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公開番号2025014629
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117335
出願日2023-07-19
発明の名称搬送装置、樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法
出願人TOWA株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/68 20060101AFI20250123BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】位置決めピンを用いることなく、成形対象物を位置決めして保持する。
【解決手段】成形対象物Wを搬送する搬送装置6であって、成形対象物Wを保持する保持ユニット61と、保持ユニット61を移動させる多関節アーム部62とを備え、保持ユニット61は、多関節アーム部62の先端部621に接続されるベース部材63と、成形対象物Wの外周端面に接触してベース部材63に対して成形対象物Wを位置決めする位置決め機構64とを備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
成形対象物を搬送する搬送装置であって、
前記成形対象物を保持する保持ユニットと、
前記保持ユニットを移動させる多関節アーム部とを備え、
前記保持ユニットは、
前記多関節アーム部の先端部に接続されるベース部材と、
前記成形対象物の外周端面に接触して前記ベース部材に対して前記成形対象物を位置決めする位置決め機構とを備える、搬送装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記位置決め機構は、
前記成形対象物を保持する保持爪と、
前記保持爪を移動させる保持爪移動部とを備え、
前記保持爪移動部は、前記保持爪を、前記成形対象物を保持する保持位置と、当該保持位置から退避した退避位置との間で移動させるものであり、
前記保持位置にある前記保持爪が、前記外周端面に接触して前記ベース部材に対して前記成形対象物を位置決めする、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記成形対象物は、平面視において矩形状をなすものであり、
前記保持爪は、前記成形対象物の４辺それぞれに対応して設けられている、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記保持爪移動部は、
前記４辺それぞれに対応して設けられた前記保持爪を連動させる連動機構と、
前記連動機構を介して前記４辺それぞれに対応して設けられた前記保持爪を移動させる保持爪駆動部とを備える、請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記保持位置にある前記保持爪との間で前記成形対象物を挟んで保持する保持プレートをさらに備える、請求項２乃至４の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記保持プレートは、前記成形対象物に対応して平面視において矩形状をなすものであり、
前記保持爪は、前記保持プレートの４辺を取り囲むように設けられており、前記保持位置において前記保持プレートに接触する、請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記位置決め機構により位置決めされた前記成形対象物に接触する接触位置と、前記成形対象物から離れた離隔位置との間で、前記保持プレートを移動させるプレート移動部をさらに備える、請求項５又は６に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記搬送装置は、前記プレート移動部により前記保持プレートが前記離隔位置とされた状態で、前記位置決め機構により前記成形対象物を位置決めし、前記位置決め機構により前記成形対象物が位置決めされた後に、前記プレート移動部により前記保持プレートを前記接触位置とする、請求項７に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記成形対象物は、一面に電子部品が固定されたものであり、
前記搬送装置は、前記電子部品が上側にある第１状態で載置されている前記成形対象物を保持し、前記電子部品が下側にある第２状態として、移載ステージに渡すものである、請求項１乃至８の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記保持ユニットは、成形前の前記成形対象物及び成形後の前記成形対象物それぞれを前記ベース部材に対して共通の場所で保持する、請求項１乃至９の何れか一項に記載の搬送装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置、樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法に関するものである。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ワークを樹脂モールドする樹脂モールド装置として、特許文献１に示すものが考えられている。この樹脂モールド装置は、ロボットハンドを備えた搬送ロボットを用いて、ワークの供給マガジンからの取出し、あるいは、成形品の収納マガジンへの収納等を行うものである。ここで、ロボットハンドには、多関節ロボットの先端にワークの形状に応じたフォーク状の部材に吸着機構を備えた機構が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１４５５４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では、ロボットハンドに対してワークを位置決めする構成については開示されていない。ロボットハンドに対するワークの位置決めが不十分であると、ロボットハンドが置くワークの位置が不適切となるため、エラーが通知され、樹脂モールド装置の動作が停止してしまう。エラーを通知しない構成とした場合には、ロボットハンドがワークを不適切な位置に配置してしまい、その後の処理で不具合が生じ、結果として、外観不良等の樹脂成形品の不良が生じてしまう。
【０００５】
なお、ロボットハンドに位置決めピンを設け、ワークに形成された位置決め用孔に位置決めピンを差し込んで位置決めすることも考えられるが、ワークの反りや位置ずれ等により、位置決めピンが位置決め用孔に差し込めない場合がある。
【０００６】
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、位置決めピンを用いることなく、成形対象物を位置決めして保持することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち本発明に係る搬送装置は、成形対象物を搬送する搬送装置であって、前記成形対象物を保持する保持ユニットと、前記保持ユニットを移動させる多関節のアーム部とを備え、前記保持ユニットは、前記アーム部の先端部に接続されるベース部材と、前記成形対象物の外周端面に接触して前記ベース部材に対して前記成形対象物を位置決めする位置決め機構とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
このように構成した本発明によれば、位置決めピンを用いることなく、成形対象物を位置決めして保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明に係る一実施形態の樹脂成形装置の構成を示す模式図である。
同実施形態の樹脂成形モジュールの構成を示す模式図である。
同実施形態の基板供給部及び成形品収納部の構成を示す模式的に示すとともに、それらと各移載ステージとの間の成形前基板の搬送動作及び樹脂成形品の搬送動作を示す図である。
同実施形態の第１搬送機構において保持爪が保持位置にある状態を模式的に示す長手方向に直交する断面図である。
同実施形態の第１搬送機構において保持爪が退避位置にある状態を模式的に示す長手方向に直交する断面図である。
同実施形態の第１搬送機構において保持プレートが離隔位置にある状態を模式的に示す短手方向に直交する断面図である。
同実施形態の第１搬送機構において保持プレートが接触位置にある状態を模式的に示す短手方向に直交する断面図である。
同実施形態の保持爪移動部における連動機構の構成を示す模式図である。
同実施形態の保持ユニットによる成形前基板の位置決め・保持動作及び搬送動作を示す模式図である。
同実施形態の保持ユニットによる樹脂成形品の位置決め・保持動作及び搬送動作を示す模式図である。
変形実施形態の基板供給・収納モジュールの構成（２段構成）を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、本発明に係る技術について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の技術により限定されない。
（【００１１】以降は省略されています）

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