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公開番号2025034734
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023141307
出願日2023-08-31
発明の名称塗布検査システム
出願人兵神装備株式会社
代理人個人
主分類B05C 11/10 20060101AFI20250306BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】検査装置とワークとの相対移動速度の変動が生じる場合であったとしても、ワークに対する流動物の塗布状態の検査を的確に行える塗布検査システムの提供を目的とした。
【解決手段】塗布検査システムS1は、撮像装置10、移動装置30、及び検査制御装置40を有する。塗布検査システムS1、撮像装置10及びワークWを相対移動させる過程で撮像装置10によって撮像タイミングの異なる複数の画像を取得する撮像処理と、画像に含まれる特徴点を抽出する特徴点抽出処理と、撮像タイミング間における撮像装置10とワークWとの相対移動量を導出する移動量導出処理と、撮像処理により取得された撮像タイミングの異なる元画像を相対移動量に基づいて配置して合成することにより検査用画像を形成する画像形成処理と、検査用画像に基づいて塗布に関する検査を行う検査処理を実行する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ワークにおける流動物の塗布状態に関する検査を行うための塗布検査システムであって、
前記ワークの画像を取得する撮像装置と、
前記撮像装置及びワークを相対移動させる移動装置と、
前記ワークにおける前記流動物の塗布に関する検査のための制御を行う検査制御装置と、
を有し、
前記撮像装置及び前記ワークを相対移動させる過程において、前記撮像装置によって前記画像を取得する撮像タイミングの異なる複数の画像を取得する撮像処理と、
前記画像に含まれる特徴点を抽出する特徴点抽出処理と、
先の撮像タイミングにおける撮像により得られた画像における前記特徴点の位置と、後の撮像タイミングにおける撮像により得られた画像における前記特徴点の位置との違いに基づいて、撮像タイミング間における前記撮像装置と前記ワークとの相対移動量を導出する移動量導出処理と、
前記撮像処理により取得された撮像タイミングの異なる前記画像、あるいは前記画像に基づいて加工された加工画像を元画像とし、当該元画像を前記相対移動量に基づいて配置して合成することにより、検査用画像を形成する画像形成処理と、
前記画像形成処理によって取得された前記検査用画像に基づいて前記ワークにおける前記流動物の塗布に関する検査を行う検査処理を実行可能であること、を特徴とする塗布検査システム。
続きを表示（約 1,900 文字）【請求項２】
前記移動量導出処理により導出された前記相対移動量、及び前記撮像タイミングを関連づけたマスター情報を規定するマスター規定処理を実行可能であり、
前記検査制御装置が、
前記撮像処理、前記特徴点抽出処理、前記移動量導出処理、及び前記マスター規定処理を含む処理を経て前記マスター情報を規定するマスター作成フローと、
前記撮像処理により得られた前記元画像の撮像タイミング、及び前記マスター作成動作によって規定された前記マスター情報に基づいて導出される前記相対移動量に基づいて前記画像形成処理を実行することにより前記検査用画像を取得し、当該検査用画像に基づいて前記検査処理を実行する検査フローと、
を実行可能であること、を特徴とする請求項１に記載の塗布検査システム。
【請求項３】
前記検査フローの実行前に、都度、前記マスター作成フローを実行すること、を特徴とする請求項２に記載の塗布検査システム。
【請求項４】
前記マスター作成フローにより規定された前記マスター情報を、複数回の前記検査フローにおいて繰り返し利用すること、を特徴とする請求項２に記載の塗布検査システム。
【請求項５】
ワークにおける流動物の塗布状態に関する検査を行うための塗布検査システムであって、
前記ワークの画像を取得する撮像装置と、
前記ワークにおける前記流動物の塗布に関する検査のための制御を行う検査制御装置と、
を有し、
複数の前記撮像装置が、撮像対象領域を囲むように配置されており、
前記検査制御装置が、複数の前記撮像装置による撮像により得られた画像に基づいて前記ワークにおける前記流動物の塗布に関する検査を行う検査処理を実行可能であること、を特徴とする塗布検査システム。
【請求項６】
前記ワークに塗布された前記流動物を横切るようにライン状の照射光を照射する照射装置を備え、
前記撮像装置が、前記照射光の照射領域を含む領域を撮像対象領域として撮像するものであり、
