態を支持部材側から見た状態を示す平面図である。
図１に示す素子基板の製造方法を説明するための工程図である。
レーザー先導孔の配置の一例を模式的に示す平面図である。
凸部の形成過程を説明するための模式図である。
本発明の第２の実施形態による素子基板の断面図である。
本発明の第３の実施形態による素子基板の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、実施形態はあくまで例示であり、本発明の範囲を実施形態に記載された構成要素に限定する趣旨のものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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