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公開番号2025178862
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-09
出願番号2024085711
出願日2024-05-27
発明の名称弾性波装置、および通信装置
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類H03H 9/25 20060101AFI20251202BHJP(基本電子回路)
要約【課題】弾性波装置において、装置の小型化が望まれている。
【解決手段】弾性波装置(1)は、平面視において、電極指(21)が配置される圧電体(10)の面である第1面(11)と、電極指の延在方向に垂直な方向における第1面の両側に位置し、電極指の延在方向における幅が、電極指の平均繰り返し間隔をpと称した場合に、pの1倍以上である側部面(51)と、を有し、側部面を有する材料の熱伝導率は、圧電体の材料の熱伝導率よりも高い。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
複数の電極指を有するＩＤＴ（Inter-Digital Transducer）電極と、
前記複数の電極指が配置される第１面を有する圧電体と、を備え、
平面視において、
前記第１面と、
前記電極指の延在方向に垂直な方向における前記第１面の両側に位置し、前記電極指の延在方向における幅が、前記複数の電極指の平均繰り返し間隔をｐと称した場合に、ｐの１倍以上である側部面と、を有し、
前記側部面を有する材料の熱伝導率は、前記圧電体の材料の熱伝導率よりも高い、
弾性波装置。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記側部面に対する前記第１面の高さは、ｐの２倍以上である、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記側部面に位置し、前記圧電体よりも熱伝導率が高い第１膜を更に備える、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記圧電体は、前記ＩＤＴ電極が励振する弾性波の伝搬方向の一方側に位置する端面をさらに有し、
前記第１膜の厚さは、ｐの２倍以上であり、かつ、前記第１膜は、前記第１面に垂直な方向から見た平面視において、前記端面から離隔している、
請求項３に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記第１膜は、前記端面からｐ以上離隔している、
請求項４に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第１膜は、金属膜である、
請求項３に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第１膜上に、ＵＢＭ（Under Bump Metallurgy）をさらに備える、
請求項６に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記第１膜は、前記ＩＤＴ電極に接触している、
請求項３に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記ＩＤＴ電極は、前記複数の電極指に接続されているバスバーをさらに有し、
前記バスバーは、前記電極指の延在方向に垂直な方向において、前記複数の電極指よりも前記第１膜の側に延在している、
請求項８に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の弾性波装置を備える通信装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、弾性波装置、および当該弾性波装置を備える通信装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、弾性波装置の一構成例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平７－２６３９９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
弾性波装置において、装置の放熱性の向上が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本開示の一態様に係る弾性波装置は、複数の電極指を有するＩＤＴ（Inter-Digital Transducer）電極と、前記複数の電極指が配置される第１面を有する圧電体と、を備え、平面視において、前記第１面と、前記電極指の延在方向に垂直な方向における前記第１面の両側に位置し、前記電極指の延在方向における幅が、前記複数の電極指の平均繰り返し間隔をｐと称した場合に、ｐの１倍以上である側部面と、を有し、前記側部面を有する材料の熱伝導率は、前記圧電体の材料の熱伝導率よりも高い。
【発明の効果】
【０００６】
本開示の一態様によれば、弾性波装置の放熱性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本開示の実施形態１に係る弾性波装置の構成を例示する平面図である。
本開示の実施形態１に係る弾性波装置の構成を例示する断面図である。
第１面に垂直な方向からの平面視において圧電体と第１膜とが接している場合における、側部面から圧電体の第１面までの距離に応じた、本開示の実施形態１に係る弾性波装置の特性を例示するグラフである。
本開示の実施形態１に係る弾性波装置の特性と、支持基板が平坦な弾性波装置の特性とを例示するグラフである。
本開示の実施形態２に係る弾性波装置の構成を例示する断面図である。
本開示の実施形態２に係る弾性波装置の特性と、支持基板が平坦な弾性波装置の特性とを例示するグラフである。
本開示の実施形態３に係る弾性波装置の構成を例示する断面図である。
本開示の実施形態４における通信装置の概略的な構成を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
〔実施形態１〕
実施形態１に係る弾性波装置について、以下に説明する。説明の便宜上、実施形態１にて説明したコンポーネント（構成要素）と同じ機能を有するコンポーネントについては、以降の各実施形態では同じ符号を付し、その説明を繰り返さない。簡潔化のため、公知の技術事項についても説明を適宜省略する。本明細書において述べる各コンポーネント、各材料、および各数値は、特に矛盾のない限り、いずれも単なる一例である。それゆえ、例えば、特に矛盾のない限り、各コンポーネントの位置関係は、各図の例に限定されない。また、各コンポーネントの図示は、必ずしもスケール通りではない。
【０００９】
（構造）
図１は、実施形態１に係る弾性波装置１の構成を例示する平面図である。図２は、弾性波装置１の構成を例示する断面図である。具体的には、図２は、図１におけるＩＩ－ＩＩ線断面図である。図１および図２に示すように、弾性波装置１は、圧電体１０、ＩＤＴ（Inter-Digital Transducer）電極２０、低音速層３０、支持基板４０、および第１膜５０を備える。
【００１０】
ＩＤＴ電極２０は、圧電体１０に弾性波を励振する電極である。ＩＤＴ電極２０は、圧電体１０が有する第１面１１上に位置する。ＩＤＴ電極２０に交流が印加されることで、圧電体１０に弾性波が励振される。
（【００１１】以降は省略されています）

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