前記撮像処理が、前記撮像装置及び前記ワークを相対移動させることによって前記撮像対象領域を変動させつつ、前記照射光を前記撮像対象領域に照射した状態で前記撮像装置により撮像を行うことにより、前記ワークにおける複数箇所において前記画像を取得するものであり、
前記検査処理が、前記画像に写る前記照射光の特性に基づいて前記ワークにおける前記流動物の塗布状態に関する検査を行うものであること、を特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の塗布検査システム。
【請求項７】
前記照射装置が、前記ライン状の照射光を複数、前記照射光の延びる方向に対して交差する方向に複数並べて照射できるものであること、を特徴とする請求項６に記載の塗布検査システム。
【請求項８】
同一の前記撮像対象領域について、複数の前記撮像装置により撮像し、
それぞれの前記撮像装置から得られる前記画像を用いることにより、前記ワークに対する前記流動物の塗布状態に係る検査を行うこと、を特徴とする請求項５に記載の塗布検査システム。
【請求項９】
前記ワークに塗布された前記流動物を横切るようにライン状の照射光を照射する照射装置を備え、
前記照射装置が、前記撮像装置に対応して複数設けられており、対応付けられた前記撮像装置による撮像に同期して前記照射光の照射を行うものであり、
同一の前記撮像対象領域について、複数の前記撮像装置による撮像を行う際に、各撮像装置による撮像タイミングをずらすこと、を特徴とする請求項５に記載の塗布検査システム。
【請求項１０】
前記ワークに塗布された前記流動物を横切るようにライン状の照射光を照射する照射装置を備え、
前記照射装置が、前記撮像装置に対応して複数設けられており、対応付けられた前記撮像装置による撮像に同期して前記照射光の照射を行うものであり、
複数の前記照射装置が、それぞれ異なる波長の照射光を発するものであり、
複数の前記撮像装置が、それぞれ対応付けて設けられた前記照射装置から発せられる照射光を撮像可能であって、対応付けられていない他の前記照射装置から発せられる照射光を撮像不能とされたものであること、を特徴とする請求項５に記載の塗布検査システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布検査システムに関する。
続きを表示（約 2,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、下記特許文献１に開示されているようなペースト塗布装置が提供されている。このペースト塗布装置は、基板を載置するＸＹテーブルを移動させながら塗布ノズルから線状ペーストを基板に塗布するものであり、ＸＹテーブルの上方の塗布ノズルの左右前後に撮像カメラを配置し、各撮像カメラの光軸とＸＹテーブルとの交点に対して線状ペーストと直交するスリット光を斜め方向から照射するスリット光源を配置し、撮像カメラが撮影した画像データに基づいてペースト塗布性状の良否を判定するものとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－１５１６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、本発明者らが、ワークに対してペースト等の流動物を上述した従来技術のような検査装置を備える塗布装置を用いて塗布する場合において、塗布動作の過程の間に塗布装置とワークとの相対移動速度を変化させる場合であっても、十分な検査精度が得られるかについて鋭意検討した。その結果、撮像カメラ等を備えた検査装置を塗布装置とともにワークに対して相対移動させつつ、その移動速度を変化させる場合において、一定の時間間隔で撮像カメラによる撮像を行うこととすると、検査精度が低下してしまうことが見いだされた。具体的には、この種の相対移動しながら検査を行う場合では、移動装置が直線区間では加速し、カーブ区間では減速するなど移動速度の変化が大きい。そのため、前述のように移動速度の変動が生じる状態においては、撮像カメラによる一定時間ごとの撮像タイミングの間に検査装置が移動する距離が変動してしまう。そのため、検査装置とワークとの相対移動速度や、相対移動量の情報を加味しないと、各撮像タイミング別の検査画像を正しい位置で合成できず、塗布位置の判定や塗布幅と長さに基づく塗布量判定などの検査が正確にできないとの知見が得られた。
【０００５】
