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公開番号2025016278
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-31
出願番号2023119444
出願日2023-07-21
発明の名称ディスペンサ
出願人ハンファ精密機械株式会社
代理人弁理士法人英和特許事務所
主分類B05C 5/00 20060101AFI20250124BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】アクチュエータの鉛直方向の高さ位置の調整をねじ込み動作によって行う際に、そのアクチュエータの直立性を確保することができるディスペンサを提供する。
【解決手段】液体材料を吐出するノズル32と、ノズル32に液体材料を供給する供給流路33と、先端部が供給流路33内を上下方向に往復動作するタペット34と、タペット34に変位を与える変位拡大機構14と、変位拡大機構14に変位を与えるアクチュエータ15と、アクチュエータ15の鉛直方向の高さ位置をねじ込み動作によって調整する高さ調整機構16とを備えるディスペンサである。アクチュエータ15は、高さ調整機構16の下端部162と転がり接触する上端部151を含む。アクチュエータ15の上端部151は曲率半径R1を有する凸球面であり、高さ調整機構16の下端部162は、曲率半径R1より大きい曲率半径R2を有する凹球面である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
液体材料を吐出するノズルと、前記ノズルに液体材料を供給する供給流路と、先端部が前記供給流路内を上下方向に往復動作するタペットと、前記タペットに変位を与える変位拡大機構と、前記変位拡大機構に変位を与えるアクチュエータと、前記アクチュエータの鉛直方向の高さ位置をねじ込み動作によって調整する高さ調整機構とを備えるディスペンサであって、
前記アクチュエータは、前記高さ調整機構の下端部と転がり接触する上端部を含み、
前記アクチュエータの上端部は、曲率半径Ｒ１を有する凸球面であり、
前記高さ調整機構の下端部は、前記曲率半径Ｒ１より大きい曲率半径Ｒ２を有する凹球面である、ディスペンサ。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
前記曲率半径Ｒ１に対する前記曲率半径Ｒ２の比が、１．１以上１．４以下である、請求項１に記載のディスペンサ。
【請求項３】
前記凸球面及び前記凹球面の表面粗さＲａが、それぞれ０．４μｍ以下である、請求項１又は２に記載のディスペンサ。
【請求項４】
前記変位拡大機構は、円柱形状の支点部材と、前記支点部材に接触する支点部、前記タペットの上端部に接触する作用点部、及び前記アクチュエータの下端部に接触する円柱形状の力点部を有するレバー部材とを含み、
前記アクチュエータの下端部と前記レバー部材の力点部とが転がり接触する、請求項１に記載のディスペンサ。
【請求項５】
前記支点部材と前記支点部とが転がり接触する、請求項４に記載のディスペンサ。
【請求項６】
前記アクチュエータはピエゾ素子を含む、請求項１に記載のディスペンサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体材料を吐出するディスペンサに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
水、油、レジンなどの液体材料を吐出するディスペンサは、半導体工程や医療分野などの様々な分野に使われている。特に半導体工程においては、アンダーフィル工程にディスペンサが多く使われており、半導体素子のパッケージの内部をレジンで充填する用途にもディスペンサが多く使われている。ＬＥＤ素子の製造工程においては、蛍光物質とレジンとが混合された蛍光液をＬＥＤチップに塗布する工程にディスペンサが使われている。
【０００３】
このように液体材料を吐出するディスペンサとしては、タペットの往復動作によってノズルから液体材料を吐出する形式のものが知られており、特許文献１では、液体材料を吐出するノズルと、ノズルに液体材料を供給する供給流路と、先端部が供給流路内を上下方向に往復動作するタペット（プランジャ）と、タペット（プランジャ）に変位を与える変位拡大機構と、変位拡大機構に変位を与えるアクチュエータとを備えるディスペンサ（液体塗布装置）が開示されている。特許文献１には、アクチュエータにピエゾ素子（圧電素子）を用いることも開示されている。
また特許文献２にも、アクチュエータにピエゾ素子（ピエゾスタック）を用いることが開示されている。特許文献２には、ねじ込み動作によってピエゾ素子（ピエゾスタック）の鉛直方向の高さ位置を調整することも開示されている。
【０００４】
ところでピエゾ素子には、特に、せん断応力、曲げ応力や引張応力に弱いという短所がある。そのため、ピエゾ素子を含むアクチュエータの鉛直方向の高さ位置の調整をねじ込み動作によって行う場合、その際にアクチュエータの直立性が確保されていないと、ピエゾ素子にせん断応力、曲げ応力や引張応力が作用し、アクチュエータとしての動作精度が低下したり、寿命が短くなったりするなどの問題が発生する。なお、アクチュエータとしてはピエゾ素子を含むもののほか、磁歪素子などを含むものもあるが、この場合も、アクチュエータの直立性の確保は、アクチュエータの動作精度向上や長寿命化などの観点から重要である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－３０８６５号公報
特表２０２０－５３４１４５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、アクチュエータの鉛直方向の高さ位置の調整をねじ込み動作によって行う際に、そのアクチュエータの直立性を確保することができるディスペンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、次のディスペンサが提供される。
液体材料を吐出するノズルと、前記ノズルに液体材料を供給する供給流路と、先端部が前記供給流路内を上下方向に往復動作するタペットと、前記タペットに変位を与える変位拡大機構と、前記変位拡大機構に変位を与えるアクチュエータと、前記アクチュエータの鉛直方向の高さ位置をねじ込み動作によって調整する高さ調整機構とを備えるディスペンサであって、
前記アクチュエータは、前記高さ調整機構の下端部と転がり接触する上端部を含み、
前記アクチュエータの上端部は、曲率半径Ｒ１を有する凸球面であり、
前記高さ調整機構の下端部は、前記曲率半径Ｒ１より大きい曲率半径Ｒ２を有する凹球面である、ディスペンサ。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、アクチュエータの上端部と高さ調整機構の下端部とが球面で転がり接触することから、アクチュエータの鉛直方向の高さ位置の調整をねじ込み動作によって行う際にそのアクチュエータが鉛直方向に直立するように自動調心される。これによりアクチュエータの直立性を確保することができる。更に本発明によれば、アクチュエータの上端部と高さ調整機構の下端部とが球面で転がり接触することから、アクチュエータの上端部と高さ調整機構の下端部との摩擦による損耗、すなわち摩耗を低減することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の一実施形態であるディスペンサを一側面側から見た斜視図。
図１のディスペンサの縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に、本発明の一実施形態であるディスペンサを一側面側から見た斜視図で示している。また、図２には図１のディスペンサを縦断面図で示している。
本実施形態のディスペンサＸは、ディスペンサ本体１と、ディスペンサ本体１に着脱可能に装着されるノズルブロック３とを備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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