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公開番号2025018115
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-06
出願番号2023121554
出願日2023-07-26
発明の名称液体吐出ヘッド及びその製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類B41J 2/16 20060101AFI20250130BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】可撓性膜がダンパとして機能するために必要な可撓領域を確保しつつ、基板と可撓性膜との密着性も備えた液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液体吐出ヘッド10は、吐出口22と、圧力発生素子19と、圧力室23と、ダンパ膜13と、凹部15を有するダンパ基板11と、を有する。ダンパ膜13は、凹部15を覆うようにダンパ基板11に接着剤14により接着されている。接着剤14は、ダンパ膜13とダンパ基板11との接着面から凹部15内にはみ出しており、凹部15内にはみ出した接着剤14のうち、ダンパ膜13の長辺側にはみ出した接着剤の幅は、ダンパ膜13の短辺側にはみ出した接着剤の幅よりも小さいことを特徴とする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
液体を吐出する吐出口と、
前記吐出口から液体を吐出するための圧力を発生する圧力発生素子と、
前記圧力発生素子の圧力が作用する圧力室と、
前記圧力室内の液体の振動を抑制するためのダンパ膜と、
前記ダンパ膜が可撓するための凹部を有するダンパ基板と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記ダンパ膜は、前記凹部を覆うように前記ダンパ基板に接着剤により接着されており、
前記接着剤は、前記ダンパ膜と前記ダンパ基板との接着面から前記凹部内にはみ出しており、
前記凹部内にはみ出した前記接着剤のうち、前記ダンパ膜の長辺側にはみ出した接着剤の幅は、前記ダンパ膜の短辺側にはみ出した接着剤の幅よりも小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
複数の前記吐出口と、複数の前記圧力室と、を有する吐出口基板と、
前記圧力発生素子を有する圧力発生基板と、
をさらに有し、
前記圧力発生基板には、前記複数の圧力室毎に形成されている個別流路と、複数の前記個別流路と連通する共通流路と、が形成されており、
前記ダンパ基板は、前記圧力発生基板の前記共通流路が形成されている側であって、前記凹部が前記共通流路と対向するように配置されており、
前記ダンパ膜は前記共通流路に面している請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記ダンパ膜は、前記共通流路内の液体の振動を抑制することで、前記圧力室内の液体の振動を抑制する請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記凹部は、前記吐出口の配列方向に沿って形成されている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記凹部は、前記共通流路の全域にわたって形成されている請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記凹部の短辺の幅をＭ
Ｓ
、前記ダンパ膜の長辺側にはみ出した接着剤の幅をＨ
Ｓ
としたとき、２Ｈ
Ｓ
／Ｍ
Ｓ
が０．２以下である請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記凹部の短辺の幅をＭ
Ｓ
、前記ダンパ膜の長辺側にはみ出した接着剤の幅をＨ
Ｓ
としたとき、２Ｈ
Ｓ
／Ｍ
Ｓ
が０．１以下である請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記凹部の短辺の幅をＭ
Ｓ
、前記ダンパ膜の短手方向における可撓領域幅をＤ
Ｓ
としたとき、Ｄ
Ｓ
／Ｍ
Ｓ
が０．８以上である請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記凹部の短辺の幅をＭ
Ｓ
、前記ダンパ膜の短手方向における可撓領域幅をＤ
Ｓ
としたとき、Ｄ
Ｓ
／Ｍ
Ｓ
が０．９以上である請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記凹部内にはみ出した前記接着剤は、曲面を有しており、
前記ダンパ膜の長辺側にはみ出した接着剤の曲率半径をＲ
Ｓ
、前記ダンパ膜の短辺側にはみ出した接着剤の曲率半径をＲ
Ｌ
としたとき、Ｒ
Ｌ
／Ｒ
Ｓ
＞１である請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置として、例えばインクジェット記録装置は、液体を吐出する液体吐出ヘッドの吐出口から液体（インク）を吐出してメディアに印刷を行う装置である。例えば、圧電方式の液体吐出装置は、吐出口に連通する圧力室に対向する位置に振動板を介して設置された圧電素子によって振動板を変位させ、圧力室の容積を変動させることで吐出口から液体を吐出させる。この振動板の振動が液体流路内の液体を通じて隣接する吐出口に伝わる、いわゆるクロストークによって、隣接する吐出口からの液体吐出不良を起こす可能性がある。クロストークの影響を低減するためには、ダンパを用いる方法や、吐出のタイミングをずらすディレイ制御を行う方法がある。例えば、特許文献１では、ダンパ構造を有する液体吐出ヘッドが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６―０９５７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１には、ダンパ構造として開口上に可撓性膜が接着剤で接着された構造が開示されている。開口内に接着剤がはみ出す場合を考えると、接着剤のはみ出し端部が可撓性膜の固定端となって可撓性膜の可撓領域が決まる。液体吐出ヘッドの吐出口配置の高密度化に合わせてダンパ領域が縮小されると、この接着剤のはみ出し部によって可撓性膜の可撓領域がより狭まってしまう課題がある。特に、ダンパ凹部幅の短手側の方が、長手側よりも凹部幅に対する接着剤のはみ出し幅の割合が大きいため、接着剤はみ出しの影響を受けやすい。
【０００５】
一方、可撓性膜は、ダンパとして上下に振動するため、接着剤のはみ出し部がないと、接着剤を介した基板と可撓性膜の密着面積が減少する。このため、ダンパ構造の開口と反対面の可撓性膜側を押さえる構造がない場合には、特に、基板と可撓性膜の密着性に懸念があった。
【０００６】
本発明は上記課題を鑑み、可撓性膜がダンパとして機能するために必要な可撓領域を確保しつつ、基板と可撓性膜との密着性も備えた液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明は、液体を吐出する吐出口と、前記吐出口から液体を吐出するための圧力を発生する圧力発生素子と、前記圧力発生素子の圧力が作用する圧力室と、前記圧力室内の液体の振動を抑制するためのダンパ膜と、前記ダンパ膜が可撓するための凹部を有するダンパ基板と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記ダンパ膜は、前記凹部を覆うように前記ダンパ基板に接着剤により接着されており、前記接着剤は、前記ダンパ膜と前記ダンパ基板との接着面から前記凹部内にはみ出しており、前記凹部内にはみ出した前記接着剤のうち、前記ダンパ膜の長辺側にはみ出した接着剤の幅は、前記ダンパ膜の短辺側にはみ出した接着剤の幅よりも小さいことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、可撓性膜がダンパとして機能するために必要な可撓領域を確保しつつ、基板と可撓性膜との密着性も備えた液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す斜視図である。
第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面図である。
第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの可撓性膜を吐出口側からみた平面図である。
第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの可撓性膜を吐出口側からみた平面図である。
第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの第１の凹部の内側の端部にはみ出した接着剤の断面図である。
第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド用基板の製造方法の平面図及び断面図である。
第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド用基板の製造方法の接着剤転写工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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