また、上述した課題に鑑みて、本発明者らは、検査装置とワークとを相対移動させる移動装置から位置情報を取得することにより、相対移動速度の変化が生じる場合であっても、当該変化を加味して正確に塗布位置の判定や塗布量判定などの検査が行えるのではないかとの知見に至った。しかしながら、このような構成とする場合には、移動装置から出力される位置情報等のデータの出力周期と、撮像カメラによる撮像タイミングの間隔との兼ね合いで、相対移動速度や相対移動量の情報を正確かつ適切なタイミングで知ることができず、塗布位置の判定や塗布量判定などの検査精度の改善に資することができないとの知見が得られた。
【０００６】
そこで本発明は、検査装置とワークとの相対移動速度の変動が生じる場合であったとしても、ワークに対する流動物の塗布状態の検査を精度良く行える塗布検査システムの提供を目的とした。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明の塗布検査システムは、ワークにおける流動物の塗布状態に関する検査を行うためのものであって、前記ワークの画像を取得する撮像装置と、前記撮像装置及びワークを相対移動させる移動装置と、前記ワークにおける前記流動物の塗布に関する検査のための制御を行う検査制御装置と、を有し、前記撮像装置及び前記ワークを相対移動させる過程において、前記撮像装置によって前記画像を取得する撮像タイミングの異なる複数の画像を取得する撮像処理と、前記画像に含まれる特徴点を抽出する特徴点抽出処理と、先の撮像タイミングにおける撮像により得られた画像における前記特徴点の位置と、後の撮像タイミングにおける撮像により得られた画像における前記特徴点の位置との違いに基づいて、撮像タイミング間における前記撮像装置と前記ワークとの相対移動量を導出する移動量導出処理と、前記撮像処理により取得された撮像タイミングの異なる前記画像、あるいは前記画像に基づいて加工された加工画像を元画像とし、当該元画像を前記相対移動量に基づいて配置して合成することにより、検査用画像を形成する画像形成処理と、前記画像形成処理によって取得された前記検査用画像に基づいて前記ワークにおける前記流動物の塗布に関する検査を行う検査処理を実行可能であることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の塗布検査システムは、上記（１）のようなものとすることにより、特徴点抽出処理によって抽出された特徴点を指標として、移動量導出処理において撮像タイミング間におけるワークと撮像装置との相対移動量を適確に把握することができる。また、本発明の塗布検査システムは、画像形成処理を実行することにより、前述のようにして把握された相対移動量に基づいて、撮像処理により得られた画像に基づく元画像を適切な配置で合成し、検査用画像を得ることができる。本発明の塗布検査システムは、このようにして得られた検査用画像に基づいて検査処理を実行する。従って、本発明の塗布検査システムは、検査装置とワークとの相対移動速度の変動が生じる場合であったとしても、ワークに対する流動物の塗布状態の検査を精度良く行える。
【０００９】
（２）本発明の塗布検査システムは、前記移動量導出処理により導出された前記相対移動量、及び前記撮像タイミングを関連づけたマスター情報を規定するマスター規定処理を実行可能であり、前記検査制御装置が、前記撮像処理、前記特徴点抽出処理、前記移動量導出処理、及び前記マスター規定処理を含む処理を経て前記マスター情報を規定するマスター作成フローと、前記撮像処理により得られた前記元画像の撮像タイミング、及び前記マスター作成動作によって規定された前記マスター情報に基づいて導出される前記相対移動量に基づいて前記画像形成処理を実行することにより前記検査用画像を取得し、当該検査用画像に基づいて前記検査処理を実行する検査フローと、を実行可能なものであると良い。
【００１０】
本発明の塗布検査システムは、上記（２）のようなものとすることにより、マスター作成フローを実行することにより、相対移動量及び撮像タイミングを関連づけたマスター情報を規定することができる。また、本発明の塗布検査システムは、撮像処理によって得られた元画像の撮像タイミング、及びマスター作成動作によって規定されたマスター情報に基づいて導出される相対移動量に基づいて画像形成処理を実行することにより、相対移動量を加味して位置精度良く元画像を配置した検査用画像を取得することができる。本発明の塗布検査システムは、このようにして準備された検査用画像を用いて検査処理を行うため、ワークに対する流動物の塗布状態の検査を精度良く行える。また、本発明の塗布検査システムは、予めマスター作成フローを実行してマスター情報を規定しておけば、このマスター情報を活用して検査フローを実行することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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