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公開番号2025050494
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023159319
出願日2023-09-25
発明の名称真空封止弁
出願人株式会社エー・アンド・デイ
代理人弁理士法人あお葉国際特許事務所
主分類F16K 1/24 20060101AFI20250328BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】シール材への負担を軽減して開口部を開閉する真空封止弁を提供する。
【解決手段】壁体に形成される開口部を封止/封止解除する弁体と、前記壁体に略平行に進退移動可能なシャフト部材と、前記弁体と前記シャフト部材とを互いに変位可能に接続するリンク機構と、前記弁体の前方に配置され、前記シャフト部材の進退移動により、前記弁体の前面に当接して、前記シャフト部材の進退移動を、前記リンク機構を介して、前記弁体の前記開口部への移動へと変換するローラと、を備え、前記弁体の前面には、前記シャフト部材の前進移動により前記ローラに最初に当接して、前記弁体を前記開口部の対向位置へ導く傾斜面と、前記ローラが前記傾斜面についで当接して前記壁体へ前記弁体を前記壁体の直交方向で押圧させる、前記壁体と直交する直交面が形成されている真空封止弁を提供する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
壁体に形成される開口部を封止／封止解除する弁体と、
前記壁体に略平行に進退移動可能なシャフト部材と、
前記弁体と前記シャフト部材とを互いに変位可能に接続するリンク機構と、
前記弁体の前方に配置され、前記シャフト部材の進退移動により、前記弁体の前面に当接して、前記シャフト部材の進退移動を、前記リンク機構を介して、前記弁体の前記開口部への移動へと変換するローラと、
を備え、
前記弁体の前面には、前記シャフト部材の前進移動により前記ローラに最初に当接して、前記弁体を前記開口部の対向位置へ導く傾斜面と、前記ローラが前記傾斜面についで当接して前記壁体へ前記弁体を前記壁体の直交方向で押圧させる、前記壁体と直交する直交面が形成されている、
ことを特徴とする真空封止弁。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
前記リンク機構は、平行に配置される二対のリンクであり、
前記二対のリンクは、前記壁体と平行状態の前記弁体とリンク接続され、前記弁体を前記壁体と平行状態のまま回動可能に支持する、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空封止弁。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空室を仕切る仕切壁に設けられた開口部の開閉を行う真空封止弁に関するものである。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡等、真空室を有する装置には、真空室内を仕切るための仕切壁と、その仕切壁に設けられた開口部を封止する真空封止弁とが設けられている。
【０００３】
例えば特許文献１では、開口部を気密に封止するためのＯリングを備えた弁体と、この弁体を先端に有するシャフト部材とを備えているゲートバルブ（真空封止弁）が公開されている。開口部および弁体の開口部当接面は、シャフトの進行方向に対して傾斜して設けられており、シャフト部材を前進させると、傾斜して設けられた弁体の開口部当接面が、開口部を斜めに封止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１－１２６４８３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記特許文献１では、シール材のＯリングが潰れる間に、Ｏリングが引きずられ、Ｏリングに多大な摩擦がかかることになる。真空環境では、潤滑剤となる油やグリスや、空気中の水分などが存在しないことにより、摩擦はＯリングに多大なるダメージを与え、寿命を短くしてしまう。
本発明は、前記問題に鑑みてなされたものであり、シール材への負担を軽減して開口部を開閉する真空封止弁を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するため、本開示のある態様においては、壁体に形成される開口部を封止／封止解除する弁体と、前記壁体に略平行に進退移動可能なシャフト部材と、前記弁体と前記シャフト部材とを互いに変位可能に接続するリンク機構と、前記弁体の前方に配置され、前記シャフト部材の進退移動により、前記弁体の前面に当接して、前記シャフト部材の進退移動を、前記リンク機構を介して、前記弁体の前記開口部への移動へと変換するローラと、を備え、前記弁体の前面には、前記シャフト部材の前進移動により前記ローラに最初に当接して、前記弁体を前記開口部の対向位置へ導く傾斜面と、前記ローラが前記傾斜面についで当接して前記壁体へ前記弁体を前記壁体の直交方向で押圧させる、前記壁体と直交する直交面が形成されているように真空封止弁を構成した。
【０００７】
この態様により、開口部を封止する弁体が、ローラに当接することで、対向位置に移動し、ついで開口部に向かってまっすぐに移動して開口部を封止する。封止時に弁体を押圧方向にのみ移動させるため、弁体のシール材をシール面で摺動させずに封止でき、シール材への負担を軽減させることができる。
【０００８】
また、ある態様においては、前記リンク機構は、平行に配置される二対のリンクであり、前記二対のリンクは、前記壁体と平行状態の前記弁体とリンク接続され、前記弁体を前記壁体と平行状態のまま回動可能に支持するように構成した。この態様により、弁体は壁体と平行状態を保ったまま回動する。封止時にも回動することなく、壁体と平行状態のまま、開口部を押圧でき、シール材への負担を軽減できる。
【発明の効果】
【０００９】
上記構成によれば、シール材への負担を軽減して開口部を開閉する真空封止弁を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の実施形態に係る真空封止弁を備えた電子顕微鏡の概略図である。
同真空封止弁の斜視図である。
同真空封止弁の側面図である（説明のため一部構成要素を不図示）。
同真空封止弁の縦断面図である。
開閉機構の縦断面図である。
開閉機構の開閉工程を示す説明図である。図６（Ａ）が開状態（封止解除状態）、図（６Ｄ）が閉状態（封止状態）を示す。図６（Ｂ）および図（Ｃ）は開閉途中の状態を示す。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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