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公開番号2024050512
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-10
出願番号2023168755
出願日2023-09-28
発明の名称液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置
出願人株式会社リコー
代理人個人
主分類B41J 2/16 20060101AFI20240403BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】接合剤による液体吐出ヘッドの不具合を抑制する。
【解決手段】複数の基板50,65を基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドであって、第一基板65と、前記第一基板上の接合領域B1に付与された接合剤67によって該第一基板に接合される薄板部材66と、前記第一基板との間に前記薄板部材を挟み込んだ状態で前記第一基板と接合される第二基板50とを有し、前記第二基板には、前記薄板部材を介して前記第一基板の前記接合領域と対向する領域に空隙Cが設けられている。
【選択図】図11
特許請求の範囲【請求項１】
複数の基板を基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドであって、
第一基板と、
前記第一基板上の接合領域に付与された接合剤によって該第一基板に接合される薄板部材と、
前記第一基板との間に前記薄板部材を挟み込んだ状態で前記第一基板と接合される第二基板とを有し、
前記第二基板には、前記薄板部材を介して前記第一基板の前記接合領域と対向する領域に空隙が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記第二基板は、圧力室内の液体をノズルから吐出するために駆動する電気機械変換素子を保持するアクチュエータ基板を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記空隙は、基板面方向において、前記電気機械変換素子から外れた領域に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記薄板部材は、ダンパであり、
前記第一基板は、ダンパ保持基板であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記空隙は、前記接合領域の全域に対向するように設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記空隙は、前記第二基板の所定方向全域にわたって設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記第一基板上の接合領域は、前記第一基板の基板面から凹んだ凹部内に設けられ、
前記第二基板と第二接合剤によって接合される前記第一基板上の第二の接合領域は、前記第一基板の基板面に設けられることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記接合剤は、光硬化性樹脂であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記接合領域は、前記第一基板の端部領域に形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記第二基板は、前記薄板部材と隣接する液体流路基板を含み、
前記空隙は、前記液体流路基板に形成される液体流路の深さと同じ深さで該液体流路基板に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置に関するものである。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、複数の基板を基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドが知られている。
例えば、特許文献１には、ノズル板と、流路基板と、共通液室部材と、ダンパ部材と、ダンパ室形成部材とが、互いに基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドが開示されている。流路基板には、ノズル板のノズルに通じる個別液室と、個別液室内の液体を加圧する圧力を発生する電気機械変換素子とが備わっている。ダンパ部材（薄板部材）は、ダンパ室形成部材（第一基板）と共通液室部材（第二基板）との間に挟み込むように設けられている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の液体吐出ヘッドにおいて、共通液室部材にダンパ室形成部材を接合する前に、ダンパ室形成部材にダンパ部材を接合する場合がある。この場合、接合に用いられる接合剤が液体吐出ヘッドに不具合を生じさせることがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上述した課題を解決するために、本発明は、複数の基板を基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドであって、第一基板と、前記第一基板上の接合領域に付与された接合剤によって該第一基板に接合される薄板部材と、前記第一基板との間に前記薄板部材を挟み込んだ状態で前記第一基板と接合される第二基板とを有し、前記第二基板には、前記薄板部材を介して前記第一基板の前記接合領域と対向する領域に空隙が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、接合剤による液体吐出ヘッドの不具合を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
実施形態における液体吐出ヘッドの外観斜視説明図。
同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図。
同液体吐出ヘッドの断面斜視説明図。
同液体吐出ヘッドのフレーム部材を除いた分解斜視説明図。
同液体吐出ヘッドの流路部分の断面斜視説明図。
同液体吐出ヘッドの流路部分の拡大断面斜視説明図。
同液体吐出ヘッドの流路部分の平面説明図。
実施形態におけるダンパ部材を示す斜視図。
ダンパフレーム基板上における接着剤付着領域を示す平面図。
従来の液体吐出ヘッドにおけるダンパ部材と共通流路部材との接合部分を図９の符号Ａ－Ａ'に沿って切断したときの断面図。
実施形態の液体吐出ヘッドにおけるダンパ部材と共通流路部材との接合部分を図９の符号Ａ－Ａ'に沿って切断したときの断面図。
実施形態における共通流路部材上の空隙を示す平面図。
共通流路部材に設けられる空隙の他の例を示す断面図。
変形例のダンパフレーム基板上における接着剤付着領域を示す平面図である。
変形例の共通流路部材上の空隙を示す平面図である。
変形例の液体吐出ヘッドにおけるダンパ部材と共通流路部材との接合部分を図１４の符号Ａ－Ａ'に沿って切断したときの断面図。
実施形態のヘッドモジュールの分解斜視説明図。
実施形態のヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図。
実施形態における印刷装置の概略説明図。
印刷装置のヘッドユニットの一例の平面説明図。
印刷装置の一例の要部平面説明図。
印刷装置の一例の要部側面説明図。
液体吐出ユニットの一例の要部平面説明図。
液体吐出ユニットの一例の正面説明図。
２種類の接着剤を用いて接合する場合の一例を示す説明図。
本発明の実施形態に係る電極の製造装置の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明を、液体を吐出する装置に設けられる液体吐出ヘッドに適用した一実施形態について説明する。
図１は、本実施形態における液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。
図２は、同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。
図３は、同液体吐出ヘッドの断面斜視説明図である。
図４は、同液体吐出ヘッドのフレーム部材を除いた分解斜視説明図である。
図５は、同液体吐出ヘッドの流路部分の断面斜視説明図である。
図６は、同液体吐出ヘッドの流路部分の拡大断面斜視説明図である。
図７は、同液体吐出ヘッドの流路部分の平面説明図である。
【０００８】
本実施形態の液体吐出ヘッド１は、ノズル板１０、個別流路部材である流路板２０、振動板部材３０、共通流路部材５０、ダンパ部材６０、フレーム部材８０、駆動回路１０２を実装したフレキシブル配線基板１０１を備えている。
【０００９】
ノズル板１０を構成するノズル基板、流路板２０及び振動板部材３０を構成する基板、共通流路部材５０を構成するサブフレーム基板、及びダンパ部材６０を構成するダンパ基板は、いずれも単結晶Ｓｉウェハを基板材料としている。これらの基板は、ＭＥＭＳや半導体デバイスの微細加工技術によってＳｉウェハ上に複数のチップ（液体吐出ヘッド）を同時に作製し、チップ化後の各基板を接合して液体吐出ヘッド１となる。
【００１０】
図４及び図５に示すように、ノズル板１０には、液体（液滴）を吐出する複数のノズル１１が設けられている。複数のノズル１１は二次元状にマトリクス配置されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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