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公開番号2025076952
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-16
出願番号2023188939
出願日2023-11-02
発明の名称塗布ユニットおよびこれを備えた基板接合装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人弁理士法人あい特許事務所
主分類B05C 11/08 20060101AFI20250509BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】接合された2枚の基板の外周部の間の空間内のより深い位置に充填液を配置することができる塗布ユニットを提供する。
【解決手段】塗布ユニットは、別の基板に接合される接合面WAを有する基板Wを保持しながら、基板Wの主面に直交し、かつ、前記主面の中央を通る軸を中心に回転するチャックと、チャックに保持されている基板Wの接合面WAに向けて、固体状または半固体状の充填体に変化する充填液FLを吐出することにより、基板Wの接合面WAの外周部O1だけに充填液を供給する充填液ノズル49とを含む。
【選択図】図11C
特許請求の範囲【請求項１】
別の基板に接合される接合面を有する基板を保持しながら、前記基板の主面に直交し、かつ、前記主面の中央を通る軸を中心に回転するチャックと、
前記チャックに保持されている前記基板の前記接合面に向けて、固体状または半固体状の充填体に変化する充填液を吐出することにより、前記基板の前記接合面の外周部だけに前記充填液を供給する充填液ノズルと、を含む、塗布ユニット。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記基板の前記接合面は、別の基板に接合される平坦部と、前記接合面とは反対側の前記基板の非接合面の方に前記平坦部の外周から凹んだ前記外周部と、を含む、請求項１に記載の塗布ユニット。
【請求項３】
前記充填液ノズルは、前記チャックに保持されている前記基板の前記接合面の前記外周部に向けて前記充填液の複数の液滴を噴射することにより、前記基板の前記接合面の前記外周部だけに前記充填液を供給する液滴ノズルである、請求項１または２に記載の塗布ユニット。
【請求項４】
前記液滴ノズルは、噴射口から前記チャックに保持されている前記基板の前記接合面の前記外周部に向けて前記充填液の複数の液滴を噴射する大口径ノズルと、前記大口径ノズルの前記噴射口よりも面積が小さい噴射口から前記チャックに保持されている前記基板の前記接合面の前記外周部に向けて前記充填液の複数の液滴を噴射する小口径ノズルとを含む、請求項３に記載の塗布ユニット。
【請求項５】
前記チャックに保持されている前記基板の外周部の位置を検出する位置検出器と、
前記位置検出器によって検出された前記外周部の前記位置に応じて前記充填液ノズルを移動させるノズルアクチュエーターと、をさらに含む、請求項１または２に記載の塗布ユニット。
【請求項６】
前記位置検出器によって検出された別の基板の外周部の位置に応じて、前記ノズルアクチュエーターに前記充填液ノズルを移動させる位置制御と、前記位置検出器に前記外周部の前記位置を検出させながら、前記位置検出器によって検出された前記外周部の前記位置に応じて前記充填液ノズルから噴射される単位時間あたりの前記充填液の量を変更する流量制御と、の少なくとも一方を行う制御装置をさらに含む、請求項５に記載の塗布ユニット。
【請求項７】
固体状または半固体状の充填体に変化する充填液を基板に塗布する塗布ユニットと、少なくとも一方に前記充填液が塗布された２枚の基板を接合する接合ユニットと、を備え、
前記塗布ユニットは、
別の基板に接合される接合面を有する基板を保持しながら、前記基板の主面に直交し、かつ、前記主面の中央を通る軸を中心に回転するチャックと、
前記チャックに保持されている前記基板の前記接合面に向けて前記充填液を吐出することにより、前記基板の前記接合面の外周部だけに前記充填液を供給する充填液ノズルと、を含む、基板接合装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合される前の２枚の基板の一方または両方に充填液を塗布する塗布ユニットおよびこれを備えた基板接合装置に関する。基板には、例えば、半導体ウエハ、液晶表示装置や有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置などのＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが含まれる。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、基板の外周端部に形成された保護部材における内部欠陥の有無を判定可能な端部状態確認装置を開示している。特許文献１の段落００８９には「単一基板ｗ１のベベル部と単一基板ｗ２のベベル部との間の空間に保護部材用の塗布液が充填される。充填された塗布液が硬化することにより、保護部材ｗ４が形成される。」との記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－４３００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の端部状態確認装置では、２枚の基板を貼り合わせた後に、２枚の基板の外周部の間の空間に塗布液を充填している。接合された２枚の基板の外周部の間の空間の幅（２枚の基板の厚み方向への同空間の長さ）は、同空間の底に近づくにしたがって減少する。したがって、塗布液は、同空間の底の方まで到達し難い。
【０００５】
そこで、本発明の一つの目的は、接合された２枚の基板の外周部の間の空間内のより深い位置に充填液を配置することができる塗布ユニットおよびこれを備えた基板接合装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態は、別の基板に接合される接合面を有する基板を保持しながら、前記基板の主面に直交し、かつ、前記主面の中央を通る軸を中心に回転するチャックと、前記チャックに保持されている前記基板の前記接合面に向けて、固体状または半固体状の充填体に変化する充填液を吐出することにより、前記基板の前記接合面の外周部だけに前記充填液を供給する充填液ノズルと、を含む、塗布ユニットを提供する。基板は、互いに平行な２つの平面である表面および裏面を含む。基板の主面は、基板の表面および裏面のいずれであってもよい。基板の表面および裏面の一方は、別の基板に接合される接合面であり、基板の表面および裏面の他方は、別の基板に接合されない非接合面である。
【０００７】
前記実施形態において、以下の特徴の少なくとも１つを前記塗布ユニットに加えてもよい。
【０００８】
前記基板の前記接合面は、別の基板に接合される平坦部と、前記接合面とは反対側の前記基板の非接合面の方に前記平坦部の外周から凹んだ前記外周部と、を含む。
【０００９】
前記充填液ノズルは、前記チャックに保持されている前記基板の前記接合面の前記外周部に向けて前記充填液の複数の液滴を噴射することにより、前記基板の前記接合面の前記外周部だけに前記充填液を供給する液滴ノズルである。
【００１０】
前記液滴ノズルは、噴射口から前記チャックに保持されている前記基板の前記接合面の前記外周部に向けて前記充填液の複数の液滴を噴射する大口径ノズルと、前記大口径ノズルの前記噴射口よりも面積が小さい噴射口から前記チャックに保持されている前記基板の前記接合面の前記外周部に向けて前記充填液の複数の液滴を噴射する小口径ノズルとを含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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